Ing sektor manufaktur semikonduktor, tumpukan chip sing ora normal minangka masalah produksi sing abot. Numpuk kripik sing ora dikarepke sajrone proses manufaktur bisa nyebabake karusakan peralatan lan kegagalan proses, lan bisa uga nyebabake kekrekan massa produk, nyebabake kerugian ekonomi sing signifikan kanggo perusahaan.
Kanthi proses manufaktur semikonduktor terus-terusan, panjaluk sing luwih dhuwur ditindakake ing kontrol kualitas sajrone produksi. Sensor pamindahan laser, minangka non-kontak, teknologi pangukuran tliti dhuwur, nyedhiyakake solusi efektif kanggo ndeteksi kelainan tumpukan chip kanthi kemampuan deteksi kanthi cepet lan akurat.
Prinsip Deteksi lan Logika Paukuman Anomali
Ing proses manufaktur semikonduktor, chip biasane diselehake ing operator utawa trek transportasi ing siji-layer, noto flat. Ing wektu iki, dhuwur saka lumahing chip punika Nilai dhasar prasetel, umume jumlah saka kekandelan chip lan dhuwur operator. Nalika Kripik ora sengaja dibandhingke, dhuwur lumahing bakal Ngartekno nambah. Owah-owahan iki nyedhiyakake dhasar sing penting kanggo ndeteksi kelainan tumpukan.
Transport Track Numpuk Deteksi
Trek transportasi minangka saluran kritis kanggo gerakan chip sajrone proses manufaktur. Nanging, Kripik bisa nglumpukake ing trek amarga adsorpsi elektrostatik utawa gagal mechanical sak transportasi, anjog kanggo blockages trek. Pamblokiran kasebut ora mung bisa ngganggu aliran produksi nanging uga ngrusak chip.
Kanggo ngawasi aliran unobstructed saka trek transportasi, sensor pamindahan laser bisa disebarake ndhuwur trek kanggo mindhai dhuwur saka trek salib-bagean. Yen dhuwur saka wilayah localized ora normal (contone, luwih dhuwur utawa luwih murah tinimbang kekandelan lapisan siji saka Kripik), sensor bakal nemtokake minangka blockage numpuk lan micu mekanisme weker kanggo ngabari operator kanggo nangani pas wektune, mesthekake aliran produksi Gamelan.
Proses Deteksi
Sensor pamindahan laser Lanbao kanthi akurat ngukur dhuwur permukaan target kanthi ngetokake sinar laser, nampa sinyal sing dibayangke, lan nggunakake metode triangulasi.
Sensor kasebut vertikal didadekake siji karo area deteksi chip, terus-terusan ngetokake laser lan nampa sinyal sing dibayangke. Sajrone transportasi chip, sensor bisa entuk informasi dhuwur permukaan wektu nyata.
Sensor nggunakake algoritma internal kanggo ngitung nilai dhuwur permukaan chip saka sinyal sing dibayangke. Kanggo nyukupi panjaluk transfer kacepetan dhuwur saka jalur produksi semikonduktor, iki mbutuhake sensor kasebut duwe presisi dhuwur lan frekuensi sampling sing dhuwur.
Rentang variasi dhuwur sing diidini disetel, biasane ± 30 µm saka dhuwur garis dasar. Yen nilai sing diukur ngluwihi kisaran ambang iki, ditemtokake minangka kelainan tumpukan. Logika penentuan ambang iki bisa kanthi efektif mbedakake antarane chip siji-lapisan normal lan chip sing ditumpuk.
Sawise deteksi kelainan numpuk, sensor micu weker swara lan visual, lan bebarengan ngaktifake lengen robot kanggo mbusak lokasi ora normal, utawa ngaso baris produksi kanggo nyegah rusak luwih saka kahanan. Mekanisme respon kanthi cepet iki nyuda kerugian sing disebabake dening tumpukan abnormalitas nganti paling gedhe.
Nyata-wektu, tliti dhuwur deteksi kelainan tumpukan chip nggunakake sensor pamindahan laser bisa Ngartekno nambah linuwih lan ngasilaken saka jalur produksi semikonduktor. Kanthi kemajuan teknologi sing terus-terusan, sensor pamindahan laser bakal duwe peran sing luwih gedhe ing manufaktur semikonduktor, nyedhiyakake dhukungan sing kuat kanggo pangembangan industri sing lestari.
Posting wektu: Mar-25-2025