Производство полупроводников является одной из самых требовательных к точности и технологически сложных областей в современной высокотехнологичной промышленности. Поскольку процессы производства чипов продвигаются к узлам размером 3 нм и даже меньше, точность измерений толщины пластины, плоскостности поверхности и размеров микроструктуры напрямую определяет выход годных чипов и производительность. В этом контексте лазерные датчики смещения с их бесконтактной работой, превосходной точностью, более быстрым временем отклика и повышенной стабильностью стали незаменимыми «измерительными глазами» на протяжении всего процесса производства полупроводников.
Как основная подложка для изготовления полупроводниковых приборов, пластины требуют чрезвычайной точности и надежности в процессе производства. Среди многих критических этапов производства пластин точное измерение смещения имеет первостепенное значение — оно напрямую влияет на производительность и выход готового чипа. Будучи лидером инноваций в секторе промышленных датчиков Китая, лазерные датчики смещения серии PDE компании Lansensor, характеризующиеся разрешением на уровне микронов, интеллектуальными алгоритмами и надежностью промышленного уровня, стали предпочтительным решением для процессов производства пластин.
Проблемы точности при производстве пластин и преимущества лазерных датчиков смещения
Производство пластин включает в себя ряд сложных процессов, таких как фотолитография, травление, осаждение тонкой пленки и склеивание, каждый из которых требует строгой точности на уровне микрометра или даже нанометра. Например:
-
В фотолитографии точное совмещение фотошаблона и пластины имеет решающее значение для обеспечения точного переноса рисунка на поверхность пластины.
-
В процессе нанесения тонких пленок точный контроль толщины пленки имеет решающее значение для обеспечения электрических характеристик устройств.
Даже малейшее отклонение может привести к дефектам продукции или даже сделать целую партию пластин непригодной к использованию.
Традиционные механические методы измерения часто не соответствуют таким требованиям высокой точности. Более того, они рискуют повредить или загрязнить хрупкую поверхность пластины, в то время как их низкая скорость отклика делает их неадекватными для передовых требований метрологии.
ЛанбаодатчикЛазерные датчики смещения серии PDE: Оптимальное решение для применения в пластинах
◆Бесконтактное лазерное измерение
Использует проекцию лазерного луча на целевые поверхности, анализирует отраженные/рассеянные сигналы для получения данных о смещении, устраняя физический контакт с пластинами, что позволяет предотвратить механические повреждения и риски загрязнения.
◆Точность на уровне микрона
Передовые лазерные технологии и алгоритмы обработки сигналов обеспечивают точность измерений и разрешение на уровне микрометра, отвечая высочайшим требованиям точности процессов изготовления пластин.
◆Сверхбыстрый отклик (<10 мс)
Позволяет осуществлять мониторинг динамических изменений производства в режиме реального времени, что позволяет немедленно обнаруживать и корректировать отклонения для повышения эффективности производства.
◆Исключительная совместимость материалов
Способен измерять различные материалы и типы поверхностей, обладает высокой степенью адаптации к окружающей среде, подходит для нескольких стадий процесса производства полупроводников.
◆Компактный промышленный дизайн
Компактный форм-фактор обеспечивает беспроблемную интеграцию в автоматизированное оборудование и системы управления, позволяя осуществлять интеллектуальный мониторинг процесса и регулировку в замкнутом контуре.
Сценарии примененияЛазерные датчики смещения серии PDEв обработке пластин
Датчик ЛанбаоЛазерные датчики смещения серии PDE: Критические приложения в производстве пластин
Обладая исключительной производительностью, лазерные датчики смещения Lansensor PDE играют важнейшую роль в различных процессах изготовления пластин:
◆Выравнивание и позиционирование пластин
Для процессов фотолитографии и склеивания, требующих точности на уровне микронов, наши датчики точно измеряют положение пластины и углы наклона, чтобы гарантировать идеальное совмещение маски с пластиной и позиционирование соединительного рычага, что повышает точность переноса рисунка.
◆Метрология толщины пластин
Возможность бесконтактного измерения толщины с мониторингом в реальном времени во время процессов осаждения, гарантирующая оптимальный контроль качества тонких пленок.
◆Проверка плоскостности пластин
Обнаружение коробления пластин и деформации поверхности с субмикронным разрешением для предотвращения передачи дефектных пластин на последующие этапы производства.
◆Мониторинг толщины тонкой пленки
Обеспечение отслеживания толщины осаждения в режиме реального времени во время процессов CVD/PVD для поддержания строгих спецификаций электрических характеристик.
◆Обнаружение дефектов поверхности
Выявление аномалий поверхности микронного масштаба (царапин, частиц) с помощью карт смещения высокого разрешения, что значительно повышает показатели обнаружения дефектов.
◆Мониторинг состояния оборудования
Отслеживание смещений критических компонентов (манипуляторов робота, движений платформы) и вибраций машин для предиктивного обслуживания и оптимизации устойчивости.
Серия PDE от Lanbao sensor не только заполняет критические технологические пробелы на рынке высококлассных промышленных датчиков Китая, но и устанавливает новые мировые стандарты благодаря своей исключительной производительности. Будь то повышение производительности, снижение производственных затрат или ускорение разработки процесса следующего поколения, серия PDE станет вашим главным оружием для решения задач по производству прецизионных полупроводников!
Время публикации: 08-05-2025