Жарым өткөргүч өндүрүшү азыркы жогорку технологиялык өнөр жайынын эң так талап кылынган жана технологиялык жактан татаал тармактарынын бири болуп саналат. Чип процесстери 3 нм жана андан да кичине түйүндөрдү көздөй илгерилеген сайын, пластинкалардын калыңдыгын, бетинин тегиздигин жана микроструктуранын өлчөмдөрүн өлчөөлөрдүн тактыгы чиптин түшүмдүүлүгүн жана иштешин түздөн-түз аныктайт. Бул контекстте, лазердин жылышынын сенсорлору контактсыз иштөөсү, жогорку тактыгы, тезирээк жооп берүү убакыттары жана жакшыртылган туруктуулугу менен жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде алмаштырылгыс "өлчөө көздөрү" болуп калды.
Жарым өткөргүч түзүлүштөрдү жасоонун негизги субстраты катары пластиналар өндүрүш учурунда өтө тактыкты жана ишенимдүүлүктү талап кылат. Вафлиди өндүрүүнүн көптөгөн маанилүү этаптарынын арасында орун алмаштырууну так өлчөө эң маанилүү болуп саналат — ал акыркы чиптин иштешине жана түшүмдүүлүгүнө түздөн-түз таасир этет. Кытайдын өнөр жайлык сезгич секторунда инновациялык лидер катары, Lansensor компаниясынын PDE сериясындагы лазердик жылыш сенсорлору микрон деңгээлиндеги резолюцияны, акылдуу алгоритмдерди жана өнөр жай деңгээлиндеги ишенимдүүлүктү камтыган пластиналарды өндүрүү процесстери үчүн артыкчылыктуу чечим катары пайда болду.
Вафли өндүрүшүндөгү так кыйынчылыктар жана лазердик жылыш сенсорлорунун артыкчылыктары
Вафли өндүрүшү фотолитография, оюу, жука пленкага түшүрүү жана бириктирүү сыяктуу бир катар татаал процесстерди камтыйт — ар бири микрометр же ал тургай нанометр деңгээлинде катуу тактыкты талап кылат. Мисалы:
-
Фотолитографияда фотомаска менен пластинанын ортосундагы так тегиздөө үлгүнүн пластинка бетине так өтүшүн камсыз кылуу үчүн абдан маанилүү.
-
Жука пленканы түшүрүү учурунда пленканын калыңдыгын так көзөмөлдөө приборлордун электрдик иштешине кепилдик берүү үчүн абдан маанилүү.
Кичинекей четтөө да буюмдун кемчиликтерине алып келиши мүмкүн же вафлилердин бүт партиясын жараксыз кылып коюшу мүмкүн.
Салттуу механикалык өлчөө ыкмалары көп учурда мындай жогорку тактык талаптарын канааттандырууга жетишпейт. Мындан тышкары, алар назик пластинка бетине зыян келтирип же булгап калуу коркунучу бар, ал эми алардын жай жооп берүү ылдамдыгы аларды заманбап метрология талаптарына ылайыксыз кылат.
ЛанбаосенсорPDE сериясы Лазердик жылыш сенсорлор: Wafer колдонмолору үчүн оптималдуу чечим
◆Контактсыз лазердик өлчөө
Лазердик нурлардын максаттуу беттерге проекциясын колдонот, жылышуу маалыматтарын алуу үчүн чагылдырылган/чачылган сигналдарды талдайт - механикалык бузулууларды жана булгануу тобокелдиктерин алдын алуу үчүн пластиналар менен физикалык байланышты жок кылат.
◆Микрон деңгээлиндеги тактык
Өркүндөтүлгөн лазердик технология жана сигналды иштетүү алгоритмдери микрометрдик масштабдагы өлчөөнүн тактыгын жана резолюциясын камсыз кылып, пластиналарды жасоо процесстеринин өтө тактык талаптарына жооп берет.
◆Ультра тез жооп (<10 мс)
Өндүрүштүн эффективдүүлүгүн жогорулатуу үчүн четтөөлөрдү дароо аныктоого жана оңдоого мүмкүндүк берип, өндүрүштүн динамикалык вариацияларына реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү мүмкүнчүлүгүн берет.
◆Өзгөчө материалдык шайкештик
Жарым өткөргүч процессинин бир нече этаптары үчүн ылайыктуу, күчтүү экологиялык ийкемдүүлүк менен ар кандай материалдарды жана беттин түрлөрүн өлчөөгө жөндөмдүү.
◆Компакттык өнөр жай дизайны
Ыкчам форма фактору автоматташтырылган жабдууларга жана башкаруу тутумдарына үзгүлтүксүз интеграциялоону жеңилдетип, процессти интеллектуалдык көзөмөлдөөгө жана жабык циклди жөнгө салууга мүмкүндүк берет.
Колдонуу сценарийлериPDE сериясы Лазердик жылыш сенсорлорWafer иштетүүдө
Lanbao сенсорPDE сериясы Лазердик жылыш сенсорлор: Вафли өндүрүшүндөгү критикалык колдонмолор
Өзгөчө аткаруу менен, Lansensor PDE лазердик жылышуу сенсорлору пластиналарды жасоо процессинде маанилүү ролду ойнойт:
◆Вафли тегиздөө жана жайгаштыруу
Микрон деңгээлиндеги тактыкты талап кылган фотолитография жана байланыш процесстери үчүн биздин сенсорлор пластинанын абалын жана эңкейүү бурчтарын так өлчөп, масканы пластинкага кемчиликсиз тегиздөө жана туташуучу колдун жайгашуусун камсыздайт - үлгү өткөрүп берүүнүн тактыгын жогорулатуу.
◆Вафли калыңдыгынын метрологиясы
Туташтыруу процессинде реалдуу убакыт мониторинги менен байланышсыз калыңдыкты өлчөөнү иштетүү, жука пленканын сапатын оптималдуу көзөмөлдөөнү камсыз кылуу.
◆Вафли тегиздигин текшерүү
Кемтик пластинкалардын ылдый карай жылышына жол бербөө үчүн субмикрондук резолюция менен пластинкалардын бузулушун жана бетинин деформациясын аныктоо.
◆Жука пленканын калыңдыгын көзөмөлдөө
Катуу электрдик аткаруунун спецификацияларын сактоо үчүн CVD/PVD процесстеринде реалдуу убакыт режиминде коюунун калыңдыгын көзөмөлдөөнү камсыз кылуу.
◆Беттик кемчиликтерди аныктоо
Микрон масштабдуу беттик аномалияларды (чыйыктар, бөлүкчөлөр) жогорку чечилиштеги жылышуу картасы аркылуу аныктоо, кемчиликтерди аныктоо ылдамдыгын олуттуу жакшыртуу.
◆Жабдуулардын абалына мониторинг жүргүзүү
Болжолдуу тейлөө жана туруктуулукту оптималдаштыруу үчүн маанилүү компоненттердин жылыштарына (роботтун колдору, сахна кыймылдары) жана машинанын титирөөсүнө көз салуу.
Lanbao сенсорунун PDE сериясы Кытайдын жогорку индустриалдык сенсор рыногундагы маанилүү технологиялык боштуктарды гана эмес, өзүнүн өзгөчө көрсөткүчтөрү менен жаңы глобалдык эталондорду белгилейт. Кирешелүүлүгүн жогорулатуу, өндүрүштүк чыгымдарды азайтуу же кийинки ген процесстерин өнүктүрүүнү тездетүү болобу, PDE сериясы так жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү кыйынчылыктарды жеңүү үчүн эң сонун курал болуп саналат!
Билдирүү убактысы: 08-май 2025-ж