Ko te whakangao Semiconductor tetahi o nga mara tino tika-tono me te hangarau hangarau i roto i te umanga hangarau teitei o enei ra. I te wa e anga whakamua ana nga tukanga maramara ki te 3nm me nga pona iti ake, ko te tika o nga inenga mo te matotoru angiangi, te papatahi o te mata, me nga inenga moroiti ka whakatau tika i te hua maramara me te mahi. I roto i tenei horopaki, ko nga puoro nekehanga laser, me o raatau mahi kore-whakapaa, he tino tika, he tere ake te whakautu, me te pai ake o te pumau, kua riro hei "kanohi ine" puta noa i te mahi hangahanga semiconductor.
I te mea ko te tïpako matua o te hanga taputapu semiconductor, me tino tika nga angiangi me te pono i te wa e whakaputa ana. I roto i te maha o nga waahanga nui o te hanga angiangi, he mea nui te inenga tika—ka pa tika ki te mahi me te hua o te maramara whakamutunga. I te mea he kaihautu hou i roto i te rängai whakamohiotanga ahumahi o Haina, kua puta ko te raupapa PDE raupapa laser displacement sensors a Lansensor, e whakaatu ana i te taumira taumata-micron, algorithms mohio, me te pono-ahumahi, kua puta hei otinga pai mo nga mahi hanga angiangi.
Nga Wero Tika i roto i te Hanga Wafer me nga Painga o nga Tohu Whakawhiti Taiaho
Ko te hanga angiangi he raupapa o nga tukanga uaua penei i te whakaahua whakaahua, te tarai, te whakatakoto kiriata angiangi, me te honohono—me tino tika ia i te micrometer, i te taumata nanometer ranei. Hei tauira:
-
I roto i te whakaahua whakaahua, he mea tino nui te tirohanga tika i waenga i te whakaahua me te angiangi kia tika ai te whakawhiti tauira ki runga i te mata angiangi.
-
I te wa o te tuku kiriata angiangi, he mea nui te whakahaere tika i te matotoru o te kiriata hei whakapumau i te mahi hiko o nga taputapu.
Ahakoa te iti noa o te rereke ka paheke te hua, ka kore ranei e taea te whakamahi i te katoa o nga wafers.
He maha nga wa ka taka nga tikanga inenga miihini o mua ki te whakatutuki i nga tono tino tika. I tua atu, ka tupono ka pakaru, ka whakapoke ranei i te mata angiangi marumaru, i te mea ko o raatau tere whakautu puhoi ka kore e tika mo nga whakaritenga metrology.
LanbaopūokoPDE Series Laser Displacement Sensors: Ko te otinga tino pai mo nga tono wafer
◆Inenga Taiaho-kore-whakapa
Ka whakamahi i te tohu kurupae taiaho ki runga i nga mata i whäia, te tātari i nga tohu whakaata/marara kia whiwhi raraunga whakanekehanga - ka whakakore i te pa atu tinana ki nga angiangi hei aukati i te kino o te miihini me te tupono o te poke.
◆Tika taumata Micron
Ko te hangarau taiaho matatau me te tukatuka tohu hātepe e whakarato ana i te tika me te whakatau ine ine inenga-micrometer, e tutuki ana i nga hiahia tino tika o nga mahi hanga angiangi.
◆Whakautu Tino-tere (<10ms)
Whakahohe i te wa-tuituru te aro turuki i nga rereketanga whakangao hihiko, ka taea te rapunga inenga me te whakatikatika kia pai ake ai te mahi whakangao.
◆Rawa Hototahitanga Rawa
He kaha ki te ine i nga rauemi kanorau me nga momo mata me te kaha urutau o te taiao, e tika ana mo nga waahanga tukanga semiconductor maha.
◆Hoahoa Ahumahi Kiato
Ko te ahua o te ahua kiato ka ngawari ki te whakauru ki roto i nga taputapu aunoa me nga punaha whakahaere, e taea ai te aro turuki i nga tukanga mohio me te whakatikatika kati.
Taupānga Tauari oPDE Series Laser Displacement Sensorsi roto i te Tukatuka Wafer
Pūoko LanbaoPDE Series Laser Displacement Sensors: Nga Tono Tino i roto i te Hanga Wafer
Ma te tino mahi, ka whai waahi nui a Lansensor PDE laser displacement sensor puta noa i nga mahi hanga angiangi maha:
◆Tirohanga Wafer me te tuunga
Mo te whakaahua whakaahua me nga tikanga honohono e hiahia ana kia tika te taumata-micron, ka inehia e a maatau pukoro te tuunga angiangi me nga koki honga hei whakarite kia tino tika te tirohanga kanohi-ki-wafer me te tuunga o te ringaringa - te whakarei ake i te tika o te whakawhiti tauira.
◆Wafer Thickness Metrology
Whakahohe i te inenga matotoru kore-whakapā me te aro turuki i te wa-tūturu i roto i nga tukanga tukunga, me te whakarite i te mana pai o te kounga kiriata angiangi.
◆Tirohanga Wafer Flatness
Te kite i te angiangi angiangi me te paheketanga o te mata me te taumira iti-micron hei aukati i nga angiangi koha kia kore e heke ki raro.
◆Aroturuki Matotoru Kiriata Angiangi
Te whakarato i te wa-tuituru te tirotiro i te matotoru o te tuunga i roto i nga tikanga CVD/PVD kia mau tonu nga whakaritenga mahi hiko.
◆Te Rapu Koha Mata
Te tautuhi i nga kohikohiko mata tauine-micron (nga karawarawa, nga matūriki) na roto i te mapi nuku-taumira teitei, ka tino whakapai ake i nga reiti kitenga hapa.
◆Taputapu Aroturuki Tikanga
Te whai i nga nekehanga o nga waahanga nui (nga ringa karetao, nga nekehanga atamira) me nga wiri miihini mo te tiaki matapae me te arotautanga pumau.
Ko te raupapa PDE a Lanbao sensor ehara i te mea he piriti noa i nga waahi hangarau tino nui i roto i te maakete pūoko ahumahi teitei o Haina engari ka whakatauhia nga tohu tohu o te ao hou me ana mahi tino pai. Ahakoa te whakanui ake i nga reeti hua, te whakaheke i nga utu whakaputa, te whakatere ranei i te whanaketanga o te whakatipuranga o muri mai, ko te raupapa PDE te tu hei patu tino pai mo te wikitoria i nga wero whakangao semiconductor tika!
Wā tuku: Mei-08-2025