Utengenezaji wa semiconductor unasimama kama mojawapo ya nyanja zinazohitaji usahihi na changamano za kiteknolojia katika tasnia ya kisasa ya teknolojia ya juu. Mchakato wa chip unaposonga mbele kuelekea 3nm na hata nodi ndogo zaidi, usahihi wa vipimo vya unene wa kaki, usawa wa uso, na vipimo vya miundo midogo huamua moja kwa moja mavuno na utendakazi wa chip. Katika muktadha huu, vitambuzi vya uhamishaji wa leza, pamoja na utendakazi wao wa kutowasiliana, usahihi wa hali ya juu, nyakati za majibu ya haraka, na uthabiti ulioimarishwa, vimekuwa "macho ya kipimo" muhimu katika mchakato wa utengenezaji wa semicondukta.
Kama sehemu ya msingi ya utengenezaji wa kifaa cha semicondukta, kaki zinahitaji usahihi na kutegemewa sana wakati wa uzalishaji. Miongoni mwa hatua nyingi muhimu za utengenezaji wa kaki, kipimo sahihi cha uhamishaji ni muhimu—huathiri moja kwa moja utendaji na mavuno ya chip ya mwisho. Kama kiongozi wa uvumbuzi katika sekta ya kuhisi ya viwanda nchini China, vitambuzi vya uhamishaji vya laser vya Lansensor's PDE, vilivyo na azimio la kiwango cha micron, algoriti za akili, na kutegemewa kwa kiwango cha viwanda, vimeibuka kama suluhisho linalopendekezwa kwa michakato ya utengenezaji wa kaki.
Changamoto za Usahihi katika Utengenezaji wa Kaki na Manufaa ya Sensorer za Uhamishaji wa Laser
Utengenezaji wa kaki huhusisha msururu wa michakato changamano kama vile fotografia, etching, uwekaji wa filamu nyembamba, na kuunganisha—kila moja ikihitaji usahihi mkali katika kiwango cha maikromita au hata nanomita. Kwa mfano:
-
Katika upigaji picha, upangaji sahihi kati ya fotomask na kaki ni muhimu ili kuhakikisha uhamishaji sahihi wa muundo kwenye uso wa kaki.
-
Wakati wa utuaji wa filamu nyembamba, udhibiti kamili wa unene wa filamu ni muhimu ili kuhakikisha utendaji wa umeme wa vifaa.
Hata kupotoka kidogo kunaweza kusababisha kasoro za bidhaa au hata kufanya kundi zima la kaki kutoweza kutumika.
Mbinu za jadi za kipimo cha kimitambo mara nyingi huwa pungufu katika kukidhi mahitaji kama hayo ya usahihi wa hali ya juu. Zaidi ya hayo, wana hatari ya kuharibu au kuchafua uso wa kaki dhaifu, ilhali kasi yao ya polepole ya mwitikio inazifanya kutokidhi mahitaji ya hali ya juu ya metrolojia.
LanbaosensorPDE Series Sensorer za Uhamishaji wa Laser: Suluhisho Bora la Maombi ya Kaki
◆Kipimo cha Laser kisicho na mawasiliano
Hutumia makadirio ya miale ya leza kwenye nyuso zinazolengwa, kuchanganua ishara zinazoakisiwa/ zilizotawanyika ili kupata data ya uhamisho - kuondoa mguso wa kimwili na kaki ili kuzuia uharibifu wa kiufundi na hatari za uchafuzi.
◆Usahihi wa kiwango cha Micron
Teknolojia ya hali ya juu ya leza na algoriti za usindikaji wa mawimbi huleta usahihi na azimio la kipimo cha mizani ya kiwango cha juu, ikikidhi mahitaji ya usahihi wa hali ya juu ya michakato ya kutengeneza kaki.
◆Jibu la haraka sana (<10ms)
Huwasha ufuatiliaji wa wakati halisi wa tofauti zinazobadilika za uzalishaji, kuruhusu ugunduzi wa mkengeuko mara moja na urekebishaji ili kuongeza ufanisi wa utengenezaji.
◆Utangamano wa Kipekee wa Nyenzo
Ina uwezo wa kupima nyenzo na aina mbalimbali za uso na uwezo wa kubadilika wa mazingira, zinazofaa kwa hatua nyingi za mchakato wa semiconductor.
◆Ubunifu wa Viwanda Compact
Kipengele cha umbo la kompakt huwezesha ujumuishaji usio na mshono katika vifaa vya kiotomatiki na mifumo ya udhibiti, kuwezesha ufuatiliaji wa mchakato wa akili na marekebisho ya kitanzi kilichofungwa.
Matukio ya Maombi yaPDE Series Sensorer za Uhamishaji wa Laserkatika Usindikaji wa Kaki
Sensor ya LanbaoPDE Series Sensorer za Uhamishaji wa Laser: Maombi Muhimu katika Utengenezaji wa Kaki
Kwa utendakazi wa kipekee, vihisi vya uhamishaji wa laser ya Lansensor PDE vina jukumu muhimu katika michakato mingi ya utengenezaji wa kaki:
◆Kaki Alignment & Positioning
Kwa upigaji picha na michakato ya kuunganisha inayohitaji usahihi wa kiwango cha micron, vitambuzi vyetu hupima kwa usahihi nafasi ya kaki na pembe za kuinamisha ili kuhakikisha upatanishi kamili wa barakoa hadi kaki na kuweka mkono unaounganisha - kuimarisha usahihi wa uhamishaji wa muundo.
◆Metrology ya Unene wa Kaki
Kuwasha upimaji wa unene usio wa mawasiliano kwa ufuatiliaji wa wakati halisi wakati wa michakato ya kuweka, kuhakikisha udhibiti bora wa ubora wa filamu nyembamba.
◆Ukaguzi wa gorofa ya kaki
Inatambua kurasa za kaki na mgeuko wa uso kwa mwonekano wa micron ndogo ili kuzuia kaki zenye kasoro kuendelea chini ya mkondo.
◆Ufuatiliaji wa Unene wa Filamu Nyembamba
Kutoa ufuatiliaji wa unene wa uwekaji wa wakati halisi wakati wa michakato ya CVD/PVD ili kudumisha vipimo madhubuti vya utendakazi wa umeme.
◆Utambuzi wa kasoro ya uso
Kutambua hitilafu za uso wa mizani ndogo (mikwaruzo, vijisehemu) kupitia ramani ya uhamishaji ya msongo wa juu, kuboresha kwa kiasi kikubwa viwango vya kugundua kasoro.
◆Ufuatiliaji wa Hali ya Vifaa
Kufuatilia uhamishaji wa vipengele muhimu (mikono ya roboti, miondoko ya jukwaa) na mitetemo ya mashine kwa ajili ya matengenezo ya ubashiri na uimarishaji wa uthabiti.
Mfululizo wa PDE wa sensor ya Lanbao hauambatanishi tu na mapungufu muhimu ya teknolojia katika soko la juu la viwanda la Uchina lakini huanzisha vigezo vipya vya kimataifa na utendaji wake wa kipekee. Iwe kuongeza viwango vya mavuno, kupunguza gharama za uzalishaji, au kuongeza kasi ya ukuzaji wa mchakato wa kizazi kijacho, mfululizo wa PDE unasimama kama silaha yako kuu ya kushinda changamoto za utengenezaji wa semicondukta kwa usahihi!
Muda wa kutuma: Mei-08-2025