ການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນໜຶ່ງໃນຂົງເຂດທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ມີຄວາມຊັບຊ້ອນທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຊີຫຼາຍທີ່ສຸດໃນອຸດສາຫະກຳເຕັກໂນໂລຊີສູງໃນປະຈຸບັນ. ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຂອງຊິບກ້າວໄປສູ່ຂະໜາດ 3nm ແລະ ແມ້ກະທັ້ງໂຫນດທີ່ນ້ອຍກວ່າ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວັດແທກສຳລັບຄວາມໜາຂອງເວເຟີ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງພື້ນຜິວ, ແລະ ຂະໜາດໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຈະກຳນົດຜົນຜະລິດ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຊິບໂດຍກົງ. ໃນສະພາບການນີ້, ເຊັນເຊີການຍ້າຍເລເຊີ, ດ້ວຍການເຮັດວຽກທີ່ບໍ່ສຳຜັດ, ຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ດີກວ່າ, ເວລາຕອບສະໜອງທີ່ໄວຂຶ້ນ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ໄດ້ກາຍເປັນ "ຕາວັດແທກ" ທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ຕະຫຼອດຂະບວນການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ.
ໃນຖານະທີ່ເປັນພື້ນຖານຫຼັກຂອງການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ເວເຟີຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງສຸດໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ. ໃນບັນດາຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງຂອງການຜະລິດເວເຟີ, ການວັດແທກການຍ້າຍທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນສິ່ງສຳຄັນທີ່ສຸດ - ມັນສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງຊິບສຸດທ້າຍ. ໃນຖານະຜູ້ນຳດ້ານນະວັດຕະກຳໃນຂະແໜງການຮັບຮູ້ອຸດສາຫະກຳຂອງຈີນ, ເຊັນເຊີການຍ້າຍເລເຊີຊຸດ PDE ຂອງ Lansensor, ເຊິ່ງມີຄວາມລະອຽດລະດັບໄມຄຣອນ, ອັລກໍຣິທຶມອັດສະລິຍະ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືລະດັບອຸດສາຫະກຳ, ໄດ້ກາຍເປັນທາງອອກທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຂະບວນການຜະລິດເວເຟີ.
ສິ່ງທ້າທາຍດ້ານຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ຂໍ້ດີຂອງເຊັນເຊີເລເຊີດິດສະເປຣດເມຊັນ
ການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການທີ່ສັບສົນຫຼາຍຢ່າງເຊັ່ນ: ການສ້າງດ້ວຍແສງ, ການແກະສະຫຼັກ, ການວາງຊັ້ນຟິມບາງ, ແລະ ການຍຶດຕິດ - ແຕ່ລະຂະບວນການຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ເຂັ້ມງວດໃນລະດັບໄມໂຄຣມິເຕີ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ລະດັບນາໂນມິເຕີ. ຕົວຢ່າງ:
-
ໃນການພິມດ້ວຍແສງ, ການຈັດລຽງທີ່ຊັດເຈນລະຫວ່າງໂຟໂຕມາສ ແລະ ເວເຟີແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍເພື່ອຮັບປະກັນການໂອນຮູບແບບທີ່ຖືກຕ້ອງໄປສູ່ໜ້າດິນເວເຟີ.
-
ໃນລະຫວ່າງການວາງຟິມບາງໆ, ການຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ແນ່ນອນແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າຂອງອຸປະກອນຕ່າງໆ.
ເຖິງແມ່ນວ່າການບ່ຽງເບນເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດນໍາໄປສູ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ເຮັດໃຫ້ເວເຟີທັງໝົດບໍ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້.
ວິທີການວັດແທກກົນຈັກແບບດັ້ງເດີມມັກຈະບໍ່ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງດັ່ງກ່າວ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ພວກມັນມີຄວາມສ່ຽງທີ່ຈະສ້າງຄວາມເສຍຫາຍ ຫຼື ປົນເປື້ອນພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ແຕກຫັກງ່າຍ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມໄວໃນການຕອບສະໜອງທີ່ຊ້າຂອງພວກມັນເຮັດໃຫ້ພວກມັນບໍ່ພຽງພໍສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການດ້ານການວັດແທກທີ່ທັນສະໄໝ.
ລານບາວເຊັນເຊີເຊັນເຊີເລເຊີດິສເພລດຊັນຊຸດ PDEວິທີແກ້ໄຂທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບການນຳໃຊ້ແຜ່ນເວເຟີ
◆ການວັດແທກດ້ວຍເລເຊີແບບບໍ່ສຳຜັດ
ນຳໃຊ້ການສະທ້ອນລັງສີເລເຊີໃສ່ໜ້າຜິວເປົ້າໝາຍ, ວິເຄາະສັນຍານທີ່ສະທ້ອນ/ກະແຈກກະຈາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຂໍ້ມູນການຍ້າຍ - ກຳຈັດການຕິດຕໍ່ທາງກາຍະພາບກັບແຜ່ນໂລຫະເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ.
◆ຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບໄມຄຣອນ
ເຕັກໂນໂລຊີເລເຊີທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ອັລກໍຣິທຶມການປະມວນຜົນສັນຍານໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວາມລະອຽດໃນການວັດແທກຂະໜາດໄມໂຄຣມິເຕີ, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳສູງສຸດຂອງຂະບວນການຜະລິດເວເຟີ.
◆ການຕອບສະໜອງໄວຫຼາຍ (<10ms)
ເຮັດໃຫ້ສາມາດຕິດຕາມກວດກາການປ່ຽນແປງການຜະລິດແບບໄດນາມິກໄດ້ແບບທັນທີ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກວດພົບ ແລະ ແກ້ໄຂຄວາມຜິດປົກກະຕິໄດ້ທັນທີເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ.
◆ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸທີ່ໂດດເດັ່ນ
ມີຄວາມສາມາດໃນການວັດແທກວັດສະດຸ ແລະ ປະເພດພື້ນຜິວທີ່ຫຼາກຫຼາຍ ພ້ອມກັບຄວາມສາມາດໃນການປັບຕົວເຂົ້າກັບສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ເໝາະສົມກັບຂັ້ນຕອນການປຸງແຕ່ງເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຂັ້ນຕອນ.
◆ການອອກແບບອຸດສາຫະກໍາຂະໜາດກະທັດຮັດ
ຮູບແບບກະທັດຮັດຊ່ວຍໃຫ້ການເຊື່ອມໂຍງເຂົ້າກັບອຸປະກອນອັດຕະໂນມັດ ແລະ ລະບົບຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການອັດສະລິຍະ ແລະ ການປັບຕົວແບບວົງຈອນປິດໄດ້.
ສະຖານະການນຳໃຊ້ຂອງເຊັນເຊີເລເຊີດິສເພລດຊັນຊຸດ PDEໃນການປຸງແຕ່ງ Wafer
ເຊັນເຊີ Lanbaoເຊັນເຊີເລເຊີດິສເພລດຊັນຊຸດ PDEການນຳໃຊ້ທີ່ສຳຄັນໃນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີ
ດ້ວຍປະສິດທິພາບທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຊັນເຊີເລເຊີ Lansensor PDE ມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດເວເຟີຫຼາຍຢ່າງ:
◆ການຈັດລຽນ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງຂອງແຜ່ນເວເຟີ
ສຳລັບຂະບວນການພິມດ້ວຍແສງ ແລະ ການເຊື່ອມໂລຫະທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳໃນລະດັບໄມຄຣອນ, ເຊັນເຊີຂອງພວກເຮົາວັດແທກຕຳແໜ່ງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ມຸມອຽງໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອຮັບປະກັນການຈັດລຽນແບບໜ້າກາກຫາແຜ່ນເວເຟີທີ່ສົມບູນແບບ ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງແຂນເຊື່ອມໂລຫະ - ຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມແມ່ນຍຳໃນການໂອນຍ້າຍຮູບແບບ.
◆ການວັດແທກຄວາມໜາຂອງແຜ່ນເວເຟີ
ເຮັດໃຫ້ການວັດແທກຄວາມໜາແບບບໍ່ສຳຜັດດ້ວຍການຕິດຕາມກວດກາແບບເວລາຈິງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການວາງຊັ້ນ, ຮັບປະກັນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງຟິມບາງທີ່ດີທີ່ສຸດ.
◆ການກວດກາຄວາມຮາບພຽງຂອງແຜ່ນເວເຟີ
ການກວດຈັບການບິດງໍຂອງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ການຜິດຮູບພື້ນຜິວດ້ວຍຄວາມລະອຽດຂອງ sub-micron ເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງເຄື່ອນທີ່ໄປທາງລຸ່ມ.
◆ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາຂອງຟິມບາງ
ສະໜອງການຕິດຕາມຄວາມໜາຂອງຊັ້ນວາງໃນເວລາຈິງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ CVD/PVD ເພື່ອຮັກສາຂໍ້ກຳນົດການປະຕິບັດທາງໄຟຟ້າທີ່ເຂັ້ມງວດ.
◆ການກວດຫາຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວ
ການກຳນົດຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງພື້ນຜິວຂະໜາດໄມຄຣອນ (ຮອຍຂີດຂ່ວນ, ອະນຸພາກ) ຜ່ານການສ້າງແຜນທີ່ການຍົກຍ້າຍທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງອັດຕາການກວດພົບຂໍ້ບົກພ່ອງໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
◆ການຕິດຕາມກວດກາສະພາບອຸປະກອນ
ການຕິດຕາມການຍ້າຍຂອງອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນ (ແຂນຫຸ່ນຍົນ, ການເຄື່ອນໄຫວຂອງເວທີ) ແລະ ການສັ່ນສະເທືອນຂອງເຄື່ອງຈັກ ສຳລັບການບຳລຸງຮັກສາແບບຄາດຄະເນ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມໝັ້ນຄົງ.
ຊຸດ PDE ຂອງເຊັນເຊີ Lanbao ບໍ່ພຽງແຕ່ເຊື່ອມຕໍ່ຊ່ອງຫວ່າງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສຳຄັນໃນຕະຫຼາດເຊັນເຊີອຸດສາຫະກຳລະດັບສູງຂອງຈີນເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງສ້າງມາດຕະຖານໃໝ່ທົ່ວໂລກດ້ວຍປະສິດທິພາບທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການເພີ່ມອັດຕາຜົນຜະລິດ, ການຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ, ຫຼືການເລັ່ງການພັດທະນາຂະບວນການລຸ້ນຕໍ່ໄປ, ຊຸດ PDE ເປັນອາວຸດສຸດທ້າຍຂອງທ່ານສຳລັບການເອົາຊະນະສິ່ງທ້າທາຍດ້ານການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ!
ເວລາໂພສ: ພຶດສະພາ-08-2025