ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកគឺជាវិស័យមួយដែលទាមទារភាពជាក់លាក់ និងស្មុគស្មាញបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្មបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នាពេលបច្ចុប្បន្ន។ នៅពេលដែលដំណើរការបន្ទះឈីបរីកចម្រើនឆ្ពោះទៅរក 3nm និងសូម្បីតែណូតតូចៗ ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងសម្រាប់កម្រាស់បន្ទះសៀគ្វី ភាពរាបស្មើនៃផ្ទៃ និងវិមាត្រមីក្រូស្ត្រុកទ័រកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវទិន្នផល និងដំណើរការបន្ទះឈីប។ នៅក្នុងបរិបទនេះ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅដោយឡាស៊ែរ ជាមួយនឹងប្រតិបត្តិការមិនប៉ះ ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ពេលវេលាឆ្លើយតបលឿនជាងមុន និងស្ថេរភាពប្រសើរឡើង បានក្លាយជា "ភ្នែកវាស់វែង" ដែលមិនអាចខ្វះបានពេញមួយដំណើរការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
ក្នុងនាមជាស្រទាប់ស្នូលនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលសៀគ្វី បន្ទះសៀគ្វីបន្ទះសៀគ្វីត្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងភាពជឿជាក់ខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលផលិត។ ក្នុងចំណោមដំណាក់កាលសំខាន់ៗជាច្រើននៃការផលិតបន្ទះសៀគ្វីបន្ទះសៀគ្វី ការវាស់វែងការផ្លាស់ទីលំនៅដ៏ត្រឹមត្រូវគឺមានសារៈសំខាន់បំផុត - វាប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើដំណើរការ និងទិន្នផលរបស់បន្ទះឈីបចុងក្រោយ។ ក្នុងនាមជាក្រុមហ៊ុនឈានមុខគេក្នុងវិស័យឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្សាហកម្មរបស់ប្រទេសចិន ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅឡាស៊ែរស៊េរី PDE របស់ Lansensor ដែលមានគុណភាពបង្ហាញកម្រិតមីក្រូន ក្បួនដោះស្រាយឆ្លាតវៃ និងភាពជឿជាក់កម្រិតឧស្សាហកម្ម បានលេចចេញជាដំណោះស្រាយដែលពេញចិត្តសម្រាប់ដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វីបន្ទះសៀគ្វីបន្ទះសៀគ្វី។
បញ្ហាប្រឈមនៃភាពជាក់លាក់ក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វី និងគុណសម្បត្តិនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅឡាស៊ែរ
ការផលិតបន្ទះស្តើងពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការស្មុគស្មាញមួយចំនួនដូចជា ការព្យាបាលដោយពន្លឺ ការឆ្លាក់ ការដាក់ស្រទាប់ស្តើង និងការភ្ជាប់ ដែលដំណើរការនីមួយៗតម្រូវឱ្យមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៅកម្រិតមីក្រូម៉ែត្រ ឬសូម្បីតែកម្រិតណាណូម៉ែត្រ។ ឧទាហរណ៍៖
-
នៅក្នុងការផលិតពន្លឺដោយពន្លឺ ការតម្រឹមឲ្យបានច្បាស់លាស់រវាងហ្វូតូម៉ាស និងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ គឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ដើម្បីធានាបាននូវការផ្ទេរលំនាំដ៏ត្រឹមត្រូវទៅលើផ្ទៃបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ។
-
ក្នុងអំឡុងពេលដាក់ស្រទាប់ស្តើង ការគ្រប់គ្រងកម្រាស់ស្រទាប់ឱ្យច្បាស់លាស់គឺមានសារៈសំខាន់ដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការអគ្គិសនីរបស់ឧបករណ៍។
សូម្បីតែការប្រែប្រួលបន្តិចបន្តួចក៏អាចនាំឱ្យផលិតផលមានបញ្ហា ឬធ្វើឱ្យបន្ទះសៀគ្វីមួយបាច់មិនអាចប្រើបានដែរ។
វិធីសាស្ត្រវាស់វែងមេកានិចបែបប្រពៃណីច្រើនតែមិនបំពេញតាមតម្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់បែបនេះទេ។ លើសពីនេះ ពួកវាប្រឈមនឹងការខូចខាត ឬបំពុលផ្ទៃបន្ទះស្តើងដែលផុយស្រួយ ខណៈដែលល្បឿនឆ្លើយតបយឺតរបស់វាធ្វើឱ្យវាមិនគ្រប់គ្រាន់សម្រាប់តម្រូវការវាស់វែងទំនើបៗ។
ឡានបាវឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅឡាស៊ែរស៊េរី PDEដំណោះស្រាយល្អបំផុតសម្រាប់កម្មវិធីបន្ទះសៀគ្វី
◆ការវាស់វែងឡាស៊ែរមិនប៉ះ
ប្រើប្រាស់ការបញ្ចាំងកាំរស្មីឡាស៊ែរទៅលើផ្ទៃគោលដៅ ដោយវិភាគសញ្ញាឆ្លុះបញ្ចាំង/រាយប៉ាយ ដើម្បីទទួលបានទិន្នន័យផ្លាស់ទីលំនៅ - លុបបំបាត់ការប៉ះពាល់រាងកាយជាមួយបន្ទះសៀគ្វី ដើម្បីការពារការខូចខាតមេកានិច និងហានិភ័យនៃការបំពុល។
◆ភាពជាក់លាក់កម្រិតមីក្រូន
បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរកម្រិតខ្ពស់ និងក្បួនដោះស្រាយដំណើរការសញ្ញាផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវ និងគុណភាពបង្ហាញនៃការវាស់វែងក្នុងមាត្រដ្ឋានមីក្រូម៉ែត្រ ដែលបំពេញតាមតម្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្លាំងនៃដំណើរការផលិតបន្ទះ wafer។
◆ការឆ្លើយតបលឿនបំផុត (<10ms)
អនុញ្ញាតឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងនៃការប្រែប្រួលផលិតកម្មថាមវន្ត ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការរកឃើញ និងកែតម្រូវគម្លាតភ្លាមៗ ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម។
◆ភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈដ៏ល្អឥតខ្ចោះ
មានសមត្ថភាពវាស់ស្ទង់សម្ភារៈ និងប្រភេទផ្ទៃចម្រុះ ជាមួយនឹងភាពបត់បែនបរិស្ថានខ្លាំង សមរម្យសម្រាប់ដំណាក់កាលដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកច្រើន។
◆ការរចនាឧស្សាហកម្មតូច
ទម្រង់តូចច្រឡឹងនេះជួយសម្រួលដល់ការធ្វើសមាហរណកម្មយ៉ាងរលូនទៅក្នុងឧបករណ៍ស្វ័យប្រវត្តិ និងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ ដែលអាចឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យដំណើរការឆ្លាតវៃ និងការកែតម្រូវរង្វិលជុំបិទជិត។
សេណារីយ៉ូនៃការអនុវត្តឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅឡាស៊ែរស៊េរី PDEក្នុងដំណើរការ Wafer
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឡានបាវឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្លាស់ទីលំនៅឡាស៊ែរស៊េរី PDE: កម្មវិធីសំខាន់ៗក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វី
ជាមួយនឹងដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឡាស៊ែរ Lansensor PDE ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់នៅទូទាំងដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វីជាច្រើន៖
◆ការតម្រឹម និងការកំណត់ទីតាំងបន្ទះសៀគ្វី
សម្រាប់ដំណើរការថតចម្លងរូបភាព និងដំណើរការភ្ជាប់ដែលត្រូវការភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតមីក្រូ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារបស់យើងវាស់ទីតាំងបន្ទះ wafer និងមុំផ្អៀងយ៉ាងច្បាស់លាស់ ដើម្បីធានាបាននូវការតម្រឹមរបាំងមុខទៅបន្ទះ wafer ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងទីតាំងដៃភ្ជាប់ ដែលបង្កើនភាពជាក់លាក់នៃការផ្ទេរលំនាំ។
◆រង្វាស់កម្រាស់បន្ទះ
ការអនុញ្ញាតឱ្យមានការវាស់កម្រាស់មិនប៉ះជាមួយនឹងការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការដាក់ស្រទាប់ប្លាស្ទិក ដែលធានាបាននូវការគ្រប់គ្រងគុណភាពខ្សែភាពយន្តស្តើងល្អបំផុត។
◆ការត្រួតពិនិត្យភាពរាបស្មើនៃបន្ទះឈើ
ការរកឃើញការកោងនៃបន្ទះ wafer និងការខូចទ្រង់ទ្រាយផ្ទៃជាមួយនឹងគុណភាពបង្ហាញអនុមីក្រូន ដើម្បីការពារបន្ទះ wafer ដែលមានបញ្ហាពីការវិវត្តទៅមុខទៀត។
◆ការត្រួតពិនិត្យកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តស្តើង
ការផ្តល់ការតាមដានកម្រាស់ស្រទាប់លោហៈតាមពេលវេលាជាក់ស្តែងក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ CVD/PVD ដើម្បីរក្សាបាននូវលក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃការអនុវត្តអគ្គិសនីយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។
◆ការរកឃើញកំហុសផ្ទៃ
កំណត់អត្តសញ្ញាណភាពមិនប្រក្រតីនៃផ្ទៃខ្នាតមីក្រូន (ស្នាមឆ្កូត ភាគល្អិត) តាមរយៈការគូសផែនទីផ្លាស់ទីលំនៅដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវអត្រារកឃើញពិការភាព។
◆ការត្រួតពិនិត្យស្ថានភាពឧបករណ៍
តាមដានការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់សមាសធាតុសំខាន់ៗ (ដៃរ៉ូបូត ចលនាឆាក) និងរំញ័រម៉ាស៊ីនសម្រាប់ការថែទាំព្យាករណ៍ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពស្ថេរភាព។
ស៊េរី PDE របស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា Lanbao មិនត្រឹមតែភ្ជាប់គម្លាតបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់ៗនៅក្នុងទីផ្សារឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្សាហកម្មលំដាប់ខ្ពស់របស់ប្រទេសចិនប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងបង្កើតស្តង់ដារសកលថ្មីជាមួយនឹងដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វា។ មិនថាជំរុញអត្រាទិន្នផល កាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម ឬការបង្កើនល្បឿនការអភិវឌ្ឍដំណើរការជំនាន់ក្រោយទេ ស៊េរី PDE ឈរជាអាវុធចុងក្រោយរបស់អ្នកសម្រាប់យកឈ្នះលើបញ្ហាប្រឈមនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានភាពជាក់លាក់!
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ឧសភា-០៨-២០២៥