Производство полупроводников является одной из самых требовательных к точности и технологически сложных областей в современной высокотехнологичной промышленности. По мере развития технологических процессов производства чипов до 3 нм и даже меньших узлов, точность измерений толщины пластины, плоскостности поверхности и размеров микроструктуры напрямую определяет выход годных изделий и производительность чипов. В этом контексте лазерные датчики перемещения, благодаря своей бесконтактной работе, высокой точности, более быстрому времени отклика и повышенной стабильности, стали незаменимыми «измерительными глазами» на протяжении всего процесса производства полупроводников.
В качестве основной подложки для изготовления полупроводниковых приборов, кремниевые пластины требуют исключительной точности и надежности в процессе производства. Среди множества критически важных этапов производства пластин точное измерение перемещения имеет первостепенное значение — оно напрямую влияет на производительность и выход годного продукта конечного чипа. Компания Lansensor, лидер инноваций в китайском секторе промышленного сенсорного оборудования, разработала лазерные датчики перемещения серии PDE, отличающиеся разрешением на микронном уровне, интеллектуальными алгоритмами и надежностью промышленного класса, которые стали предпочтительным решением для процессов производства кремниевых пластин.
Проблемы обеспечения точности в производстве кремниевых пластин и преимущества лазерных датчиков перемещения.
Производство кремниевых пластин включает в себя ряд сложных процессов, таких как фотолитография, травление, осаждение тонких пленок и склеивание, каждый из которых требует строгой точности на микрометровом или даже нанометровом уровне. Например:
-
В фотолитографии точное выравнивание фотошаблона и подложки имеет решающее значение для обеспечения точного переноса рисунка на поверхность подложки.
-
В процессе нанесения тонких пленок точный контроль толщины пленки имеет решающее значение для обеспечения электрических характеристик устройств.
Даже малейшее отклонение может привести к дефектам продукции или даже сделать всю партию пластин непригодной для использования.
Традиционные механические методы измерения часто не справляются с такими высокими требованиями к точности. Более того, они сопряжены с риском повреждения или загрязнения хрупкой поверхности пластины, а их низкая скорость отклика делает их непригодными для самых современных метрологических задач.
ЛанбаодатчикЛазерные датчики перемещения серии PDE: Оптимальное решение для применения в производстве кремниевых пластин
◆Бесконтактное лазерное измерение
Используется проекция лазерного луча на целевые поверхности, анализ отраженных/рассеянных сигналов для получения данных о смещении, что исключает физический контакт с пластинами и предотвращает механические повреждения и риски загрязнения.
◆Точность на микронном уровне
Передовые лазерные технологии и алгоритмы обработки сигналов обеспечивают точность и разрешение измерений в микрометровом масштабе, отвечая самым высоким требованиям к точности процессов изготовления кремниевых пластин.
◆Сверхбыстрый отклик (<10 мс)
Обеспечивает мониторинг динамических изменений в производстве в режиме реального времени, позволяя незамедлительно обнаруживать и корректировать отклонения для повышения эффективности производства.
◆Исключительная совместимость материалов
Способен измерять свойства различных материалов и типов поверхностей, обладает высокой адаптивностью к условиям окружающей среды и подходит для различных этапов полупроводникового технологического процесса.
◆Компактный промышленный дизайн
Компактный форм-фактор обеспечивает бесшовную интеграцию в автоматизированное оборудование и системы управления, позволяя осуществлять интеллектуальный мониторинг процессов и регулировку с обратной связью.
Сценарии примененияЛазерные датчики перемещения серии PDEв обработке кремниевых пластин
датчик ЛанбаоЛазерные датчики перемещения серии PDEКритические области применения в производстве кремниевых пластин
Благодаря исключительной производительности лазерные датчики перемещения Lansensor PDE играют важную роль в различных процессах изготовления кремниевых пластин:
◆Выравнивание и позиционирование пластин
Для процессов фотолитографии и склеивания, требующих точности на микронном уровне, наши датчики точно измеряют положение пластины и углы наклона, обеспечивая идеальное выравнивание маски относительно пластины и позиционирование соединительного рычага, что повышает точность переноса рисунка.
◆Метрология толщины пластины
Возможность бесконтактного измерения толщины с мониторингом в реальном времени в процессе осаждения, обеспечивающая оптимальный контроль качества тонких пленок.
◆Проверка плоскостности пластины
Выявление деформации и искривления поверхности кремниевых пластин с субмикронным разрешением для предотвращения дальнейшего продвижения дефектных пластин по технологическому процессу.
◆Мониторинг толщины тонких пленок
Обеспечение отслеживания толщины осаждения в режиме реального времени в процессе CVD/PVD-процессов для поддержания строгих технических характеристик электрических свойств.
◆Обнаружение дефектов поверхности
Выявление аномалий поверхности микроскопического масштаба (царапин, частиц) с помощью высокоточного картирования смещений, что значительно повышает точность обнаружения дефектов.
◆Мониторинг состояния оборудования
Отслеживание перемещений критически важных компонентов (манипуляторов роботов, движений платформы) и вибраций оборудования для прогнозирующего технического обслуживания и оптимизации стабильности.
Серия PDE от Lanbao Sensor не только заполняет критически важные технологические пробелы на китайском рынке высокотехнологичных промышленных датчиков, но и устанавливает новые мировые стандарты благодаря своей исключительной производительности. Будь то повышение выхода годной продукции, снижение производственных затрат или ускорение разработки технологических процессов следующего поколения, серия PDE станет вашим незаменимым инструментом для решения задач в области высокоточного полупроводникового производства!
Дата публикации: 08 мая 2025 г.