Imepụta Semiconductor guzoro dị ka otu n'ime mpaghara kacha chọsiri ike na teknụzụ siri ike na ụlọ ọrụ teknụzụ dị elu taa. Ka usoro mgbawa na-aga n'ihu na 3nm na ọbụna obere ọnụ ọnụ, izi ezi nke nha maka ọkpụrụkpụ wafer, elu ala, na akụkụ microstructure na-ekpebi kpọmkwem mkpụrụ na arụmọrụ. N'okwu a, ihe mmetụta mgbapụ laser, yana ọrụ ha na-enweghị kọntaktị, nkenke kachasị elu, oge nzaghachi ngwa ngwa na nkwụsi ike, abụrụla “anya nlegharị anya” dị mkpa n'oge usoro nrụpụta semiconductor.
Dị ka ihe bụ isi nke imepụta ngwaọrụ semiconductor, wafers chọrọ oke nkenke na ntụkwasị obi n'oge mmepụta. N'ime ọtụtụ usoro dị oke egwu nke nrụpụta wafer, nlegharị anya ziri ezi bụ ihe kacha mkpa - ọ na-emetụta arụmọrụ na mkpụrụ nke mgbawa ikpeazụ. Dị ka onye ndu ọhụrụ na ngalaba mmetụta ụlọ ọrụ China, Lansensor's PDE series laser displacement sensọ, na-egosipụta mkpebi micron-level, algọridim ọgụgụ isi, na ntụkwasị obi-ọkwa ụlọ ọrụ, apụtala dị ka ihe ngwọta kachasị mma maka usoro nrụpụta wafer.
Ihe ịma aka nke ọma na nrụpụta Wafer yana uru nke ihe mmetụta mgbapụ Laser.
Nrụpụta wafer na-agụnye usoro dị mgbagwoju anya dị ka fotolithography, etching, ntinye ihe nkiri dị mkpa, na njikọ - nke ọ bụla na-achọ ezigbo nkenke na micrometer ma ọ bụ ọbụna ọkwa nanometer. Ọmụmaatụ:
-
Na fotolithography, nhazi ziri ezi n'etiti fotomask na wafer dị oke mkpa iji hụ na a na-ebufe ụkpụrụ ziri ezi na elu wafer.
-
N'oge nkwụnye ihe nkiri dị mkpa, njikwa nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri dị mkpa iji kwe nkwa ịrụ ọrụ eletriki nke ngwaọrụ.
Ọbụlagodi ntakịrị mgbagha nwere ike ibute ntụpọ ngwaahịa ma ọ bụ mee ka ogbe wafer dum ghara iji ya mee ihe.
Ụzọ nrụzi igwe odịnala na-adakarị mkpụmkpụ n'igbo ihe ndị a chọrọ. Ọzọkwa, ha nwere ike imebi ma ọ bụ mebie elu wafer na-emebi emebi, ebe nzaghachi ngwa ngwa ha na-eme ka ha ezughị oke maka ihe gbasara metrology chọrọ.
Lanbaoihe mmetụtaIhe mmetụta mgbapụ Laser Series PDE: Ngwọta kacha mma maka ngwa wafer
◆Nleba Laser na-enweghị kọntaktị
Na-eji ntule laser n'elu ebe ebumnuche, na-enyocha akara egosipụtara/gbasasịrị iji nweta data mbugharị - na-ewepụ kọntaktị anụ ahụ na wafers iji gbochie mmebi n'ibu na ihe egwu mmetọ.
◆Nkezi ọkwa Micron
Nkà na ụzụ laser dị elu na algọridim nhazi akara ngosi na-ebupụta izi ezi nha nha micrometer na mkpebi, na-egbo oke oke chọrọ nke usoro nrụpụta wafer.
◆Nzaghachi dị ngwa ngwa (<10ms)
Na-eme ka nleba anya n'oge dị iche iche mmepụta ihe dị ike, na-enye ohere nchọpụta ngbanwe na mgbazi ozugbo iji kwalite nrụpụta nrụpụta.
◆Ndakọrịta ihe pụrụiche
Nwere ike ịtụ ihe dị iche iche na ụdị elu nwere ike ime mgbanwe gburugburu ebe obibi, dabara maka ọtụtụ usoro usoro semiconductor.
◆Kọmpat Industrial Design
Ụdị kọmpat na-eme ka ntinye aka na-enweghị ntụpọ n'ime akụrụngwa akpaaka na sistemu njikwa, na-eme ka nyocha usoro ọgụgụ isi na nhazi nke mechiri emechi.
Ngwa ndapụta nkeIhe mmetụta mgbapụ Laser Series PDEna Wafer Processing
Ihe mmetụta LanbaoIhe mmetụta mgbapụ Laser Series PDE: Ngwa dị egwu na nrụpụta Wafer
Site na arụmọrụ pụrụ iche, Lansensor PDE laser displacement sensọ na-arụ ọrụ dị mkpa n'ofe ọtụtụ usoro nrụpụta wafer:
◆Ndozi Wafer & Ndokwa
Maka usoro fotolithography na njikọ njikọ chọrọ izi ezi nke ọkwa micron, ihe mmetụta anyị na-atụ kpọmkwem ọnọdụ wafer na akụkụ tilt iji hụ na ntinye nkpuchi-to-wafer zuru oke na itinye aka na njikọ njikọ - na-eme ka izi ezi nyefe ụkpụrụ.
◆Usoro nke ịdị arọ nke Wafer
Na-enye nha nha nha na-enweghị kọntaktị na nleba anya oge n'oge usoro nkwụnye ego, na-ahụ na njikwa mma ihe nkiri kacha mma.
◆Nyocha Wafer Flatness
Ịchọta ihu akwụkwọ wafer na nrụrụ elu site na mkpebi obere micron iji gbochie wafer ndị nwere ntụpọ ịga n'ihu na mgbada.
◆Nlebanya ịdị arọ nke ihe nkiri dị mkpa
Na-enye ezigbo ntinye nkwụnye ego n'oge usoro CVD/PVD iji nọgide na-enwe nkọwapụta arụmọrụ eletrik siri ike.
◆Nchọpụta ntụpọ dị n'elu
Na-achọpụta anomalies elu micron-scale (scratches, particles) site na nkewa mgbanwe dị elu, na-eme ka ọnụego nchọpụta ntụpọ dị elu nke ukwuu.
◆Nleba anya ọnọdụ akụrụngwa
Na-esochi mkpagharị akụrụngwa dị mkpa (ogwe aka robot, mmegharị ogbo) yana ịma jijiji igwe maka ndozi amụma na nkwalite nkwụsi ike.
Usoro PDE nke Lanbao sensọ ọ bụghị naanị na-ejikọta oghere teknụzụ dị egwu na ahịa ihe mmetụta mmepụta ihe dị elu nke China mana na-ewepụta akara ngosi ụwa ọhụrụ yana arụmọrụ ya pụrụ iche. Ma ọ na-abawanye ọnụego mkpụrụ, ibelata ọnụ ahịa mmepụta, ma ọ bụ na-emepe mmepe usoro nke ọzọ, usoro PDE bụ ngwa ọgụ kachasị gị maka imeri ihe ịma aka nrụpụta semiconductor ziri ezi!
Oge nzipu: Mee-08-2025