Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт чипийг хэвийн бус байдлаар давхарлах нь үйлдвэрлэлийн ноцтой асуудал юм. Үйлдвэрлэлийн явцад чипийг гэнэт давхарлах нь тоног төхөөрөмжийн эвдрэл, үйл явцын доголдолд хүргэж болзошгүй бөгөөд мөн бүтээгдэхүүнийг их хэмжээгээр хаягдал болгон хаяж, аж ахуйн нэгжүүдэд эдийн засгийн ихээхэн хохирол учруулж болзошгүй юм.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессыг тасралтгүй сайжруулснаар үйлдвэрлэлийн явцад чанарын хяналтад илүү өндөр шаардлага тавьдаг. Лазер шилжилтийн мэдрэгч нь холбоо барихгүй, өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн технологи бөгөөд хурдан бөгөөд нарийвчлалтай илрүүлэх чадвараараа чипийн давхаргын гажигийг илрүүлэх үр дүнтэй шийдлийг өгдөг.
Илрүүлэх зарчим ба аномалийн дүгнэлтийн логик
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст чипийг ихэвчлэн зөөгч эсвэл тээвэрлэх зам дээр нэг давхаргатай, хавтгай байрлалд байрлуулдаг. Энэ үед чипийн гадаргуугийн өндөр нь урьдчилан тогтоосон суурь утга бөгөөд ерөнхийдөө чипийн зузаан ба зөөгч өндрийн нийлбэр юм. Чипийг санамсаргүйгээр давхарласан үед тэдгээрийн гадаргуугийн өндөр мэдэгдэхүйц нэмэгдэх болно. Энэхүү өөрчлөлт нь давхарлалтын гажигийг илрүүлэх чухал үндэс суурийг тавьдаг.
Тээврийн замын овоолго илрүүлэлт
Тээврийн зам нь үйлдвэрлэлийн процессын явцад чипийн хөдөлгөөний чухал суваг юм. Гэсэн хэдий ч тээвэрлэлтийн явцад электростатик адсорбци эсвэл механик эвдрэлээс болж чипс зам дээр хуримтлагдаж, улмаар замын бөглөрөлд хүргэж болзошгүй. Ийм бөглөрөл нь зөвхөн үйлдвэрлэлийн урсгалыг тасалдуулахаас гадна чипийг гэмтээж болзошгүй.
Тээврийн замын саадгүй урсгалыг хянахын тулд замын хөндлөн огтлолын өндрийг сканнердахын тулд лазерын шилжилтийн мэдрэгчийг замын дээгүүр байрлуулж болно. Хэрэв орон нутгийн хэсгийн өндөр нь хэвийн бус байвал (жишээлбэл, нэг давхаргын чипний зузаанаас өндөр эсвэл бага) мэдрэгчүүд үүнийг давхарласан бөглөрөл гэж тодорхойлж, операторуудад цаг тухайд нь мэдэгдэх дохиоллын механизмыг ажиллуулж, үйлдвэрлэлийн урсгалыг жигд байлгах болно.
Илрүүлэх үйл явц
Ланбао лазер шилжилтийн мэдрэгч нь лазер туяа цацруулж, ойсон дохиог хүлээн авч, гурвалжингийн аргыг ашиглан бай гадаргуугийн өндрийг нарийн хэмждэг.
Мэдрэгч нь чип илрүүлэх хэсэгтэй босоо байрлалтай бөгөөд лазерыг тасралтгүй цацруулж, ойсон дохиог хүлээн авдаг. Чипийн тээвэрлэлтийн явцад мэдрэгч нь гадаргуугийн өндрийн бодит цагийн мэдээллийг авах боломжтой.
Мэдрэгч нь олж авсан ойсон дохионоос чипийн гадаргуугийн өндрийн утгыг тооцоолохын тулд дотоод алгоритмыг ашигладаг. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шугамын өндөр хурдны дамжуулах шаардлагыг хангахын тулд мэдрэгч нь өндөр нарийвчлалтай болон өндөр түүвэрлэлтийн давтамжтай байх шаардлагатай.
Зөвшөөрөгдөх өндрийн хэлбэлзлийн хязгаарыг тогтоосон бөгөөд энэ нь ихэвчлэн суурь өндрөөс ±30 µм байна. Хэрэв хэмжсэн утга нь энэ босго хязгаараас хэтэрсэн бол энэ нь давхарлалтын гажиг гэж тодорхойлогдоно. Энэхүү босго тодорхойлох логик нь ердийн нэг давхаргат чип болон давхарласан чипийг үр дүнтэй ялгаж чаддаг.
Давхарлах хэвийн бус байдлыг илрүүлсний дараа мэдрэгч нь дуут болон харааны дохиоллыг идэвхжүүлж, нэгэн зэрэг робот гарыг идэвхжүүлж, хэвийн бус байршлыг арилгах эсвэл нөхцөл байдлыг цаашид доройтуулахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд үйлдвэрлэлийн шугамыг түр зогсоодог. Энэхүү хурдан хариу арга хэмжээ авах механизм нь овоолгын хэвийн бус байдлаас үүдэлтэй алдагдлыг хамгийн их хэмжээгээр бууруулдаг.
Лазерын шилжилтийн мэдрэгч ашиглан чипийн давхаргын гажигийг бодит цагийн, өндөр нарийвчлалтай илрүүлэх нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шугамын найдвартай байдал, бүтээмжийг мэдэгдэхүйц сайжруулж чадна. Технологийн тасралтгүй дэвшлийн тусламжтайгаар лазерын шилжилтийн мэдрэгч нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд бүр ч их үүрэг гүйцэтгэж, салбарын тогтвортой хөгжилд хүчтэй дэмжлэг үзүүлэх болно.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 3-р сарын 25