Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү бүгүнкү күндөгү жогорку технологиялуу тармактагы эң тактыкты талап кылган жана технологиялык жактан татаал тармактардын бири болуп саналат. Чип процесстери 3 нм жана андан да кичирээк түйүндөргө карай өнүккөн сайын, пластинанын калыңдыгын, бетинин тегиздигин жана микроструктуранын өлчөмдөрүн өлчөөнүн тактыгы чиптин чыгышын жана иштешин түздөн-түз аныктайт. Бул контекстте, контактсыз иштөөсү, жогорку тактыгы, тез жооп берүү убактысы жана жогорулаган туруктуулугу менен лазердик жылышуу сенсорлору жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде алмаштыргыс "өлчөө көзүнө" айланды.
Жарым өткөргүч түзүлүштөрдү жасоонун негизги негизи катары, пластиналар өндүрүш учурунда өтө тактыкты жана ишенимдүүлүктү талап кылат. Пластинаны өндүрүүнүн көптөгөн маанилүү этаптарынын арасында так жылышууну өлчөө эң маанилүү — ал акыркы чиптин иштешине жана өндүрүмдүүлүгүнө түздөн-түз таасир этет. Кытайдын өнөр жайлык сенсордук секторундагы инновациялык лидер катары, Lansensor компаниясынын микрон деңгээлиндеги чечилиши, акылдуу алгоритмдери жана өнөр жайлык деңгээлдеги ишенимдүүлүгү менен айырмаланган PDE сериясындагы лазердик жылыш сенсорлору пластина өндүрүү процесстери үчүн артыкчылыктуу чечим катары пайда болду.
Пластинаны өндүрүүдөгү тактык көйгөйлөрү жана лазердик жылышуу сенсорлорунун артыкчылыктары
Пластинаны өндүрүү фотолитография, оюу, жука пленкага чөктүрүү жана байланыштыруу сыяктуу бир катар татаал процесстерди камтыйт — ар бири микрометр же ал тургай нанометр деңгээлинде катуу тактыкты талап кылат. Мисалы:
-
Фотолитографияда фотомаска менен пластинанын ортосундагы так тегиздөө пластинанын бетине үлгүнүн так өтүшүн камсыз кылуу үчүн абдан маанилүү.
-
Жука пленкаларды жайгаштыруу учурунда, түзүлүштөрдүн электрдик иштешин камсыз кылуу үчүн пленканын калыңдыгын так көзөмөлдөө маанилүү.
Кичинекей четтөө да продукциянын кемчиликтерине алып келиши же пластиналардын бүтүндөй партиясын колдонууга жараксыз кылып коюшу мүмкүн.
Салттуу механикалык өлчөө ыкмалары көп учурда мындай жогорку тактыктагы талаптарды канааттандырууда жетишсиз болуп калат. Андан тышкары, алар морт пластинанын бетин бузуп же булгап алуу коркунучун жаратат, ал эми алардын жай жооп берүү ылдамдыгы аларды заманбап метрология талаптарына жооп бербейт.
ЛанбаосенсорPDE сериясындагы лазердик жылышуу сенсорлоруВафли колдонуу үчүн оптималдуу чечим
◆Байланышсыз лазердик өлчөө
Механикалык бузулууларды жана булгануу коркунучун алдын алуу үчүн пластиналар менен физикалык байланышты жок кылуу менен, жылышуу маалыматтарын алуу үчүн чагылган/чачырап кеткен сигналдарды талдоо менен, бута беттерине лазер нурунун проекциясын колдонот.
◆Микрон деңгээлиндеги тактык
Өркүндөтүлгөн лазердик технология жана сигналдарды иштетүү алгоритмдери микрометр масштабындагы өлчөөнүн тактыгын жана чечилишин камсыз кылат, пластина жасоо процесстеринин өтө тактык талаптарын канааттандырат.
◆Өтө тез жооп (<10мс)
Өндүрүш натыйжалуулугун жогорулатуу үчүн динамикалык өндүрүш өзгөрүүлөрүн реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет, четтөөлөрдү дароо аныктоого жана оңдоого мүмкүндүк берет.
◆Мыкты материалдык шайкештик
Ар кандай материалдарды жана беттик түрлөрүн өлчөөгө жөндөмдүү, айлана-чөйрөгө күчтүү адаптацияланууга ээ, жарым өткөргүч процесстин бир нече этаптарына ылайыктуу.
◆Компакттуу өнөр жай дизайны
Компакттуу форма фактору автоматташтырылган жабдууларга жана башкаруу системаларына үзгүлтүксүз интеграциялоого өбөлгө түзөт, бул акылдуу процесстерди көзөмөлдөөгө жана жабык циклди жөнгө салууга мүмкүндүк берет.
Колдонмо сценарийлериPDE сериясындагы лазердик жылышуу сенсорлорупластина иштетүүдө
Ланбао сенсоруPDE сериясындагы лазердик жылышуу сенсорлоруВафли өндүрүшүндөгү маанилүү колдонмолор
Өзгөчө иштөөсү менен, Lansensor PDE лазердик жылышуу сенсорлору бир нече пластиналарды жасоо процесстеринде маанилүү ролду ойнойт:
◆Вафлилерди тегиздөө жана жайгаштыруу
Микрон деңгээлиндеги тактыкты талап кылган фотолитография жана байланыштыруу процесстери үчүн биздин сенсорлор пластинанын абалын жана эңкейүү бурчтарын так өлчөп, маскадан пластинага кемчиликсиз тегиздөөнү жана байланыштыруучу колдун жайгашуусун камсыздайт - бул үлгүнү өткөрүүнүн тактыгын жогорулатат.
◆Вафли калыңдыгынын метрологиясы
Чөкмө процесстеринде реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү менен контактсыз калыңдыкты өлчөөгө мүмкүндүк берет, бул жука пленканын сапатын оптималдуу көзөмөлдөөнү камсыз кылат.
◆Вафли жалпактыгын текшерүү
Дефекттүү пластиналардын агымдын ылдый жагына жылышынын алдын алуу үчүн субмикрондук чечилиш менен пластинанын кыйшайышын жана бетинин деформациясын аныктоо.
◆Жука пленканын калыңдыгын көзөмөлдөө
Электрдик мүнөздөмөлөрдүн так сакталышын камсыз кылуу үчүн CVD/PVD процесстеринде реалдуу убакыт режиминде катмардын калыңдыгын көзөмөлдөөнү камсыз кылуу.
◆Беттик кемчиликти аныктоо
Жогорку чечилиштеги жылышуу картасын түзүү аркылуу микрон масштабындагы беттик аномалияларды (тырыктарды, бөлүкчөлөрдү) аныктоо, кемчиликтерди аныктоо көрсөткүчтөрүн бир кыйла жакшыртат.
◆Жабдуулардын абалын көзөмөлдөө
Алдын ала техникалык тейлөө жана туруктуулукту оптималдаштыруу үчүн маанилүү компоненттердин жылышууларын (робот колдору, сахна кыймылдары) жана машинанын термелүүлөрүн көзөмөлдөө.
Lanbao сенсорунун PDE сериясы Кытайдын жогорку класстагы өнөр жай сенсорлору рыногундагы маанилүү технологиялык кемчиликтерди жоюп гана тим болбостон, өзүнүн өзгөчө иштеши менен жаңы глобалдык эталондорду орнотот. Өндүрүш темпин жогорулатуу, өндүрүш чыгымдарын азайтуу же кийинки муундагы процесстерди өнүктүрүүнү тездетүү болобу, PDE сериясы так жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү кыйынчылыктарды жеңүү үчүн эң сонун куралыңыз болуп саналат!
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 8-майы