Истеҳсоли нимноқилҳо яке аз соҳаҳои мураккабтарини дақиқ ва аз ҷиҳати технологӣ мураккаб дар саноати муосири баландтехнологӣ мебошад. Ҳангоме ки равандҳои чип ба самти гиреҳҳои 3 нм ва ҳатто хурдтар пеш мераванд, дақиқии андозагирӣ барои ғафсии вафл, ҳамвории сатҳ ва андозаҳои микросохтор мустақиман ҳосилнокӣ ва самаранокии чипро муайян мекунад. Дар ин замина, сенсорҳои ҷойивазкунии лазерӣ, бо кори бетамос, дақиқии баланд, вақти вокуниши тезтар ва устувории беҳтаршуда, дар тамоми раванди истеҳсоли нимноқилҳо ба "чашмони андозагирӣ"-и ҳатмӣ табдил ёфтаанд.
Ҳамчун зермаҳсулоти асосии истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилӣ, пластинаҳо ҳангоми истеҳсол дақиқӣ ва эътимоднокии баландро талаб мекунанд. Дар байни бисёр марҳилаҳои муҳими истеҳсоли пластинаҳо, андозагирии дақиқи ҷойивазкунӣ муҳим аст - он мустақиман ба самаранокӣ ва ҳосилнокии чипи ниҳоӣ таъсир мерасонад. Ҳамчун як пешвои инноватсионӣ дар бахши сенсории саноатии Чин, сенсорҳои ҷойивазкунии лазерии силсилаи PDE-и Lansensor, ки дорои қарори сатҳи микрон, алгоритмҳои интеллектуалӣ ва эътимоднокии сатҳи саноатӣ мебошанд, ҳамчун роҳи ҳалли афзалиятнок барои равандҳои истеҳсоли пластинаҳо пайдо шудаанд.
Мушкилоти дақиқ дар истеҳсоли пластинаҳо ва бартариҳои сенсорҳои ҷойивазкунии лазерӣ
Истеҳсоли пластинаҳо як қатор равандҳои мураккабро дар бар мегирад, аз қабили фотолитография, кандакорӣ, ҷойгиркунии плёнкаи тунук ва часпонидан, ки ҳар кадоме дар сатҳи микрометр ё ҳатто нанометр дақиқии қатъиро талаб мекунад. Масалан:
-
Дар фотолитография, ҳамоҳангсозии дақиқи байни фотониқоб ва пластина барои таъмини интиқоли дақиқи нақш ба сатҳи пластина муҳим аст.
-
Ҳангоми насб кардани плёнкаи тунук, назорати дақиқи ғафсии плёнка барои кафолат додани кори электрикии дастгоҳҳо муҳим аст.
Ҳатто ночизтарин инҳироф метавонад ба нуқсонҳои маҳсулот оварда расонад ё ҳатто як партияи тамоми вафлиҳоро корношоям гардонад.
Усулҳои анъанавии андозагирии механикӣ аксар вақт дар қонеъ кардани чунин талаботи дақиқии баланд камӣ мекунанд. Ғайр аз ин, онҳо хатари вайрон шудан ё олуда шудани сатҳи нозуки вафлиро доранд, дар ҳоле ки суръати сусти вокуниш онҳоро барои талаботи муосири метрология нокифоя мегардонад.
ЛанбаосенсорСенсорҳои ҷойивазкунии лазерии силсилаи PDE: Ҳалли беҳтарин барои истифода аз вафли
◆Андозагирии лазерии ғайритамосӣ
Аз проексияи нури лазерӣ ба сатҳҳои ҳадаф истифода мебарад ва сигналҳои инъикосшуда/парокандашударо барои ба даст овардани маълумоти ҷойивазкунӣ таҳлил мекунад - аз тамос бо пластинаҳо пешгирӣ мекунад, то осеби механикӣ ва хатари ифлосшавӣ пешгирӣ карда шавад.
◆Дақиқӣ дар сатҳи микрон
Технологияи пешрафтаи лазерӣ ва алгоритмҳои коркарди сигнал дақиқӣ ва қарори андозагириро дар миқёси микрометр таъмин мекунанд ва ба талаботи дақиқии шадиди равандҳои истеҳсоли пластина ҷавобгӯ мебошанд.
◆Вокуниши ултра-зуд (<10мс)
Мониторинги воқеии тағйироти динамикии истеҳсолотро имкон медиҳад, ки имкон медиҳад, ки фаврӣ аз инҳироф муайян ва ислоҳ карда шавад, то самаранокии истеҳсолотро баланд бардорад.
◆Мутобиқати истисноии мавод
Қобилияти чен кардани маводҳои гуногун ва намудҳои сатҳ бо мутобиқшавии қавии муҳити зист, ки барои марҳилаҳои сершумори раванди нимноқилҳо мувофиқ аст.
◆Тарроҳии саноатии компактӣ
Омили шакли паймон ҳамгироии бефосиларо ба таҷҳизоти автоматӣ ва системаҳои идоракунӣ осон мекунад ва имкон медиҳад, ки мониторинги интеллектуалии равандҳо ва танзими ҳалқаи пӯшида имконпазир гардад.
Сенарияҳои татбиқиСенсорҳои ҷойивазкунии лазерии силсилаи PDEдар коркарди вафл
Сенсори ЛанбаоСенсорҳои ҷойивазкунии лазерии силсилаи PDEБарномаҳои муҳим дар истеҳсоли вафлҳо
Бо иҷрои истисноӣ, сенсорҳои ҷойивазкунии лазерии PDE Lansensor дар равандҳои сершумори истеҳсоли пластинаҳо нақши муҳим мебозанд:
◆Ҳамоҳангсозӣ ва ҷойгиркунии вафлҳо
Барои равандҳои фотолитография ва пайвандкунӣ, ки дақиқии сатҳи микронро талаб мекунанд, сенсорҳои мо мавқеи вафл ва кунҷҳои майли онро дақиқ чен мекунанд, то ҳамоҳангии комили ниқоб ба вафл ва ҷойгиркунии бозуи пайвандкуниро таъмин кунанд - ки ин дақиқии интиқоли нақшро беҳтар мекунад.
◆Метрологияи ғафсии вафл
Имконияти андозагирии ғафсии бетамос бо мониторинги вақти воқеӣ ҳангоми равандҳои таҳшинкунӣ, таъмини назорати оптималии сифати плёнкаи тунук.
◆Санҷиши ҳамвории вафл
Муайян кардани каҷшавии варақаҳо ва деформатсияи сатҳи онҳо бо қарори зермикронӣ барои пешгирӣ аз пешрафти варақаҳои ноқис ба поёноб.
◆Назорати ғафсии плёнкаи тунук
Таъмини пайгирии ғафсии боришот дар вақти воқеӣ дар равандҳои CVD/PVD барои нигоҳ доштани хусусиятҳои қатъии кори барқ.
◆Муайян кардани нуқсонҳои сатҳӣ
Муайян кардани аномалияҳои сатҳи миқёси микрон (харошиданҳо, зарраҳо) тавассути харитасозии ҷойивазкунии баландсифат, ки ба таври назаррас сатҳи ошкоркунии нуқсонҳоро беҳтар мекунад.
◆Назорати ҳолати таҷҳизот
Пайгирии ҷойивазкунии ҷузъҳои муҳим (дастҳои робот, ҳаракатҳои саҳна) ва ларзишҳои мошин барои нигоҳдории пешгӯикунанда ва беҳсозии устуворӣ.
Силсилаи PDE-и сенсори Lanbao на танҳо камбудиҳои муҳими технологӣ дар бозори сенсорҳои саноатии сатҳи баландтарини Чинро пур мекунад, балки бо иҷрои истисноии худ меъёрҳои нави ҷаҳониро муқаррар мекунад. Новобаста аз он ки суръати ҳосилнокиро афзоиш медиҳад, коҳиш додани хароҷоти истеҳсолӣ ё суръат бахшидан ба рушди равандҳои насли оянда, силсилаи PDE ҳамчун силоҳи ниҳоии шумо барои ғалаба дар мушкилоти истеҳсоли нимноқилҳои дақиқ қарор дорад!
Вақти нашр: 08 майи соли 2025