આજના હાઇ-ટેક ઉદ્યોગમાં સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સૌથી વધુ ચોકસાઇ-માગણીશીલ અને તકનીકી રીતે જટિલ ક્ષેત્રોમાંનું એક છે. જેમ જેમ ચિપ પ્રક્રિયાઓ 3nm અને તેનાથી પણ નાના નોડ્સ તરફ આગળ વધે છે, તેમ વેફર જાડાઈ, સપાટી સપાટતા અને માઇક્રોસ્ટ્રક્ચર પરિમાણો માટે માપનની ચોકસાઈ સીધી રીતે ચિપ ઉપજ અને કામગીરી નક્કી કરે છે. આ સંદર્ભમાં, લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સર, તેમના બિન-સંપર્ક કામગીરી, શ્રેષ્ઠ ચોકસાઇ, ઝડપી પ્રતિભાવ સમય અને ઉન્નત સ્થિરતા સાથે, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન અનિવાર્ય "માપન આંખો" બની ગયા છે.
સેમિકન્ડક્ટર ડિવાઇસ ફેબ્રિકેશનના મુખ્ય સબસ્ટ્રેટ તરીકે, વેફર્સને ઉત્પાદન દરમિયાન અત્યંત ચોકસાઇ અને વિશ્વસનીયતાની જરૂર પડે છે. વેફર ઉત્પાદનના ઘણા મહત્વપૂર્ણ તબક્કાઓમાં, સચોટ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ માપન સર્વોપરી છે - તે અંતિમ ચિપના પ્રદર્શન અને ઉપજ પર સીધી અસર કરે છે. ચીનના ઔદ્યોગિક સેન્સિંગ ક્ષેત્રમાં નવીનતા નેતા તરીકે, લેન્સસેન્સરના PDE શ્રેણીના લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સર, જેમાં માઇક્રોન-લેવલ રિઝોલ્યુશન, બુદ્ધિશાળી અલ્ગોરિધમ્સ અને ઔદ્યોગિક-ગ્રેડ વિશ્વસનીયતા છે, તે વેફર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓ માટે પસંદગીના ઉકેલ તરીકે ઉભરી આવ્યા છે.
વેફર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં ચોકસાઇ પડકારો અને લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સરના ફાયદા
વેફર ઉત્પાદનમાં ફોટોલિથોગ્રાફી, એચિંગ, થિન-ફિલ્મ ડિપોઝિશન અને બોન્ડિંગ જેવી જટિલ પ્રક્રિયાઓની શ્રેણીનો સમાવેશ થાય છે - દરેકને માઇક્રોમીટર અથવા તો નેનોમીટર સ્તરે કડક ચોકસાઇની જરૂર પડે છે. ઉદાહરણ તરીકે:
-
ફોટોલિથોગ્રાફીમાં, વેફર સપાટી પર ચોક્કસ પેટર્ન ટ્રાન્સફર સુનિશ્ચિત કરવા માટે ફોટોમાસ્ક અને વેફર વચ્ચે ચોક્કસ ગોઠવણી મહત્વપૂર્ણ છે.
-
પાતળા-ફિલ્મ ડિપોઝિશન દરમિયાન, ઉપકરણોના વિદ્યુત પ્રદર્શનની ખાતરી આપવા માટે ફિલ્મની જાડાઈનું ચોક્કસ નિયંત્રણ આવશ્યક છે.
સહેજ પણ વિચલન ઉત્પાદનમાં ખામીઓ તરફ દોરી શકે છે અથવા વેફરનો આખો બેચ બિનઉપયોગી બનાવી શકે છે.
પરંપરાગત યાંત્રિક માપન પદ્ધતિઓ ઘણીવાર આવી ઉચ્ચ-ચોકસાઇની માંગણીઓને પૂર્ણ કરવામાં નિષ્ફળ જાય છે. વધુમાં, તેઓ નાજુક વેફર સપાટીને નુકસાન પહોંચાડવાનું અથવા દૂષિત કરવાનું જોખમ રાખે છે, જ્યારે તેમની ધીમી પ્રતિભાવ ગતિ તેમને અત્યાધુનિક મેટ્રોલોજી આવશ્યકતાઓ માટે અપૂરતી બનાવે છે.
લેનબાઓસેન્સરPDE શ્રેણી લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સર્સ: વેફર એપ્લિકેશન્સ માટે શ્રેષ્ઠ ઉકેલ
◆સંપર્ક વિનાનું લેસર માપન
લક્ષ્ય સપાટી પર લેસર બીમ પ્રક્ષેપણનો ઉપયોગ કરે છે, વિસ્થાપન ડેટા મેળવવા માટે પ્રતિબિંબિત/છૂટેલા સંકેતોનું વિશ્લેષણ કરે છે - યાંત્રિક નુકસાન અને દૂષણના જોખમોને રોકવા માટે વેફર્સ સાથે ભૌતિક સંપર્કને દૂર કરે છે.
◆માઇક્રોન-સ્તરની ચોકસાઇ
અદ્યતન લેસર ટેકનોલોજી અને સિગ્નલ પ્રોસેસિંગ અલ્ગોરિધમ્સ માઇક્રોમીટર-સ્કેલ માપનની ચોકસાઈ અને રિઝોલ્યુશન પ્રદાન કરે છે, જે વેફર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયાઓની અત્યંત ચોકસાઇની માંગને પૂર્ણ કરે છે.
◆અતિ-ઝડપી પ્રતિભાવ (<૧૦ મિલીસેકન્ડ)
ગતિશીલ ઉત્પાદન ભિન્નતાઓનું રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ સક્ષમ કરે છે, જે ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતા વધારવા માટે તાત્કાલિક વિચલન શોધ અને સુધારણાને મંજૂરી આપે છે.
◆અસાધારણ સામગ્રી સુસંગતતા
મજબૂત પર્યાવરણીય અનુકૂલનક્ષમતા સાથે વિવિધ સામગ્રી અને સપાટીના પ્રકારોને માપવામાં સક્ષમ, બહુવિધ સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા તબક્કાઓ માટે યોગ્ય.
◆કોમ્પેક્ટ ઔદ્યોગિક ડિઝાઇન
કોમ્પેક્ટ ફોર્મ ફેક્ટર ઓટોમેટેડ સાધનો અને નિયંત્રણ સિસ્ટમોમાં સીમલેસ એકીકરણની સુવિધા આપે છે, જે બુદ્ધિશાળી પ્રક્રિયા દેખરેખ અને ક્લોઝ્ડ-લૂપ ગોઠવણને સક્ષમ બનાવે છે.
ની એપ્લિકેશન દૃશ્યોPDE શ્રેણી લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સર્સવેફર પ્રોસેસિંગમાં
લેનબાઓ સેન્સરPDE શ્રેણી લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સર્સ: વેફર ઉત્પાદનમાં મહત્વપૂર્ણ એપ્લિકેશનો
અસાધારણ કામગીરી સાથે, લેન્સર PDE લેસર ડિસ્પ્લેસમેન્ટ સેન્સર બહુવિધ વેફર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયાઓમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે:
◆વેફર સંરેખણ અને સ્થિતિકરણ
ફોટોલિથોગ્રાફી અને બોન્ડિંગ પ્રક્રિયાઓ માટે જેમાં માઇક્રોન-સ્તરની ચોકસાઈની જરૂર હોય છે, અમારા સેન્સર વેફર પોઝિશન અને ટિલ્ટ એંગલને ચોક્કસ રીતે માપે છે જેથી માસ્ક-ટુ-વેફર એલાઇનમેન્ટ અને બોન્ડિંગ આર્મ પોઝિશનિંગ - પેટર્ન ટ્રાન્સફર ચોકસાઇમાં વધારો થાય છે તેની ખાતરી થાય.
◆વેફર જાડાઈ મેટ્રોલોજી
ડિપોઝિશન પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ સાથે બિન-સંપર્ક જાડાઈ માપનને સક્ષમ કરીને, શ્રેષ્ઠ પાતળા-ફિલ્મ ગુણવત્તા નિયંત્રણ સુનિશ્ચિત કરવું.
◆વેફર ફ્લેટનેસ નિરીક્ષણ
ખામીયુક્ત વેફર્સને નીચે તરફ આગળ વધતા અટકાવવા માટે સબ-માઇક્રોન રિઝોલ્યુશન સાથે વેફર વોરપેજ અને સપાટીના વિકૃતિને શોધવી.
◆પાતળી-ફિલ્મ જાડાઈનું નિરીક્ષણ
કડક વિદ્યુત કામગીરી સ્પષ્ટીકરણો જાળવવા માટે CVD/PVD પ્રક્રિયાઓ દરમિયાન રીઅલ-ટાઇમ ડિપોઝિશન જાડાઈ ટ્રેકિંગ પ્રદાન કરવું.
◆સપાટી ખામી શોધ
ઉચ્ચ-રિઝોલ્યુશન ડિસ્પ્લેસમેન્ટ મેપિંગ દ્વારા માઇક્રોન-સ્કેલ સપાટીની વિસંગતતાઓ (સ્ક્રેચ, કણો) ઓળખવા, ખામી શોધ દરમાં નોંધપાત્ર સુધારો.
◆સાધનોની સ્થિતિનું નિરીક્ષણ
આગાહી જાળવણી અને સ્થિરતા ઑપ્ટિમાઇઝેશન માટે મહત્વપૂર્ણ ઘટકોના વિસ્થાપન (રોબોટ આર્મ્સ, સ્ટેજ હલનચલન) અને મશીનના સ્પંદનોને ટ્રેક કરવું.
લેનબાઓ સેન્સરની PDE શ્રેણી ચીનના ઉચ્ચ-સ્તરીય ઔદ્યોગિક સેન્સર બજારમાં મહત્વપૂર્ણ ટેકનોલોજી અંતરને દૂર કરે છે એટલું જ નહીં પરંતુ તેના અસાધારણ પ્રદર્શન સાથે નવા વૈશ્વિક બેન્ચમાર્ક સ્થાપિત કરે છે. ઉપજ દરમાં વધારો કરવો, ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડવો, અથવા આગામી પેઢીના પ્રક્રિયા વિકાસને વેગ આપવો, PDE શ્રેણી ચોકસાઇ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પડકારોને જીતવા માટે તમારા અંતિમ શસ્ત્ર તરીકે ઉભી છે!
પોસ્ટ સમય: મે-૦૮-૨૦૨૫