Производња полупроводника једна је од најпрецизнијих и технолошки најсложенијих области у данашњој високотехнолошкој индустрији. Како процеси производње чипова напредују ка 3nm и чак мањим чворовима, тачност мерења дебљине плочице, равности површине и димензија микроструктуре директно одређује принос и перформансе чипа. У том контексту, ласерски сензори померања, са својим бесконтактним радом, супериорном прецизношћу, бржим временима одзива и побољшаном стабилношћу, постали су неопходне „мерне очи“ током целог процеса производње полупроводника.
Као основна подлога за израду полупроводничких уређаја, плочице захтевају изузетну прецизност и поузданост током производње. Међу многим критичним фазама производње плочица, прецизно мерење померања је од највеће важности – оно директно утиче на перформансе и принос коначног чипа. Као лидер у иновацијама у кинеском сектору индустријске сензорске технологије, ласерски сензори померања серије PDE компаније Lansensor, са резолуцијом на микронском нивоу, интелигентним алгоритмима и поузданошћу индустријског нивоа, појавили су се као преферирано решење за процесе производње плочица.
Изазови прецизности у производњи плочица и предности ласерских сензора померања
Производња плочица обухвата низ сложених процеса као што су фотолитографија, нагризање, наношење танких филмова и лепљење – сваки захтева строгу прецизност на микрометарском или чак нанометарском нивоу. На пример:
-
У фотолитографији, прецизно поравнање између фотомаске и плочице је кључно како би се осигурао тачан пренос узорка на површину плочице.
-
Током наношења танког филма, прецизна контрола дебљине филма је неопходна како би се гарантовале електричне перформансе уређаја.
Чак и најмање одступање може довести до дефеката производа или чак учинити целу серију плочица неупотребљивом.
Традиционалне механичке методе мерења често не успевају да испуне тако захтеве високе прецизности. Штавише, оне ризикују оштећење или контаминацију крхке површине плочице, док их њихова спора брзина одзива чини неадекватним за најсавременије метролошке захтеве.
ЛанбаосензорЛасерски сензори померања серије PDEОптимално решење за примену плочица
◆Бесконтактно ласерско мерење
Користи пројекцију ласерског зрака на циљне површине, анализирајући рефлектоване/расејане сигнале да би се добили подаци о померању - елиминишући физички контакт са плочицама како би се спречила механичка оштећења и ризици од контаминације.
◆Прецизност на микронском нивоу
Напредна ласерска технологија и алгоритми за обраду сигнала пружају тачност и резолуцију мерења на микрометарском нивоу, задовољавајући екстремне захтеве за прецизношћу процеса израде плочица.
◆Ултра брз одзив (<10ms)
Омогућава праћење динамичких варијација производње у реалном времену, омогућавајући тренутно откривање и корекцију одступања ради побољшања ефикасности производње.
◆Изузетна компатибилност материјала
Способан за мерење различитих материјала и типова површина са јаком прилагодљивошћу окружењу, погодан за више фаза полупроводничког процеса.
◆Компактан индустријски дизајн
Компактни облик омогућава беспрекорну интеграцију у аутоматизовану опрему и контролне системе, омогућавајући интелигентно праћење процеса и подешавање у затвореној петљи.
Сценарији применеЛасерски сензори померања серије PDEу обради вафли
Ланбао сензорЛасерски сензори померања серије PDEКритичне примене у производњи плочица
Са изузетним перформансама, сензори померања ласера компаније Lansensor PDE играју виталне улоге у вишеструким процесима израде плочица:
◆Поравнање и позиционирање плочице
За фотолитографију и процесе лепљења који захтевају тачност на микронском нивоу, наши сензори прецизно мере положај плочице и углове нагиба како би се осигурало савршено поравнање маске и плочице и позиционирање крака за лепљење - побољшавајући прецизност преноса шаблона.
◆Метрологија дебљине плочице
Омогућава бесконтактно мерење дебљине са праћењем у реалном времену током процеса наношења, обезбеђујући оптималну контролу квалитета танког филма.
◆Инспекција равности плочице
Детектовање савијања и површинске деформације плочице са субмикронском резолуцијом како би се спречило ширење неисправних плочица низводно.
◆Праћење дебљине танког филма
Омогућава праћење дебљине наношења у реалном времену током CVD/PVD процеса ради одржавања строгих спецификација електричних перформанси.
◆Детекција површинских дефеката
Идентификација површинских аномалија микронске скале (огреботине, честице) путем мапирања померања високе резолуције, значајно побољшавајући стопу детекције дефеката.
◆Праћење стања опреме
Праћење померања критичних компоненти (роботских руку, кретања позорнице) и вибрација машина за предиктивно одржавање и оптимизацију стабилности.
Серија PDE сензора компаније Lanbao не само да премошћује критичне технолошке празнине на тржишту врхунских индустријских сензора у Кини, већ поставља и нове глобалне стандарде својим изузетним перформансама. Без обзира да ли повећава стопу приноса, смањује трошкове производње или убрзава развој процеса следеће генерације, серија PDE представља ваше ултимативно оружје за савладавање изазова у производњи прецизних полупроводника!
Време објаве: 08. мај 2025.