आजच्या हाय-टेक उद्योगात सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग हे सर्वात अचूकता-मागणी करणारे आणि तांत्रिकदृष्ट्या जटिल क्षेत्रांपैकी एक आहे. चिप प्रक्रिया 3nm आणि त्याहूनही लहान नोड्सकडे प्रगती करत असताना, वेफर जाडी, पृष्ठभाग सपाटपणा आणि मायक्रोस्ट्रक्चर आयामांसाठी मोजमापांची अचूकता थेट चिप उत्पन्न आणि कार्यक्षमता निश्चित करते. या संदर्भात, लेसर डिस्प्लेसमेंट सेन्सर्स, त्यांच्या संपर्क नसलेल्या ऑपरेशनसह, उत्कृष्ट अचूकता, जलद प्रतिसाद वेळ आणि वाढीव स्थिरतेसह, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये अपरिहार्य "मापन डोळे" बनले आहेत.
सेमीकंडक्टर डिव्हाइस फॅब्रिकेशनचा मुख्य सब्सट्रेट म्हणून, वेफर्सना उत्पादनादरम्यान अत्यंत अचूकता आणि विश्वासार्हता आवश्यक असते. वेफर उत्पादनाच्या अनेक महत्त्वाच्या टप्प्यांपैकी, अचूक विस्थापन मापन हे अत्यंत महत्त्वाचे आहे - ते थेट अंतिम चिपच्या कामगिरीवर आणि उत्पन्नावर परिणाम करते. चीनच्या औद्योगिक सेन्सिंग क्षेत्रातील एक नावीन्यपूर्ण नेता म्हणून, लॅन्सेन्सरचे पीडीई मालिका लेसर विस्थापन सेन्सर्स, ज्यामध्ये मायक्रोन-स्तरीय रिझोल्यूशन, बुद्धिमान अल्गोरिदम आणि औद्योगिक-ग्रेड विश्वसनीयता आहे, वेफर उत्पादन प्रक्रियेसाठी पसंतीचे उपाय म्हणून उदयास आले आहेत.
वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील अचूकता आव्हाने आणि लेसर डिस्प्लेसमेंट सेन्सर्सचे फायदे
वेफर उत्पादनामध्ये फोटोलिथोग्राफी, एचिंग, थिन-फिल्म डिपॉझिशन आणि बाँडिंग सारख्या जटिल प्रक्रियांची मालिका समाविष्ट असते - प्रत्येकासाठी मायक्रोमीटर किंवा अगदी नॅनोमीटर पातळीवर कठोर अचूकता आवश्यक असते. उदाहरणार्थ:
-
फोटोलिथोग्राफीमध्ये, वेफरच्या पृष्ठभागावर अचूक पॅटर्न ट्रान्सफर सुनिश्चित करण्यासाठी फोटोमास्क आणि वेफरमधील अचूक संरेखन अत्यंत महत्वाचे आहे.
-
पातळ-फिल्म जमा करताना, उपकरणांच्या विद्युत कामगिरीची हमी देण्यासाठी फिल्मच्या जाडीचे अचूक नियंत्रण आवश्यक आहे.
अगदी थोड्याशा विचलनामुळेही उत्पादनात दोष निर्माण होऊ शकतात किंवा वेफर्सचा संपूर्ण बॅच निरुपयोगी होऊ शकतो.
पारंपारिक यांत्रिक मापन पद्धती अशा उच्च-परिशुद्धता मागण्या पूर्ण करण्यात अनेकदा कमी पडतात. शिवाय, ते नाजूक वेफर पृष्ठभागाला नुकसान पोहोचवण्याचा किंवा दूषित करण्याचा धोका पत्करतात, तर त्यांच्या मंद प्रतिसाद गतीमुळे ते अत्याधुनिक मेट्रोलॉजी आवश्यकतांसाठी अपुरे पडतात.
लॅन्बाओसेन्सरपीडीई मालिका लेसर विस्थापन सेन्सर्स: वेफर अनुप्रयोगांसाठी इष्टतम उपाय
◆संपर्करहित लेसर मापन
लक्ष्य पृष्ठभागावर लेसर बीम प्रक्षेपणाचा वापर करते, विस्थापन डेटा मिळविण्यासाठी परावर्तित/विखुरलेल्या सिग्नलचे विश्लेषण करते - यांत्रिक नुकसान आणि दूषित होण्याचे धोके टाळण्यासाठी वेफर्सशी शारीरिक संपर्क दूर करते.
◆मायक्रोन-स्तरीय अचूकता
प्रगत लेसर तंत्रज्ञान आणि सिग्नल प्रोसेसिंग अल्गोरिदम मायक्रोमीटर-स्केल मापन अचूकता आणि रिझोल्यूशन प्रदान करतात, वेफर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेच्या अत्यंत अचूकतेच्या मागण्या पूर्ण करतात.
◆अति-जलद प्रतिसाद (<१० मिलीसेकंद)
गतिमान उत्पादन भिन्नतेचे रिअल-टाइम निरीक्षण सक्षम करते, ज्यामुळे उत्पादन कार्यक्षमता वाढविण्यासाठी त्वरित विचलन शोधणे आणि सुधारणा करणे शक्य होते.
◆अपवादात्मक साहित्य सुसंगतता
विविध साहित्य आणि पृष्ठभागाचे प्रकार मोजण्यास सक्षम, मजबूत पर्यावरणीय अनुकूलतेसह, अनेक अर्धसंवाहक प्रक्रियेच्या टप्प्यांसाठी योग्य.
◆कॉम्पॅक्ट इंडस्ट्रियल डिझाइन
कॉम्पॅक्ट फॉर्म फॅक्टर स्वयंचलित उपकरणे आणि नियंत्रण प्रणालींमध्ये अखंड एकात्मता सुलभ करतो, ज्यामुळे बुद्धिमान प्रक्रिया देखरेख आणि बंद-लूप समायोजन शक्य होते.
च्या अर्ज परिस्थितीपीडीई मालिका लेसर विस्थापन सेन्सर्सवेफर प्रक्रियेत
लॅनबाओ सेन्सरपीडीई मालिका लेसर विस्थापन सेन्सर्स: वेफर उत्पादनातील गंभीर अनुप्रयोग
अपवादात्मक कामगिरीसह, लॅन्सेन्सर पीडीई लेसर डिस्प्लेसमेंट सेन्सर्स अनेक वेफर फॅब्रिकेशन प्रक्रियांमध्ये महत्त्वाची भूमिका बजावतात:
◆वेफर अलाइनमेंट आणि पोझिशनिंग
मायक्रोन-स्तरीय अचूकतेची आवश्यकता असलेल्या फोटोलिथोग्राफी आणि बाँडिंग प्रक्रियांसाठी, आमचे सेन्सर्स वेफर पोझिशन आणि टिल्ट अँगल अचूकपणे मोजतात जेणेकरून परिपूर्ण मास्क-टू-वेफर अलाइनमेंट आणि बाँडिंग आर्म पोझिशनिंग सुनिश्चित होईल - पॅटर्न ट्रान्सफर अचूकता वाढेल.
◆वेफर जाडीचे मापन
डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान रिअल-टाइम मॉनिटरिंगसह संपर्क नसलेल्या जाडीचे मापन सक्षम करणे, इष्टतम पातळ-फिल्म गुणवत्ता नियंत्रण सुनिश्चित करणे.
◆वेफर फ्लॅटनेस तपासणी
दोषपूर्ण वेफर्सना प्रवाहात जाण्यापासून रोखण्यासाठी सब-मायक्रॉन रिझोल्यूशनसह वेफर वॉरपेज आणि पृष्ठभागाचे विकृतीकरण शोधणे.
◆पातळ-फिल्म जाडीचे निरीक्षण
काटेकोर विद्युत कामगिरी तपशील राखण्यासाठी CVD/PVD प्रक्रियेदरम्यान रिअल-टाइम डिपॉझिशन जाडी ट्रॅकिंग प्रदान करणे.
◆पृष्ठभाग दोष शोधणे
उच्च-रिझोल्यूशन विस्थापन मॅपिंगद्वारे मायक्रोन-स्केल पृष्ठभागावरील विसंगती (स्क्रॅच, कण) ओळखणे, दोष शोधण्याचे दर लक्षणीयरीत्या सुधारणे.
◆उपकरणांच्या स्थितीचे निरीक्षण
भाकित देखभाल आणि स्थिरता ऑप्टिमायझेशनसाठी महत्त्वाच्या घटकांचे विस्थापन (रोबोटचे हात, स्टेज हालचाली) आणि मशीन कंपनांचा मागोवा घेणे.
लॅनबाओ सेन्सरची पीडीई मालिका केवळ चीनच्या उच्च-स्तरीय औद्योगिक सेन्सर बाजारपेठेतील महत्त्वपूर्ण तंत्रज्ञानातील तफावत भरून काढत नाही तर त्याच्या अपवादात्मक कामगिरीने नवीन जागतिक बेंचमार्क स्थापित करते. उत्पन्न दर वाढवणे असो, उत्पादन खर्च कमी करणे असो किंवा पुढच्या पिढीच्या प्रक्रिया विकासाला गती देणे असो, पीडीई मालिका अचूक सेमीकंडक्टर उत्पादन आव्हानांवर मात करण्यासाठी तुमचे अंतिम शस्त्र म्हणून उभी आहे!
पोस्ट वेळ: मे-०८-२०२५