Í framleiðslu á hálfleiðurum er óeðlileg uppstöflun örgjörva alvarlegt framleiðsluvandamál. Óvænt uppstöflun örgjörva í framleiðsluferlinu getur leitt til skemmda á búnaði og bilana í ferlinu og getur einnig leitt til fjöldaúrvinnslu vara, sem veldur fyrirtækjum verulegu fjárhagslegu tjóni.
Með sífelldri þróun framleiðsluferla hálfleiðara eru gerðar meiri kröfur um gæðaeftirlit við framleiðslu. Leysigeislar, sem snertilaus, nákvæm mælitækni, bjóða upp á áhrifaríka lausn til að greina frávik í flísastöflun með hraðri og nákvæmri greiningargetu.
Greiningarregla og rökfræði um fráviksmat
Í framleiðsluferli hálfleiðara eru örgjörvar venjulega settir á flutningsleiðara eða flutningsbrautir í einni, flatri uppröðun. Á þessum tímapunkti er hæð yfirborðs örgjörvans fyrirfram ákveðið grunngildi, almennt summa þykktar örgjörvans og hæðar flutningsleiðarans. Þegar örgjörvar eru staflaðir óvart eykst yfirborðshæð þeirra verulega. Þessi breyting veitir mikilvægan grunn til að greina frávik í staflanum.
Greining á flutningsbrautarstöflun
Flutningsbrautir eru mikilvægar leiðir fyrir hreyfingu flísanna í framleiðsluferlinu. Hins vegar geta flísar safnast fyrir á brautunum vegna rafstöðueiginleika eða vélrænna bilana við flutning, sem leiðir til stíflu í brautunum. Slíkar stíflur geta ekki aðeins truflað framleiðsluflæði heldur einnig skemmt flísarnar.
Til að fylgjast með óhindruðu flæði flutningsbrauta er hægt að setja upp leysigeislaskynjara fyrir ofan brautirnar til að skanna hæð þversniðs brautarinnar. Ef hæð á staðbundnu svæði er óeðlileg (t.d. hærri eða lægri en þykkt eins lags af flísum), munu skynjararnir greina það sem stíflu í stöflun og virkja viðvörunarkerfi til að láta rekstraraðila vita um tímanlega meðhöndlun og tryggja greiða framleiðsluflæði.
Greiningarferli
Leysigeislaskynjarar frá Lanbao mæla nákvæmlega hæð markflata með því að senda frá sér leysigeisla, taka á móti endurkastað merki og nota þríhyrningsaðferðina.
Skynjarinn er lóðrétt miðaður við flísgreiningarsvæðið, sendir stöðugt frá sér leysigeisla og tekur við endurkastað merki. Við flutning flísanna getur skynjarinn fengið upplýsingar um yfirborðshæð í rauntíma.
Skynjarinn notar innri reiknirit til að reikna út hæðargildi flísyfirborðsins út frá endurkastaða merkinu. Til að uppfylla kröfur um hraða flutnings í framleiðslulínum hálfleiðara þarf skynjarinn að hafa bæði mikla nákvæmni og háa sýnatökutíðni.
Leyfilegt hæðarbil er stillt, yfirleitt ±30 µm frá grunnlínuhæð. Ef mælda gildið fer yfir þetta þröskuldsbil er það talið vera staflafrávik. Þessi þröskuldsákvörðunarrökfræði getur á áhrifaríkan hátt greint á milli venjulegra einslagsflísa og staflaðra flísa.
Þegar frávik í stöflun greinast, sendir skynjarinn frá sér hljóð- og sjónræna viðvörun og virkjar samtímis vélmenni til að fjarlægja óeðlilega staðsetninguna eða stöðvar framleiðslulínuna til að koma í veg fyrir frekari versnun ástandsins. Þessi hraðvirki viðbragðsbúnaður lágmarkar tap af völdum frávika í stöflun að mestu leyti.
Rauntíma, nákvæm greining á frávikum í flísastöflun með leysigeislaskynjurum getur aukið verulega áreiðanleika og afköst framleiðslulína hálfleiðara. Með stöðugum tækniframförum munu leysigeislaskynjarar gegna enn stærra hlutverki í framleiðslu hálfleiðara og veita sterkan stuðning við sjálfbæra þróun iðnaðarins.
Birtingartími: 25. mars 2025