Fabricarea semiconductorilor este unul dintre cele mai exigente domenii din punct de vedere al preciziei și al complexității tehnologice din industria high-tech actuală. Pe măsură ce procesele de fabricație a cipurilor avansează spre 3nm și noduri chiar mai mici, precizia măsurătorilor pentru grosimea plachetei, planeitatea suprafeței și dimensiunile microstructurii determină direct randamentul și performanța cipului. În acest context, senzorii de deplasare cu laser, cu funcționarea lor fără contact, precizia superioară, timpii de răspuns mai rapizi și stabilitatea sporită, au devenit „ochi de măsurare” indispensabili pe tot parcursul procesului de fabricație a semiconductorilor.
Fiind substratul central al fabricării dispozitivelor semiconductoare, napolitanele necesită precizie și fiabilitate extreme în timpul producției. Printre numeroasele etape critice ale fabricării napolitanelor, măsurarea precisă a deplasării este primordială - aceasta are un impact direct asupra performanței și randamentului cipului final. În calitate de lider în inovație în sectorul de detectare industrială din China, senzorii de deplasare cu laser din seria PDE de la Lansensor, cu rezoluție la nivel de microni, algoritmi inteligenți și fiabilitate de nivel industrial, au devenit soluția preferată pentru procesele de fabricație a napolitanelor.
Provocările de precizie în fabricarea napolitanelor și avantajele senzorilor de deplasare cu laser
Fabricarea napolitanelor implică o serie de procese complexe, cum ar fi fotolitografia, gravarea, depunerea de pelicule subțiri și lipirea - fiecare necesitând o precizie strictă la nivel micrometric sau chiar nanometric. De exemplu:
-
În fotolitografie, alinierea precisă dintre fotomască și plachetă este esențială pentru a asigura transferul precis al modelului pe suprafața plachetei.
-
În timpul depunerii în peliculă subțire, controlul exact al grosimii peliculei este esențial pentru a garanta performanța electrică a dispozitivelor.
Chiar și cea mai mică abatere poate duce la defecte de produs sau chiar poate face inutilizabil un întreg lot de napolitane.
Metodele tradiționale de măsurare mecanică nu reușesc adesea să îndeplinească astfel de cerințe de înaltă precizie. Mai mult, acestea riscă să deterioreze sau să contamineze suprafața fragilă a napolitanei, în timp ce vitezele lor lente de răspuns le fac inadecvate pentru cerințele metrologice de ultimă generație.
LanbaosenzorSenzori de deplasare laser din seria PDESoluția optimă pentru aplicațiile cu napolitane
◆Măsurare laser fără contact
Utilizează proiecția fasciculului laser pe suprafețele țintă, analizând semnalele reflectate/împrăștiate pentru a obține date de deplasare - eliminând contactul fizic cu napolitanele pentru a preveni deteriorarea mecanică și riscurile de contaminare.
◆Precizie la nivel de microni
Tehnologia laser avansată și algoritmii de procesare a semnalelor oferă o precizie și o rezoluție a măsurătorilor la scară micrometrică, îndeplinind cerințele extreme de precizie ale proceselor de fabricație a napolitanelor.
◆Răspuns ultra-rapid (<10ms)
Permite monitorizarea în timp real a variațiilor dinamice ale producției, permițând detectarea și corectarea imediată a abaterilor pentru a îmbunătăți eficiența fabricației.
◆Compatibilitate excepțională a materialelor
Capabil să măsoare diverse materiale și tipuri de suprafețe cu o adaptabilitate puternică la mediu, potrivit pentru mai multe etape ale procesului semiconductor.
◆Design industrial compact
Factorul de formă compact facilitează integrarea perfectă în echipamente automate și sisteme de control, permițând monitorizarea inteligentă a proceselor și reglarea în buclă închisă.
Scenarii de aplicare aleSenzori de deplasare laser din seria PDEîn procesarea napolitanelor
Senzor LanbaoSenzori de deplasare laser din seria PDEAplicații critice în fabricarea napolitanelor
Cu performanțe excepționale, senzorii de deplasare cu laser Lansensor PDE joacă roluri vitale în multiple procese de fabricare a plachetelor:
◆Alinierea și poziționarea waferelor
Pentru procesele de fotolitografie și de lipire care necesită precizie la nivel micronic, senzorii noștri măsoară cu precizie poziția napolitanei și unghiurile de înclinare pentru a asigura o aliniere perfectă între mască și napolitană și poziționarea brațului de lipire - sporind precizia transferului de model.
◆Metrologia grosimii plachetelor
Permite măsurarea grosimii fără contact cu monitorizare în timp real în timpul proceselor de depunere, asigurând un control optim al calității peliculei subțiri.
◆Inspecția planeității napolitane
Detectarea deformării și distorsiunii suprafeței napolitane cu o rezoluție submicronică pentru a preveni progresul napolitanelor defecte în aval.
◆Monitorizarea grosimii peliculei subțiri
Asigurarea urmăririi în timp real a grosimii depunerii în timpul proceselor CVD/PVD pentru a menține specificații stricte de performanță electrică.
◆Detectarea defectelor de suprafață
Identificarea anomaliilor de suprafață la scară micronică (zgârieturi, particule) prin cartografierea deplasării de înaltă rezoluție, îmbunătățind semnificativ ratele de detectare a defectelor.
◆Monitorizarea stării echipamentelor
Urmărirea deplasărilor componentelor critice (brațe robotizate, mișcări ale platformei) și a vibrațiilor mașinii pentru mentenanță predictivă și optimizarea stabilității.
Seria PDE de la Lanbao Sensor nu numai că elimină lacunele tehnologice critice de pe piața senzorilor industriali de înaltă performanță din China, dar stabilește și noi standarde globale prin performanța sa excepțională. Fie că este vorba de creșterea ratelor de randament, reducerea costurilor de producție sau accelerarea dezvoltării proceselor de generație următoare, seria PDE reprezintă arma supremă pentru a depăși provocările legate de fabricația de semiconductori de precizie!
Data publicării: 08 mai 2025