Ing sektor manufaktur semikonduktor, tumpukan chip sing ora normal minangka masalah produksi sing serius. Tumpukan chip sing ora dikarepke sajrone proses manufaktur bisa nyebabake kerusakan peralatan lan kegagalan proses, lan uga bisa nyebabake pembuangan produk kanthi massal, sing nyebabake kerugian ekonomi sing signifikan kanggo perusahaan.
Kanthi panyempurnaan proses manufaktur semikonduktor sing terus-terusan, tuntutan sing luwih dhuwur ditindakake kanggo kontrol kualitas sajrone produksi. Sensor perpindahan laser, minangka teknologi pangukuran presisi tinggi non-kontak, nyedhiyakake solusi sing efektif kanggo ndeteksi kelainan susunan chip kanthi kemampuan deteksi sing cepet lan akurat.
Prinsip Deteksi lan Logika Pertimbangan Anomali
Ing proses manufaktur semikonduktor, chip biasane diselehake ing trek pembawa utawa transportasi kanthi susunan rata lapisan tunggal. Ing wektu iki, dhuwure permukaan chip minangka nilai garis dasar sing wis ditemtokake, umume jumlah kekandelan chip lan dhuwure pembawa. Nalika chip ora sengaja ditumpuk, dhuwure permukaane bakal tambah akeh. Owah-owahan iki nyedhiyakake basis penting kanggo ndeteksi kelainan susunan.
Deteksi Penumpukan Trek Transportasi
Jalur transportasi minangka saluran penting kanggo gerakan chip sajrone proses manufaktur. Nanging, chip bisa nglumpuk ing trek amarga adsorpsi elektrostatik utawa kegagalan mekanik sajrone transportasi, sing nyebabake penyumbatan trek. Penyumbatan kasebut ora mung bisa ngganggu aliran produksi nanging uga ngrusak chip.
Kanggo ngawasi aliran jalur transportasi sing ora ana alangan, sensor pamindhahan laser bisa dipasang ing ndhuwur jalur kanggo mindhai dhuwur penampang jalur. Yen dhuwure area lokal ora normal (contone, luwih dhuwur utawa luwih endhek tinimbang kekandelan lapisan siji chip), sensor bakal nemtokake minangka penyumbatan tumpukan lan micu mekanisme alarm kanggo menehi kabar marang operator babagan penanganan sing tepat wektu, njamin aliran produksi sing lancar.
Proses Deteksi
Sensor perpindahan laser Lanbao ngukur dhuwure permukaan target kanthi akurat kanthi ngetokake sinar laser, nampa sinyal sing dipantulake, lan nggunakake metode triangulasi.
Sensor kasebut sejajar kanthi vertikal karo area deteksi chip, terus-terusan ngetokake laser lan nampa sinyal sing dipantulake. Sajrone transportasi chip, sensor bisa entuk informasi dhuwure permukaan wektu nyata.
Sensor iki migunakaké algoritma internal kanggo ngitung nilai dhuwur permukaan chip saka sinyal sing dipantulaké. Kanggo nyukupi panjaluk transfer kecepatan dhuwur saka jalur produksi semikonduktor, iki mbutuhake sensor sing nduwèni presisi dhuwur lan frekuensi sampling sing dhuwur.
Rentang variasi dhuwur sing diidinake disetel, biasane ±30 µm saka dhuwur garis dasar. Yen nilai sing diukur ngluwihi rentang ambang iki, ditemtokake minangka kelainan susun. Logika panentu ambang iki bisa kanthi efektif mbedakake antarane chip lapisan tunggal normal lan chip sing ditumpuk.
Sawise ndeteksi kelainan susunan, sensor bakal micu alarm sing bisa dirungokake lan visual, lan bebarengan ngaktifake lengen robot kanggo mbusak lokasi sing ora normal, utawa ngendhegake jalur produksi kanggo nyegah kahanan saya parah. Mekanisme respon cepet iki nyuda kerugian sing disebabake dening kelainan susunan kanthi maksimal.
Deteksi abnormalitas susunan chip kanthi presisi dhuwur lan wektu nyata nggunakake sensor pamindhahan laser bisa ningkatake keandalan lan asil jalur produksi semikonduktor kanthi signifikan. Kanthi kemajuan teknologi sing terus-terusan, sensor pamindhahan laser bakal nduweni peran sing luwih gedhe ing manufaktur semikonduktor, nyedhiyakake dhukungan sing kuwat kanggo pembangunan industri sing lestari.
Wektu kiriman: 25 Maret 2025