ഇന്നത്തെ ഹൈടെക് വ്യവസായത്തിൽ ഏറ്റവും കൃത്യത ആവശ്യമുള്ളതും സാങ്കേതികമായി സങ്കീർണ്ണവുമായ മേഖലകളിൽ ഒന്നാണ് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണം. ചിപ്പ് പ്രക്രിയകൾ 3nm അല്ലെങ്കിൽ അതിലും ചെറിയ നോഡുകളിലേക്ക് പുരോഗമിക്കുമ്പോൾ, വേഫർ കനം, ഉപരിതല പരന്നത, മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ അളവുകൾ എന്നിവയ്ക്കുള്ള അളവുകളുടെ കൃത്യത നേരിട്ട് ചിപ്പ് വിളവും പ്രകടനവും നിർണ്ണയിക്കുന്നു. ഈ സാഹചര്യത്തിൽ, നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് പ്രവർത്തനം, മികച്ച കൃത്യത, വേഗതയേറിയ പ്രതികരണ സമയം, മെച്ചപ്പെടുത്തിയ സ്ഥിരത എന്നിവയുള്ള ലേസർ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് സെൻസറുകൾ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിലുടനീളം ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത "അളവ് കണ്ണുകൾ" ആയി മാറിയിരിക്കുന്നു.
സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണ നിർമ്മാണത്തിന്റെ പ്രധാന അടിത്തറ എന്ന നിലയിൽ, ഉൽ‌പാദന സമയത്ത് വേഫറുകൾക്ക് അങ്ങേയറ്റത്തെ കൃത്യതയും വിശ്വാസ്യതയും ആവശ്യമാണ്. വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലെ നിരവധി നിർണായക ഘട്ടങ്ങളിൽ, കൃത്യമായ സ്ഥാനചലന അളവ് പരമപ്രധാനമാണ് - ഇത് അന്തിമ ചിപ്പിന്റെ പ്രകടനത്തെയും വിളവിനെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. ചൈനയുടെ വ്യാവസായിക സെൻസിംഗ് മേഖലയിലെ ഒരു ഇന്നൊവേഷൻ ലീഡർ എന്ന നിലയിൽ, മൈക്രോൺ-ലെവൽ റെസല്യൂഷൻ, ഇന്റലിജന്റ് അൽഗോരിതങ്ങൾ, വ്യാവസായിക-ഗ്രേഡ് വിശ്വാസ്യത എന്നിവ ഉൾക്കൊള്ളുന്ന ലാൻസെൻസറിന്റെ PDE സീരീസ് ലേസർ സ്ഥാനചലന സെൻസറുകൾ, വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകൾക്ക് ഏറ്റവും അനുയോജ്യമായ പരിഹാരമായി ഉയർന്നുവന്നിട്ടുണ്ട്.
വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലെ കൃത്യത വെല്ലുവിളികളും ലേസർ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് സെൻസറുകളുടെ ഗുണങ്ങളും
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, എച്ചിംഗ്, നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപം, ബോണ്ടിംഗ് തുടങ്ങിയ സങ്കീർണ്ണമായ പ്രക്രിയകളുടെ ഒരു പരമ്പരയാണ് വേഫർ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉൾപ്പെടുന്നത് - ഓരോന്നിനും മൈക്രോമീറ്ററിലോ നാനോമീറ്റർ തലത്തിലോ പോലും കർശനമായ കൃത്യത ആവശ്യമാണ്. ഉദാഹരണത്തിന്:
-
ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫിയിൽ, വേഫർ പ്രതലത്തിലേക്ക് കൃത്യമായ പാറ്റേൺ കൈമാറ്റം ഉറപ്പാക്കാൻ ഫോട്ടോമാസ്കിനും വേഫറിനും ഇടയിലുള്ള കൃത്യമായ വിന്യാസം നിർണായകമാണ്.
-
നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപ സമയത്ത്, ഉപകരണങ്ങളുടെ വൈദ്യുത പ്രകടനം ഉറപ്പാക്കാൻ ഫിലിം കനം കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്.
ചെറിയ വ്യതിയാനം പോലും ഉൽപ്പന്ന വൈകല്യങ്ങളിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ബാച്ച് വേഫറുകൾ മുഴുവൻ ഉപയോഗശൂന്യമാക്കാം.
പരമ്പരാഗത മെക്കാനിക്കൽ അളവെടുപ്പ് രീതികൾ പലപ്പോഴും ഇത്തരം ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിൽ പരാജയപ്പെടുന്നു. മാത്രമല്ല, അവ ദുർബലമായ വേഫർ പ്രതലത്തിന് കേടുപാടുകൾ വരുത്തുകയോ മലിനമാക്കുകയോ ചെയ്യും, അതേസമയം അവയുടെ മന്ദഗതിയിലുള്ള പ്രതികരണ വേഗത അത്യാധുനിക മെട്രോളജി ആവശ്യകതകൾക്ക് അപര്യാപ്തമാക്കുന്നു.
ലാൻബാവോസെൻസർPDE സീരീസ് ലേസർ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് സെൻസറുകൾ: വേഫർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കുള്ള ഒപ്റ്റിമൽ പരിഹാരം
◆നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് ലേസർ അളവ്
ലക്ഷ്യ പ്രതലങ്ങളിലേക്ക് ലേസർ ബീം പ്രൊജക്ഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, സ്ഥാനചലന ഡാറ്റ ലഭിക്കുന്നതിന് പ്രതിഫലിച്ച/ചിതറിയ സിഗ്നലുകൾ വിശകലനം ചെയ്യുന്നു - മെക്കാനിക്കൽ നാശനഷ്ടങ്ങളും മലിനീകരണ അപകടസാധ്യതകളും തടയുന്നതിന് വേഫറുകളുമായുള്ള ശാരീരിക സമ്പർക്കം ഇല്ലാതാക്കുന്നു.
◆മൈക്രോൺ-ലെവൽ കൃത്യത
നൂതന ലേസർ സാങ്കേതികവിദ്യയും സിഗ്നൽ പ്രോസസ്സിംഗ് അൽഗോരിതങ്ങളും മൈക്രോമീറ്റർ-സ്കെയിൽ അളവെടുപ്പ് കൃത്യതയും റെസല്യൂഷനും നൽകുന്നു, വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളുടെ അങ്ങേയറ്റത്തെ കൃത്യത ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നു.
◆അൾട്രാ-ഫാസ്റ്റ് റെസ്‌പോൺസ് (<10ms)
ഉൽപ്പാദന കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് ഉടനടി വ്യതിയാനം കണ്ടെത്താനും തിരുത്താനും അനുവദിക്കുന്ന, ചലനാത്മക ഉൽപ്പാദന വ്യതിയാനങ്ങളുടെ തത്സമയ നിരീക്ഷണം പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
◆അസാധാരണമായ മെറ്റീരിയൽ അനുയോജ്യത
ശക്തമായ പാരിസ്ഥിതിക പൊരുത്തപ്പെടുത്തലോടെ വൈവിധ്യമാർന്ന വസ്തുക്കളും ഉപരിതല തരങ്ങളും അളക്കാൻ കഴിവുള്ള, ഒന്നിലധികം അർദ്ധചാലക പ്രക്രിയ ഘട്ടങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യം.
◆കോം‌പാക്റ്റ് ഇൻഡസ്ട്രിയൽ ഡിസൈൻ
കോം‌പാക്റ്റ് ഫോം ഫാക്ടർ ഓട്ടോമേറ്റഡ് ഉപകരണങ്ങളിലേക്കും നിയന്ത്രണ സംവിധാനങ്ങളിലേക്കും തടസ്സമില്ലാത്ത സംയോജനം സാധ്യമാക്കുന്നു, ഇത് ബുദ്ധിപരമായ പ്രക്രിയ നിരീക്ഷണവും ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് ക്രമീകരണവും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
ന്റെ ആപ്ലിക്കേഷൻ സാഹചര്യങ്ങൾPDE സീരീസ് ലേസർ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് സെൻസറുകൾവേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിൽ
ലാൻബാവോ സെൻസർPDE സീരീസ് ലേസർ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് സെൻസറുകൾ: വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലെ നിർണായക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
അസാധാരണമായ പ്രകടനത്തോടെ, ലാൻസെൻസർ പിഡിഇ ലേസർ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് സെൻസറുകൾ ഒന്നിലധികം വേഫർ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു:
◆വേഫർ അലൈൻമെന്റും പൊസിഷനിംഗും
മൈക്രോൺ-ലെവൽ കൃത്യത ആവശ്യമുള്ള ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി, ബോണ്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾക്കായി, മാസ്ക്-ടു-വേഫർ വിന്യാസവും ബോണ്ടിംഗ് ആം പൊസിഷനിംഗും ഉറപ്പാക്കാൻ ഞങ്ങളുടെ സെൻസറുകൾ വേഫർ സ്ഥാനവും ടിൽറ്റ് കോണുകളും കൃത്യമായി അളക്കുന്നു - പാറ്റേൺ ട്രാൻസ്ഫർ കൃത്യത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
◆വേഫർ കനം മെട്രോളജി
ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയകളിൽ തത്സമയ നിരീക്ഷണത്തിലൂടെ നോൺ-കൺടാക്റ്റ് കനം അളക്കൽ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, ഒപ്റ്റിമൽ നേർത്ത-ഫിലിം ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
◆വേഫർ ഫ്ലാറ്റ്നസ് പരിശോധന
വികലമായ വേഫറുകൾ താഴേക്ക് നീങ്ങുന്നത് തടയുന്നതിന് സബ്-മൈക്രോൺ റെസല്യൂഷനോടുകൂടിയ വേഫർ വാർപേജും ഉപരിതല രൂപഭേദവും കണ്ടെത്തുന്നു.
◆തിൻ-ഫിലിം തിക്ക്‌നെസ് മോണിറ്ററിംഗ്
കർശനമായ വൈദ്യുത പ്രകടന സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ നിലനിർത്തുന്നതിന് സിവിഡി/പിവിഡി പ്രക്രിയകളിൽ തത്സമയ നിക്ഷേപ കനം ട്രാക്കിംഗ് നൽകുന്നു.
◆ഉപരിതല വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ
ഉയർന്ന റെസല്യൂഷൻ ഡിസ്‌പ്ലേസ്‌മെന്റ് മാപ്പിംഗ് വഴി മൈക്രോൺ-സ്കെയിൽ ഉപരിതല അസാധാരണതകൾ (പോറലുകൾ, കണികകൾ) തിരിച്ചറിയൽ, വൈകല്യ കണ്ടെത്തൽ നിരക്കുകൾ ഗണ്യമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു.
◆ഉപകരണ അവസ്ഥ നിരീക്ഷണം
പ്രവചനാത്മക പരിപാലനത്തിനും സ്ഥിരത ഒപ്റ്റിമൈസേഷനുമായി നിർണായക ഘടക സ്ഥാനചലനങ്ങൾ (റോബോട്ട് ആയുധങ്ങൾ, സ്റ്റേജ് ചലനങ്ങൾ), മെഷീൻ വൈബ്രേഷനുകൾ എന്നിവ ട്രാക്ക് ചെയ്യുന്നു.
ലാൻബാവോ സെൻസറിന്റെ PDE സീരീസ് ചൈനയുടെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള വ്യാവസായിക സെൻസർ വിപണിയിലെ നിർണായക സാങ്കേതിക വിടവുകൾ നികത്തുക മാത്രമല്ല, അതിന്റെ അസാധാരണ പ്രകടനത്തിലൂടെ പുതിയ ആഗോള മാനദണ്ഡങ്ങൾ സ്ഥാപിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. വിളവ് നിരക്കുകൾ വർദ്ധിപ്പിക്കുക, ഉൽപ്പാദനച്ചെലവ് കുറയ്ക്കുക, അല്ലെങ്കിൽ അടുത്ത തലമുറ പ്രക്രിയ വികസനം ത്വരിതപ്പെടുത്തുക എന്നിവയാണെങ്കിലും, കൃത്യമായ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വെല്ലുവിളികളെ കീഴടക്കുന്നതിനുള്ള നിങ്ങളുടെ ആത്യന്തിക ആയുധമായി PDE സീരീസ് നിലകൊള്ളുന്നു!
പോസ്റ്റ് സമയം: മെയ്-08-2025