Sektor Pabrik Semikonduktor, tumpukan chip sing ora normal minangka masalah produksi sing abot. Tumpukan chip sing ora dikarepke sajrone proses manufaktur bisa nyebabake peralatan peralatan lan proses proses, lan bisa uga nyebabake scraping produk, nyebabake kerugian ekonomi sing signifikan kanggo perusahaan.
Kanthi nyalekake proses manufaktur semikonduktor, panjaluk sing luwih dhuwur diselehake ing kontrol kualitas sajrone produksi. Sensor pamindahan laser, minangka teknologi sing ora kontak, sing ora kontak, nyedhiyakake solusi sing efektif kanggo ndeteksi kelainan chip tumpukan sing ora normal kanthi kapabilitas deteksi deteksi kanthi cepet lan akurat.
Prinsip deteksi lan logika paukuman Anomaly
Ing proses pabrik semikonduktor, Kripik biasane diselehake ing operator utawa trek transportasi kanthi lapisan siji-lapisan. Ing wektu iki, dhuwur saka permukaan chip minangka nilai garis dasar prasetel, umume jumlah kekandelan chip lan dhuwur operator. Nalika Kripik ora sengaja ditumpuk, dhuwur permukaan saya tambah signifikan. Owah-owahan iki nyedhiyakake dhasar penting kanggo ndeteksi kelainan tumpukan.
Deteksi Deteksi Tracking Trek
Trek transportasi minangka saluran kritis kanggo gerakan chip sajrone proses manufaktur. Nanging, Kripik bisa nglumpukake ing trek amarga menyang adsorption elektrostatik utawa gagal mekanik sajrone transportasi, sing ndadékaké blokir. Blankages kasebut ora mung bisa ngganggu aliran produksi nanging uga ngrusak Kripik.
Kanggo ngawasi aliran trek transportasi, sensor pamindahan laser bisa ditrapake ing ndhuwur trek kanggo mindhai dhuwur saka trek cross-section. Yen dhuwur saka wilayah lokal ora normal (umpamane, luwih dhuwur utawa luwih murah tinimbang ketebalan lapisan chip), sensor bakal nemtokake manawa pengiriman nandur modal kanggo notifikasi wektu, njamin aliran produksi sing tepat.
Proses deteksi
Sensor pamindahan lasbas kanthi tepat ngukur dhuwur saka permukaan target kanthi ngetokake balok laser, nampa sinyal sing dibayangke, lan nggunakake cara triangulasi.
Sensor kasebut kanthi vertikal kanthi vertikal karo area deteksi chip, terus-terusan ngetokake laser lan nampa sinyal sing dibayangke. Sajrone transportasi chip, sensor bisa ndarbeni informasi dhuwur lumahing wektu.
Sensor kasebut nggunakake algoritma internal kanggo ngitung nilai dhuwur chip saka sinyal sing didegake. Kanggo ketemu karo panjaluk transfer speed kanthi dhuwur saka garis produksi Semikonduktor, iki kudu manawa sensor kasebut nduweni tliti sing dhuwur lan frekuensi sampling sing dhuwur.
Variasi variasi dhuwur sing diidini, biasane ± 30 μm saka dasar dhasar. Yen nilai sing diukur ngluwihi kisaran ambang iki, mula ditemtokake dadi kelainan tumpukan. Logika tekad ambang iki bisa beda beda antarane Kripik Lapisan-Lapisan normal lan Kripik.
Nalika ndeteksi kelainan khutoris tumpukan, sensor nyebabake weker sing bisa dirungokake, lan bebarengan ngaktifake lengen robotic kanggo mbusak lokasi sing ora normal, utawa ngaso garis produksi kanggo nyegah luwih cepet saka kahanan. Mekanisme respon kanthi cepet iki minimalake kerugian sing disebabake dening kelainan tumpukan sing paling gedhe.
Deteksi nyata-wektu, deteksi chip kelainan kelainan chip kanthi nggunakake sensor pamindahan laser bisa nambah linuwih lan ngasilake garis produksi semikonduktor. Kanthi kemajuan teknologi sing terus-terusan, sensor pamindahan laser bakal dadi peran sing luwih gedhe ing pabrik semikonduktor, nyedhiyakake dhukungan kanggo pangembangan sustainable industri.
Wektu Pos: Mar-25-2025