حل: د سیمیکمډکټر چپ غیر معمولي سټیکینګ کشف کې د لانباو PDA لیزر بې ځایه کیدو سینسر کارول

د سیمیکمډکټر تولید سکتور کې، د چپس غیر معمولي سټیکینګ د تولید یوه جدي ستونزه ده. د تولید پروسې په جریان کې د چپس غیر متوقع سټیکینګ کولی شي د تجهیزاتو زیان او د پروسې ناکامۍ لامل شي، او ممکن د محصولاتو ډله ایز سکریپ کولو پایله هم ولري، چې د تصدیو لپاره د پام وړ اقتصادي زیان لامل کیږي.

微信图片_20250325130827

د سیمیکمډکټر تولیدي پروسو د دوامداره تصفیې سره، د تولید پرمهال د کیفیت کنټرول باندې لوړې غوښتنې کیږي. د لیزر بې ځایه کیدنې سینسرونه، د غیر تماس، لوړ دقیق اندازه کولو ټیکنالوژۍ په توګه، د دوی د ګړندي او دقیق کشف وړتیاو سره د چپ سټیکینګ غیر معمولي کشف لپاره مؤثر حل چمتو کوي.

د کشف اصل او د بې نظمۍ قضاوت منطق

微信图片_20250325130834

د سیمیکمډکټر جوړولو په پروسه کې، چپس معمولا په کیریرونو یا ټرانسپورټ ټریکونو کې په یو واحد پرت، فلیټ ترتیب کې ځای پر ځای کیږي. پدې وخت کې، د چپ سطح لوړوالی یو مخکینۍ اساس ارزښت دی، په عمومي ډول د چپ ضخامت او کیریر لوړوالی مجموعه. کله چې چپس په ناڅاپي ډول سټیک شي، د دوی د سطح لوړوالی به د پام وړ لوړ شي. دا بدلون د سټیک کولو غیر معمولي حالتونو کشفولو لپاره یو مهم اساس چمتو کوي.

د ټرانسپورټ ټریک سټیکینګ کشف

微信图片_20250325130838

د ترانسپورت لارې د تولید پروسې په جریان کې د چپس حرکت لپاره مهم چینلونه دي. په هرصورت، چپس ممکن د لیږد پرمهال د الکتروسټاتیک جذب یا میخانیکي ناکامیو له امله په پټیو کې راټول شي، چې د پټیو د بندیدو لامل کیږي. دا ډول بندیدل نه یوازې د تولید جریان ګډوډولی شي بلکه چپس ته هم زیان رسوي.

د ټرانسپورټ ټریکونو د نه خنډ شوي جریان د څارنې لپاره، د لیزر بې ځایه کیدو سینسرونه د ټریکونو پورته ځای په ځای کیدی شي ترڅو د ټریک کراس برخې لوړوالی سکین کړي. که چیرې د ځایی شوي ساحې لوړوالی غیر معمولي وي (د مثال په توګه، د چپس د یوې طبقې ضخامت څخه لوړ یا ټیټ)، سینسرونه به دا د سټیکینګ بلاکیج په توګه وټاکي او د الارم میکانیزم به رامینځته کړي ترڅو آپریټرانو ته د وخت سره اداره کولو لپاره خبر ورکړي، د تولید اسانه جریان ډاډمن کړي.

د کشف پروسه

د لانباو لیزر بې ځایه کیدنې سینسرونه د لیزر بیم په خپرولو، منعکس شوي سیګنال ترلاسه کولو او د مثلث میتود په کارولو سره د هدف سطحو لوړوالی په سمه توګه اندازه کوي.

ژوندۍ سکین کول

سینسر په عمودي ډول د چپ کشف ساحې سره سمون لري، په دوامداره توګه لیزر خپروي او منعکس شوي سیګنال ترلاسه کوي. د چپ لیږد په جریان کې، سینسر کولی شي د ریښتیني وخت سطحې لوړوالي معلومات ترلاسه کړي.

د لوړوالي محاسبه

سینسر د ترلاسه شوي منعکس شوي سیګنال څخه د چپ سطحې لوړوالي ارزښت محاسبه کولو لپاره داخلي الګوریتم کاروي. د سیمیکمډکټر تولید لینونو د لوړ سرعت لیږد غوښتنې پوره کولو لپاره، دا اړینه ده چې سینسر لوړ دقت او د نمونې اخیستلو لوړ فریکونسي ولري.

د حد ټاکل

د لوړوالي د بدلون لپاره د منلو وړ حد ټاکل شوی، معمولا د اساسې لوړوالي څخه ±30 µm. که چیرې اندازه شوی ارزښت د دې حد څخه ډیر شي، نو دا د سټکینګ غیر معمولي والي په توګه ټاکل کیږي. د دې حد ټاکلو منطق کولی شي په مؤثره توګه د نورمال واحد پرت چپس او سټکیډ چپس ترمنځ توپیر وکړي.

الارم او اداره کول

د سټکینګ غیر معمولي حالت په کشفولو سره، سینسر د اوریدونکي او لید الارم رامینځته کوي، او په ورته وخت کې د غیر معمولي موقعیت لرې کولو لپاره روبوټیک بازو فعالوي، یا د تولید لاین ودروي ترڅو د وضعیت نور خرابیدو مخه ونیسي. دا د چټک غبرګون میکانیزم د سټکینګ غیر معمولي حالتونو له امله رامینځته شوي زیانونه تر ډیره حده کموي.

微信图片_20250325130842

د لیزر بې ځایه کیدنې سینسرونو په کارولو سره د چپ سټیکینګ غیر معمولي حالتونو ریښتیني وخت، لوړ دقیق کشف کولی شي د سیمیکمډکټر تولید لینونو اعتبار او حاصل د پام وړ ښه کړي. د دوامداره ټیکنالوژیکي پرمختګونو سره، د لیزر بې ځایه کیدنې سینسرونه به د سیمیکمډکټر تولید کې حتی لوی رول ولوبوي، د صنعت دوامداره پرمختګ لپاره قوي ملاتړ چمتو کوي.


د پوسټ وخت: مارچ-۲۵-۲۰۲۵