Fabrikasyon semi-kondiktè se youn nan domèn ki mande plis presizyon e ki pi konplèks teknolojikman nan endistri gwo teknoloji jodi a. Pandan pwosesis chip yo ap avanse nan direksyon 3nm e menm nœd ki pi piti, presizyon mezi pou epesè waf, planè sifas, ak dimansyon mikwoestrikti detèmine dirèkteman rannman ak pèfòmans chip la. Nan kontèks sa a, detèktè deplasman lazè, ak operasyon san kontak yo, presizyon siperyè, tan repons pi rapid, ak estabilite amelyore, yo vin "je mezi" endispansab nan tout pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè a.
Kòm substrat prensipal fabrikasyon aparèy semi-kondiktè, wafer yo mande anpil presizyon ak fyab pandan pwodiksyon an. Pami anpil etap kritik nan fabrikasyon wafer, mezi deplasman egzat la esansyèl—li afekte dirèkteman pèfòmans ak rannman chip final la. Antanke yon lidè inovasyon nan sektè deteksyon endistriyèl Lachin nan, detèktè deplasman lazè seri PDE Lansensor yo, ki prezante rezolisyon nivo mikron, algoritm entelijan, ak fyab nan nivo endistriyèl, te vin solisyon pi pito pou pwosesis fabrikasyon wafer yo.
Defi Presizyon nan Fabrikasyon Wafer ak Avantaj Capteur Deplasman Lazè yo
Fabrikasyon wafer enplike yon seri pwosesis konplèks tankou fotolitografi, grave, depo fim mens, ak lyezon—chak mande yon presizyon strik nan nivo mikwomèt oswa menm nanomèt. Pa egzanp:
-
Nan fotolitografi, yon aliyman presi ant fotomask la ak wafer la enpòtan pou asire yon transfè modèl egzat sou sifas wafer la.
-
Pandan depozisyon fim mens, li enpòtan pou kontwole epesè fim nan egzakteman pou garanti pèfòmans elektrik aparèy yo.
Menm pi piti devyasyon an ka lakòz domaj nan pwodwi a oswa menm rann yon pakèt wafer antye initil.
Metòd mezi mekanik tradisyonèl yo souvan pa rive satisfè demand presizyon sa yo. Anplis, yo riske domaje oswa kontamine sifas frajil waf la, alòske vitès repons ralanti yo fè yo pa apwopriye pou egzijans metroloji dènye kri yo.
LanbaodetèktèCapteur Deplasman Lazè Seri PDESolisyon optimal pou aplikasyon wafer yo
◆Mezi lazè san kontak
Itilize pwojeksyon reyon lazè sou sifas sib yo, analize siyal reflete/difize pou jwenn done deplasman - elimine kontak fizik ak waf yo pou anpeche domaj mekanik ak risk kontaminasyon.
◆Presizyon nan nivo mikwon
Teknoloji lazè avanse ak algoritm pwosesis siyal yo bay presizyon ak rezolisyon mezi nan echèl mikwomèt, pou satisfè demand presizyon ekstrèm pwosesis fabrikasyon wafer yo.
◆Repons ultra rapid (<10ms)
Pèmèt siveyans an tan reyèl varyasyon pwodiksyon dinamik yo, sa ki pèmèt deteksyon ak koreksyon devyasyon imedya pou amelyore efikasite fabrikasyon an.
◆Konpatibilite Materyèl Eksepsyonèl
Kapab mezire divès materyèl ak kalite sifas ak yon gwo adaptabilite anviwònman, apwopriye pou plizyè etap pwosesis semi-kondiktè.
◆Konsepsyon Endistriyèl Konpak
Faktè fòm kontra enfòmèl ant lan fasilite entegrasyon san pwoblèm nan ekipman otomatik ak sistèm kontwòl, sa ki pèmèt siveyans pwosesis entelijan ak ajisteman an bouk fèmen.
Senaryo AplikasyonCapteur Deplasman Lazè Seri PDEnan Pwosesis Wafer
Capteur LanbaoCapteur Deplasman Lazè Seri PDEAplikasyon kritik nan fabrikasyon wafer
Avèk pèfòmans eksepsyonèl, detèktè deplasman lazè Lansensor PDE yo jwe wòl vital nan plizyè pwosesis fabrikasyon wafer:
◆Aliyman ak Pozisyonman Wafer
Pou fotolitografi ak pwosesis lyezon ki mande presizyon nan nivo mikron, detèktè nou yo mezire avèk presizyon pozisyon wafer la ak ang enklinasyon yo pou asire yon aliyman pafè ant mask ak wafer la ak pozisyonman bra lyezon an - sa ki amelyore presizyon transfè modèl la.
◆Metroloji Epesè Wafer
Pèmèt mezi epesè san kontak ak siveyans an tan reyèl pandan pwosesis depo yo, pou asire yon kontwòl optimal sou kalite fim mens lan.
◆Enspeksyon Planite Wafer
Detekte defòmasyon sifas waf ak yon rezolisyon sub-mikron pou anpeche waf ki defektye yo pwogrese an aval.
◆Siveyans Epesè Fim Mens
Bay swivi epesè depo an tan reyèl pandan pwosesis CVD/PVD pou kenbe espesifikasyon pèfòmans elektrik strik.
◆Deteksyon Defo Sifas
Idantifye anomali sifas nan echèl mikwon (reti, patikil) atravè map deplasman wo rezolisyon, sa ki amelyore anpil pousantaj deteksyon domaj yo.
◆Siveyans Kondisyon Ekipman
Suivi deplasman konpozan kritik yo (bra robo, mouvman sèn) ak vibrasyon machin pou antretyen prediktif ak optimize estabilite.
Seri PDE Lanbao a pa sèlman konble twou teknolojik enpòtan nan mache captè endistriyèl wo nivo Lachin nan, men li etabli nouvo referans mondyal ak pèfòmans eksepsyonèl li. Kit se ogmante to sede, diminye depans pwodiksyon, oswa akselere devlopman pwosesis pwochen jenerasyon an, seri PDE a kanpe kòm zam ultim ou pou simonte defi fabrikasyon semi-kondiktè presizyon!
Dat piblikasyon: 8 me 2025