இன்றைய உயர் தொழில்நுட்பத் துறையில் மிகவும் துல்லியம் தேவைப்படும் மற்றும் தொழில்நுட்ப ரீதியாக சிக்கலான துறைகளில் ஒன்றாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உள்ளது. சில்லு செயல்முறைகள் 3nm மற்றும் இன்னும் சிறிய முனைகளை நோக்கி முன்னேறும்போது, வேஃபர் தடிமன், மேற்பரப்பு தட்டையானது மற்றும் நுண் கட்டமைப்பு பரிமாணங்களுக்கான அளவீடுகளின் துல்லியம் நேரடியாக சில்லு மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை தீர்மானிக்கிறது. இந்த சூழலில், லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள், அவற்றின் தொடர்பு இல்லாத செயல்பாடு, உயர்ந்த துல்லியம், வேகமான மறுமொழி நேரங்கள் மற்றும் மேம்பட்ட நிலைத்தன்மையுடன், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் இன்றியமையாத "அளவீட்டுக் கண்கள்" ஆகிவிட்டன.
குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியின் முக்கிய அடி மூலக்கூறாக, உற்பத்தியின் போது வேஃபர்களுக்கு தீவிர துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை தேவைப்படுகிறது. வேஃபர் உற்பத்தியின் பல முக்கியமான கட்டங்களில், துல்லியமான இடப்பெயர்ச்சி அளவீடு மிக முக்கியமானது - இது இறுதி சிப்பின் செயல்திறன் மற்றும் மகசூலை நேரடியாக பாதிக்கிறது. சீனாவின் தொழில்துறை உணர்திறன் துறையில் ஒரு புதுமைத் தலைவராக, மைக்ரான்-நிலை தெளிவுத்திறன், அறிவார்ந்த வழிமுறைகள் மற்றும் தொழில்துறை-தர நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்ட லான்சென்சரின் PDE தொடர் லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள், வேஃபர் உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு விருப்பமான தீர்வாக வெளிப்பட்டுள்ளன.
வேஃபர் உற்பத்தியில் துல்லியமான சவால்கள் மற்றும் லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகளின் நன்மைகள்
வேஃபர் உற்பத்தி என்பது ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, எச்சிங், மெல்லிய-படல படிவு மற்றும் பிணைப்பு போன்ற சிக்கலான செயல்முறைகளின் வரிசையை உள்ளடக்கியது - ஒவ்வொன்றும் மைக்ரோமீட்டர் அல்லது நானோமீட்டர் மட்டத்தில் கடுமையான துல்லியம் தேவைப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக:
-
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியில், ஃபோட்டோமாஸ்க் மற்றும் வேஃபர் இடையே துல்லியமான சீரமைப்பு, வேஃபர் மேற்பரப்பில் துல்லியமான வடிவ பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்வதற்கு மிகவும் முக்கியமானது.
-
மெல்லிய-படலப் படிவின் போது, சாதனங்களின் மின் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு படலத் தடிமனின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம்.
சிறிதளவு விலகல் கூட தயாரிப்பு குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும் அல்லது முழு தொகுதி வேஃபர்களையும் பயன்படுத்த முடியாததாக மாற்றும்.
பாரம்பரிய இயந்திர அளவீட்டு முறைகள் பெரும்பாலும் இத்தகைய உயர்-துல்லிய தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதில் தோல்வியடைகின்றன. மேலும், அவை உடையக்கூடிய வேஃபர் மேற்பரப்பை சேதப்படுத்தும் அல்லது மாசுபடுத்தும் அபாயத்தைக் கொண்டுள்ளன, அதே நேரத்தில் அவற்றின் மெதுவான மறுமொழி வேகம் அதிநவீன அளவியல் தேவைகளுக்கு போதுமானதாக இல்லை.
லான்பாவ்சென்சார்PDE தொடர் லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள்: வேஃபர் பயன்பாடுகளுக்கான உகந்த தீர்வு
◆தொடர்பு இல்லாத லேசர் அளவீடு
இலக்கு மேற்பரப்புகளில் லேசர் கற்றை ப்ரொஜெக்ஷனைப் பயன்படுத்துகிறது, பிரதிபலித்த/சிதறிய சமிக்ஞைகளை பகுப்பாய்வு செய்து இடப்பெயர்ச்சித் தரவைப் பெறுகிறது - இயந்திர சேதம் மற்றும் மாசு அபாயங்களைத் தடுக்க வேஃபர்களுடனான உடல் தொடர்பை நீக்குகிறது.
◆மைக்ரான்-நிலை துல்லியம்
மேம்பட்ட லேசர் தொழில்நுட்பம் மற்றும் சமிக்ஞை செயலாக்க வழிமுறைகள் மைக்ரோமீட்டர் அளவிலான அளவீட்டு துல்லியம் மற்றும் தெளிவுத்திறனை வழங்குகின்றன, வேஃபர் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் தீவிர துல்லிய தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன.
◆மிக விரைவான பதில் (<10மி.வி.)
உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்த, உடனடி விலகல் கண்டறிதல் மற்றும் திருத்தத்தை அனுமதிக்கும், மாறும் உற்பத்தி மாறுபாடுகளின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பை செயல்படுத்துகிறது.
◆விதிவிலக்கான பொருள் பொருந்தக்கூடிய தன்மை
பல குறைக்கடத்தி செயல்முறை நிலைகளுக்கு ஏற்ற, வலுவான சுற்றுச்சூழல் தகவமைப்புத் தன்மையுடன் பல்வேறு பொருட்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு வகைகளை அளவிடும் திறன் கொண்டது.
◆சிறிய தொழில்துறை வடிவமைப்பு
இந்த சிறிய வடிவ காரணி தானியங்கி உபகரணங்கள் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பை எளிதாக்குகிறது, இது அறிவார்ந்த செயல்முறை கண்காணிப்பு மற்றும் மூடிய-லூப் சரிசெய்தலை செயல்படுத்துகிறது.
பயன்பாட்டு காட்சிகள்PDE தொடர் லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள்வேஃபர் செயலாக்கத்தில்
லான்பாவோ சென்சார்PDE தொடர் லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள்: வேஃபர் உற்பத்தியில் முக்கியமான பயன்பாடுகள்
விதிவிலக்கான செயல்திறனுடன், லான்சென்சர் PDE லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள் பல வேஃபர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன:
◆வேஃபர் சீரமைப்பு & நிலைப்படுத்தல்
மைக்ரான்-நிலை துல்லியம் தேவைப்படும் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி மற்றும் பிணைப்பு செயல்முறைகளுக்கு, எங்கள் சென்சார்கள் சரியான முகமூடி-க்கு-வேஃபர் சீரமைப்பு மற்றும் பிணைப்பு கை நிலைப்படுத்தலை உறுதி செய்வதற்காக வேஃபர் நிலை மற்றும் சாய்வு கோணங்களை துல்லியமாக அளவிடுகின்றன - வடிவ பரிமாற்ற துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.
◆வேஃபர் தடிமன் அளவியல்
படிவு செயல்முறைகளின் போது நிகழ்நேர கண்காணிப்புடன் தொடர்பு இல்லாத தடிமன் அளவீட்டை செயல்படுத்துதல், உகந்த மெல்லிய-படல தரக் கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்தல்.
◆வேஃபர் தட்டையான தன்மை ஆய்வு
குறைபாடுள்ள செதில்கள் கீழ்நோக்கி நகர்வதைத் தடுக்க, துணை-மைக்ரான் தெளிவுத்திறனுடன் செதில் வார்பேஜ் மற்றும் மேற்பரப்பு சிதைவைக் கண்டறிதல்.
◆மெல்லிய பட தடிமன் கண்காணிப்பு
கடுமையான மின் செயல்திறன் விவரக்குறிப்புகளைப் பராமரிக்க, CVD/PVD செயல்முறைகளின் போது நிகழ்நேர படிவு தடிமன் கண்காணிப்பை வழங்குதல்.
◆மேற்பரப்பு குறைபாடு கண்டறிதல்
உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட இடப்பெயர்ச்சி மேப்பிங் மூலம் மைக்ரான் அளவிலான மேற்பரப்பு முரண்பாடுகளை (கீறல்கள், துகள்கள்) கண்டறிதல், குறைபாடு கண்டறிதல் விகிதங்களை கணிசமாக மேம்படுத்துதல்.
◆உபகரண நிலை கண்காணிப்பு
முன்னறிவிப்பு பராமரிப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மை உகப்பாக்கத்திற்கான முக்கியமான கூறு இடப்பெயர்வுகள் (ரோபோ கைகள், மேடை இயக்கங்கள்) மற்றும் இயந்திர அதிர்வுகளைக் கண்காணித்தல்.
லான்பாவோ சென்சாரின் PDE தொடர், சீனாவின் உயர்நிலை தொழில்துறை சென்சார் சந்தையில் உள்ள முக்கியமான தொழில்நுட்ப இடைவெளிகளைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், அதன் விதிவிலக்கான செயல்திறனுடன் புதிய உலகளாவிய அளவுகோல்களை நிறுவுகிறது. மகசூல் விகிதங்களை அதிகரிப்பதாக இருந்தாலும் சரி, உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைப்பதாக இருந்தாலும் சரி, அல்லது அடுத்த தலைமுறை செயல்முறை மேம்பாட்டை துரிதப்படுத்துவதாக இருந்தாலும் சரி, துல்லியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சவால்களை வெல்வதற்கான உங்கள் இறுதி ஆயுதமாக PDE தொடர் நிற்கிறது!
இடுகை நேரம்: மே-08-2025