Í hálfleiðara framleiðslugeiranum er óeðlileg flísastöflun alvarlegt framleiðsluvandamál. Óvænt stafla af flísum meðan á framleiðsluferlinu stendur getur leitt til tjóns á búnaði og bilun í vinnslu og getur einnig leitt til fjöldaskoru afurða, sem hefur valdið verulegu efnahagslegu tapi fyrir fyrirtæki.
Með stöðugri betrumbætur á framleiðsluferlum hálfleiðara eru hærri kröfur settar á gæðaeftirlit meðan á framleiðslu stendur. Laser tilfærsluskynjarar, sem ekki snertingu, með mikilli nákvæmni mælingartækni, veita árangursríka lausn til að greina flís stafla afbrigði með skjótum og nákvæmum uppgötvunargetu þeirra.
Greiningarregla og fráviksdóms rökfræði
Í framleiðsluferli hálfleiðara eru flísar venjulega settir á flutningsmenn eða flutningsspor í eins lag, flatt fyrirkomulag. Á þessum tíma er hæð flís yfirborðsins forstillt grunngildi, venjulega summan af flísþykkt og burðarhæð. Þegar franskar eru stafaðir óvart mun yfirborðshæð þeirra aukast verulega. Þessi breyting er áríðandi grundvöllur til að greina frávik á stafla.
Flutningsspor stafla uppgötvun
Flutningspor eru mikilvægar rásir fyrir flíshreyfingu meðan á framleiðsluferlinu stendur. Samt sem áður geta flísar safnast upp á brautina vegna rafstöðueiginleika aðsogs eða vélrænna bilana meðan á flutningi stendur, sem leiðir til brautarblokka. Slíkar hindranir geta ekki aðeins truflað framleiðsluflæði heldur einnig skemmt franskar.
Til að fylgjast með óhindruðu flæði flutningsspora er hægt að beita leysir tilfærsluskynjara fyrir ofan brautina til að skanna hæð brautarþversniðsins. Ef hæð staðbundins svæðis er óeðlileg (td hærri eða lægri en þykkt eins lags af flísum), munu skynjararnir ákvarða það sem stafla stíflu og kalla fram viðvörunarbúnað til að tilkynna rekstraraðilum um tímanlega meðhöndlun, tryggja slétt framleiðsluflæði.
Greiningarferli
Lanbao leysir tilfærsluskynjarar mæla nákvæmlega hæð markflata með því að gefa frá sér leysigeisla, fá endurspeglað merki og nota þríhyrningsaðferðina.
Skynjarinn er lóðrétt í takt við flísagreiningarsvæðið, gefur stöðugt frá sér leysir og fær endurspeglað merki. Meðan á flísaflutningum stendur getur skynjarinn eignast upplýsingar um í rauntíma yfirborðshæð.
Skynjarinn notar innri reiknirit til að reikna flís yfirborðshæðargildið frá yfirteknu endurspegluðu merki. Til að uppfylla háhraða flutningskröfur um hálfleiðara framleiðslulínur, þá þarf þetta að skynjarinn hafi bæði mikla nákvæmni og mikla sýnatöku.
Leyfilegt hæðarbreytileika er stillt, venjulega ± 30 µm frá grunnhæð. Ef mæld gildi fer yfir þetta þröskuldasvið er það ákvarðað að vera staflað óeðlilegt. Þessi rökfræði við þröskuld getur á áhrifaríkan hátt greint á milli venjulegra eins lagflísar og staflaðra franskar.
Við greiningu á stafla afbrigðileika kallar skynjarinn fram heyranlegur og sjónræn viðvörun og virkjar samtímis vélfærafræði til að fjarlægja óeðlilega staðsetningu, eða gerir hlé á framleiðslulínunni til að koma í veg fyrir frekari rýrnun ástandsins. Þessi skjótur viðbragðskerfi lágmarkar tap sem stafar af því að stafla frávikum að mestu leyti.
Rauntíma, mikil nákvæmni greining á flísastöflunarafbrigði með því að nota leysir tilfærsluskynjara geta bætt verulega áreiðanleika og afrakstur af hálfleiðara framleiðslulínum. Með stöðugum tækniframförum munu leysir tilfærsluskynjarar gegna enn meira hlutverki í framleiðslu hálfleiðara og veita sterkan stuðning við sjálfbæra þróun iðnaðarins.
Post Time: Mar-25-2025