سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار اڄ جي هاءِ ٽيڪ انڊسٽري ۾ سڀ کان وڌيڪ درستگي جي گهرج ۽ ٽيڪنالاجي طور پيچيده شعبن مان هڪ آهي. جيئن چپ پروسيس 3nm ۽ اڃا به ننڍڙن نوڊس ڏانهن اڳتي وڌندا آهن، ويفر جي ٿولهه، مٿاڇري جي همواريت، ۽ مائڪرو اسٽرڪچر جي طول و عرض جي ماپ جي درستگي سڌو سنئون چپ جي پيداوار ۽ ڪارڪردگي جو تعين ڪندي آهي. هن حوالي سان، ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر، انهن جي غير رابطي واري آپريشن، اعليٰ درستگي، تيز جوابي وقت، ۽ بهتر استحڪام سان، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾ ناگزير "ماپ اکيون" بڻجي ويا آهن.
سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس فيبريڪيشن جي بنيادي سبسٽريٽ جي طور تي، ويفرز کي پيداوار دوران انتهائي درستگي ۽ اعتبار جي ضرورت هوندي آهي. ويفر جي پيداوار جي ڪيترن ئي نازڪ مرحلن مان، صحيح بي گھرڻ جي ماپ تمام ضروري آهي - اهو سڌو سنئون آخري چپ جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار تي اثر انداز ٿئي ٿو. چين جي صنعتي سينسنگ شعبي ۾ هڪ جدت واري اڳواڻ جي حيثيت سان، لينسنر جا PDE سيريز ليزر بي گھرڻ سينسر، مائڪرون-سطح جي ريزوليوشن، ذهين الگورتھم، ۽ صنعتي-گريڊ اعتبار جي خاصيت سان، ويفر جي پيداوار جي عملن لاءِ ترجيحي حل طور سامهون آيا آهن.
ويفر جي پيداوار ۾ درستگي جا چئلينج ۽ ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر جا فائدا
ويفر جي پيداوار ۾ پيچيده عملن جو هڪ سلسلو شامل آهي جهڙوڪ فوٽو ليٿوگرافي، ايچنگ، پتلي فلم جمع ڪرڻ، ۽ بانڊنگ - هر هڪ کي مائڪرو ميٽر يا نانو ميٽر جي سطح تي سخت درستگي جي ضرورت هوندي آهي. مثال طور:
-
فوٽو ليٿوگرافي ۾، فوٽو ماسڪ ۽ ويفر جي وچ ۾ صحيح ترتيب ضروري آهي ته جيئن ويفر جي مٿاڇري تي صحيح نموني جي منتقلي کي يقيني بڻائي سگهجي.
-
پتلي فلم جي جمع ٿيڻ دوران، ڊوائيسز جي برقي ڪارڪردگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ فلم جي ٿلهي جو صحيح ڪنٽرول ضروري آهي.
ٿوري به انحرافي به پيداوار ۾ خرابيون پيدا ڪري سگهي ٿي يا ويفرز جي پوري بيچ کي ناقابل استعمال بڻائي سگهي ٿي.
روايتي مشيني ماپ جا طريقا اڪثر ڪري اهڙين اعليٰ درستگي جي گهرجن کي پورو ڪرڻ ۾ ناڪام ٿين ٿا. ان کان علاوه، اهي نازڪ ويفر مٿاڇري کي نقصان پهچائڻ يا آلوده ڪرڻ جو خطرو رکن ٿا، جڏهن ته انهن جي سست جوابي رفتار انهن کي جديد ميٽرولوجي گهرجن لاءِ نا مناسب بڻائي ٿي.
لانبائوسينسرPDE سيريز ليزر ڊسپليسمينٽ سينسرز: ويفر ايپليڪيشنن لاءِ بهترين حل
◆غير رابطي ليزر ماپ
ليزر بيم پروجئشن کي نشانو سطحن تي استعمال ڪري ٿو، بي گھرڻ واري ڊيٽا حاصل ڪرڻ لاءِ عڪاسي ٿيل/ڇڏريل سگنلن جو تجزيو ڪري ٿو - ميڪيڪل نقصان ۽ آلودگي جي خطرن کي روڪڻ لاءِ ويفرز سان جسماني رابطي کي ختم ڪري ٿو.
◆مائڪرون-سطح جي درستگي
جديد ليزر ٽيڪنالاجي ۽ سگنل پروسيسنگ الگورتھم مائڪرو ميٽر-اسڪيل ماپ جي درستگي ۽ ريزوليوشن فراهم ڪن ٿا، ويفر فيبريڪيشن جي عملن جي انتهائي درستگي جي گهرجن کي پورو ڪن ٿا.
◆انتهائي تيز جواب (<10 ملي سيڪنڊ)
متحرڪ پيداوار جي تبديلين جي حقيقي وقت جي نگراني کي فعال بڻائي ٿو، فوري طور تي انحراف جي ڳولا ۽ اصلاح جي اجازت ڏئي ٿو ته جيئن پيداوار جي ڪارڪردگي کي وڌايو وڃي.
◆غير معمولي مواد جي مطابقت
مضبوط ماحولياتي موافقت سان مختلف مواد ۽ مٿاڇري جي قسمن کي ماپڻ جي قابل، ڪيترن ئي سيمي ڪنڊڪٽر عمل جي مرحلن لاءِ موزون.
◆ڪمپيڪٽ انڊسٽريل ڊيزائن
ڪمپيڪٽ فارم فيڪٽر خودڪار سامان ۽ ڪنٽرول سسٽم ۾ بيحد انضمام کي آسان بڻائي ٿو، ذهين عمل جي نگراني ۽ بند لوپ ترتيب کي فعال بڻائي ٿو.
ايپليڪيشن جا منظرناموPDE سيريز ليزر ڊسپليسمينٽ سينسرزويفر پروسيسنگ ۾
لانباؤ سينسرPDE سيريز ليزر ڊسپليسمينٽ سينسرز: ويفر جي پيداوار ۾ نازڪ ايپليڪيشنون
غير معمولي ڪارڪردگي سان، لينسنر پي ڊي اي ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر ڪيترن ئي ويفر فيبريڪيشن جي عملن ۾ اهم ڪردار ادا ڪن ٿا:
◆ويفر الائنمينٽ ۽ پوزيشننگ
فوٽو ليٿوگرافي ۽ بانڊنگ جي عملن لاءِ جن کي مائڪرون-سطح جي درستگي جي ضرورت آهي، اسان جا سينسر ويفر پوزيشن ۽ ٽائل اينگل کي صحيح طور تي ماپيندا آهن ته جيئن مڪمل ماسڪ-ٽو-ويفر الائنمينٽ ۽ بانڊنگ آرم پوزيشننگ کي يقيني بڻائي سگهجي - پيٽرن جي منتقلي جي درستگي کي وڌايو وڃي.
◆ويفر ٿولهه ميٽرولوجي
جمع ڪرڻ جي عملن دوران حقيقي وقت جي نگراني سان غير رابطي واري ٿلهي جي ماپ کي فعال ڪرڻ، بهترين پتلي فلم جي معيار جي ڪنٽرول کي يقيني بڻائڻ.
◆ويفر فليٽنس انسپيڪشن
ناقص ويفرز کي هيٺئين وهڪري ۾ وڌڻ کان روڪڻ لاءِ ذيلي مائڪرون ريزوليوشن سان ويفر وار پيج ۽ مٿاڇري جي خرابي کي ڳولڻ.
◆ٿلهي فلم جي ٿولهه جي نگراني
سخت برقي ڪارڪردگي جي وضاحتن کي برقرار رکڻ لاءِ CVD/PVD عملن دوران حقيقي وقت ۾ جمع ٿيل ٿلهي جي ٽريڪنگ فراهم ڪرڻ.
◆مٿاڇري جي خرابي جي چڪاس
هاءِ ريزوليوشن ڊسپليسمينٽ ميپنگ ذريعي مائڪرون-اسڪيل مٿاڇري جي بي ضابطگين (خرچيون، ذرات) جي سڃاڻپ، خرابي جي سڃاڻپ جي شرح کي خاص طور تي بهتر بڻائيندي.
◆سامان جي حالت جي نگراني
اڳڪٿي ڪندڙ سار سنڀال ۽ استحڪام جي اصلاح لاءِ اهم جزن جي بي گھرڻ (روبوٽ هٿيار، اسٽيج جي حرڪت) ۽ مشين جي وائبريشن کي ٽريڪ ڪرڻ.
لانباؤ سينسر جي پي ڊي اي سيريز نه رڳو چين جي اعليٰ درجي جي صنعتي سينسر مارڪيٽ ۾ نازڪ ٽيڪنالاجي جي فرق کي ختم ڪري ٿي پر پنهنجي غير معمولي ڪارڪردگي سان نوان عالمي معيار قائم ڪري ٿي. ڇا پيداوار جي شرح کي وڌائڻ، پيداوار جي قيمتن کي گهٽائڻ، يا ايندڙ نسل جي عمل جي ترقي کي تيز ڪرڻ، پي ڊي اي سيريز صحت واري سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي چئلينجن کي فتح ڪرڻ لاءِ توهان جي آخري هٿيار طور بيٺل آهي!
پوسٽ جو وقت: مئي-08-2025