Истеҳсоли нимноқилҳо яке аз соҳаҳои дақиқтарин ва аз ҷиҳати технологӣ мураккаб дар саноати муосири технологӣ мебошад. Вақте ки равандҳои чип ба сӯи гиреҳҳои 3 нм ва ҳатто хурдтар пеш мераванд, дурустии ченакҳо барои ғафсии вафли, ҳамвории рӯи замин ва андозаҳои микроструктура ҳосилнокӣ ва иҷрои чипҳоро мустақиман муайян мекунад. Дар ин замина, сенсорҳои ҷобаҷогузории лазерӣ бо амалиёти бетамос, дақиқии баланд, вақти тезтар посух додан ва устувории мукаммал, дар тамоми раванди истеҳсоли нимноқилҳо ба "чашмони андозагирӣ" табдил ёфтанд.
Ҳамчун субстрати асосии истеҳсоли дастгоҳи нимноқилҳо, вафлиҳо ҳангоми истеҳсол дақиқ ва эътимоди аз ҳад зиёдро талаб мекунанд. Дар байни бисёр марҳилаҳои муҳими истеҳсоли пластинка, ченкунии дақиқи ҷойивазкунӣ муҳим аст - он бевосита ба кор ва ҳосили чипи ниҳоӣ таъсир мерасонад. Ҳамчун як пешвои навоварона дар бахши ҳассосияти саноатии Чин, сенсорҳои ҷобаҷогузории лазерии силсилаи Lansensor PDE, ки дорои ҳалли сатҳи микрон, алгоритмҳои интеллектуалӣ ва эътимоднокии дараҷаи саноатӣ мебошанд, ҳамчун ҳалли афзалиятнок барои равандҳои истеҳсоли вафель пайдо шуданд.
Мушкилоти дақиқ дар истеҳсоли вафли ва бартариҳои сенсорҳои ҷобаҷогузории лазер
Истеҳсоли вафли як қатор равандҳои мураккабро дар бар мегирад, аз қабили фотолитография, қаҳваранг, пошидани қабати тунук ва пайвастшавӣ - ҳар яки онҳо дақиқии сахтро дар сатҳи микрометр ё ҳатто нанометр талаб мекунанд. Барои намуна:
-
Дар фотолитография, ҳамоҳангии дақиқи байни фотомаска ва вафли барои таъмини интиқоли дақиқи намуна ба сатҳи вафли муҳим аст.
-
Ҳангоми гузоштани қабати тунук, назорати дақиқи ғафсии филм барои кафолат додани кори барқии дастгоҳҳо муҳим аст.
Ҳатто ночизтарин инҳироф метавонад ба нуқсонҳои маҳсулот оварда расонад ё ҳатто тамоми партияи вафлиҳоро корношоям гардонад.
Усулҳои анъанавии ченкунии механикӣ аксар вақт дар қонеъ кардани чунин талаботҳои дақиқ кам нестанд. Гузашта аз ин, онҳо хатари осеб дидан ё олуда кардани сатҳи нозуки вафлиро доранд, дар ҳоле ки суръати вокуниши сусти онҳо онҳоро барои талаботҳои муосири метрология номувофиқ месозад.
ЛанбаосенсорPDE Силсилаи датчикҳои ҷобаҷогузории лазерӣ: Ҳалли беҳтарин барои барномаҳои вафли
◆Андозагирии лазерӣ бо тамос
Проексияи шуои лазериро ба сатҳи ҳадаф истифода мебарад, сигналҳои инъикосшуда/парокандаро барои ба даст овардани маълумоти ҷобаҷогузорӣ - рафъи иртиботи ҷисмонӣ бо вафлиҳо барои пешгирии осеби механикӣ ва хатарҳои ифлосшавӣ истифода мебарад.
◆Дақиқии сатҳи микрон
Технологияи пешрафтаи лазерӣ ва алгоритмҳои коркарди сигнал дақиқӣ ва ҳалли андозагирии миқёси микрометрро таъмин намуда, ба талаботи дақиқии ҷиддии равандҳои истеҳсоли вафель қонеъ мекунанд.
◆Ҷавоби ултра зуд (<10ms)
Мониторинги воқеии тағиротҳои динамикии истеҳсолотро имкон медиҳад, ки барои ошкор ва ислоҳи фаврии инҳироф барои баланд бардоштани самаранокии истеҳсолот имкон медиҳад.
◆Мутобиқати истисноии мавод
Қобилияти чен кардани маводҳои гуногун ва намудҳои рӯизаминӣ бо мутобиқшавии қавии муҳити зист, ки барои марҳилаҳои зиёди равандҳои нимноқил мувофиқ аст.
◆Тарҳрезии саноатии паймон
Омили формати паймон ба ҳамгироии бефосила ба таҷҳизоти автоматикунонидашуда ва системаҳои идоракунӣ мусоидат намуда, мониторинги оқилонаи равандҳо ва танзими даври пӯшидаро фароҳам меорад.
Сенарияҳои татбиқиPDE Силсилаи датчикҳои ҷобаҷогузории лазерӣдар коркарди Wafer
Сенсори LanbaoPDE Силсилаи датчикҳои ҷобаҷогузории лазерӣ: Барномаҳои муҳим дар истеҳсоли вафель
Бо иҷрои истисноӣ, сенсорҳои ҷобаҷогузории лазерии Lansensor PDE дар як қатор равандҳои истеҳсоли вафли нақшҳои муҳим мебозанд:
◆Ҳамоҳангсозӣ ва ҷойгиркунии вафли
Барои фотолитография ва равандҳои пайвастшавӣ, ки дақиқии сатҳи микронро талаб мекунанд, сенсорҳои мо мавқеъи вафли ва кунҷҳои майлро дақиқ чен мекунанд, то мувофиқати комили ниқоб ба вафли ва ҷойгиршавии дастони пайвасткуниро таъмин кунанд - дақиқии интиқоли намунаро баланд бардорад.
◆Метрологияи ғафсии вафли
Имкон додани ченкунии ғафсии бидуни тамос бо мониторинги вақти воқеӣ дар ҷараёни таҳшин, таъмини назорати оптималии сифати филми тунук.
◆Санҷиши ҳамворӣ вафли
Муайян кардани вайроншавии вафли ва деформатсияи рӯизаминӣ бо қарори зермикронӣ барои пешгирии пешравии вафли ноқис ба поёноб.
◆Мониторинги ғафсии қабати тунук
Таъмини пайгирии ғафсӣ дар вақти воқеӣ ҳангоми равандҳои CVD/PVD барои нигоҳ доштани мушаххасоти қатъии иҷрои барқ.
◆Муайян кардани нуқсонҳои рӯизаминӣ
Муайян кардани аномалияҳои миқёси микронҳо (харошидан, зарраҳо) тавассути харитаи ҷобаҷогузории баландсифат, ба таври назаррас беҳтар кардани суръати ошкоркунии камбудиҳо.
◆Мониторинги ҳолати таҷҳизот
Пайгирии ҷобаҷогузории ҷузъҳои муҳим (дастҳои робот, ҳаракатҳои саҳна) ва ларзишҳои мошин барои нигоҳдории пешгӯишаванда ва оптимизатсияи субот.
Силсилаи PDE сенсори Lanbao на танҳо камбудиҳои муҳими технологӣ дар бозори сенсорҳои саноатии Чинро бартараф мекунад, балки бо иҷрои истисноии худ нишондиҳандаҳои нави глобалиро муқаррар мекунад. Новобаста аз он ки баланд бардоштани сатҳи ҳосилнокӣ, кам кардани хароҷоти истеҳсолот ё суръат бахшидан ба рушди равандҳои насли оянда, силсилаи PDE ҳамчун аслиҳаи ниҳоии шумо барои рафъи мушкилоти истеҳсоли нимноқилҳои дақиқ аст!
Вақти фиристодан: май-08-2025