La fabrication de semi-conducteurs est l'un des secteurs les plus exigeants en précision et les plus complexes technologiquement dans l'industrie high-tech actuelle. À mesure que les procédés de fabrication de puces évoluent vers des nœuds de 3 nm et même plus petits, la précision des mesures d'épaisseur de plaquette, de planéité de surface et de dimensions de microstructure détermine directement le rendement et les performances des puces. Dans ce contexte, les capteurs de déplacement laser, avec leur fonctionnement sans contact, leur précision supérieure, leurs temps de réponse plus rapides et leur stabilité accrue, sont devenus des « yeux de mesure » indispensables tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs.
En tant que substrat essentiel à la fabrication de semi-conducteurs, les wafers requièrent une précision et une fiabilité extrêmes lors de leur production. Parmi les nombreuses étapes critiques de leur fabrication, la précision de la mesure du déplacement est primordiale : elle a un impact direct sur les performances et le rendement de la puce finale. Leader de l'innovation dans le secteur chinois de la détection industrielle, Lansensor propose des capteurs de déplacement laser de la série PDE, dotés d'une résolution de l'ordre du micron, d'algorithmes intelligents et d'une fiabilité de niveau industriel, qui s'imposent comme la solution privilégiée pour la fabrication de wafers.
Défis de précision dans la fabrication de plaquettes et avantages des capteurs de déplacement laser
La fabrication de plaquettes implique une série de procédés complexes tels que la photolithographie, la gravure, le dépôt de couches minces et le collage, exigeant chacun une précision rigoureuse, de l'ordre du micromètre, voire du nanomètre. Par exemple :
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En photolithographie, un alignement précis entre le photomasque et la plaquette est essentiel pour garantir un transfert précis du motif sur la surface de la plaquette.
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Lors du dépôt de couches minces, un contrôle précis de l'épaisseur du film est essentiel pour garantir les performances électriques des dispositifs.
Même le plus petit écart peut entraîner des défauts du produit ou même rendre un lot entier de plaquettes inutilisable.
Les méthodes de mesure mécaniques traditionnelles ne répondent souvent pas à ces exigences de haute précision. De plus, elles risquent d'endommager ou de contaminer la surface fragile des plaquettes, tandis que leurs faibles temps de réponse les rendent inadaptées aux exigences de la métrologie de pointe.
LanbaocapteurCapteurs de déplacement laser série PDE: La solution optimale pour les applications de plaquettes
◆Mesure laser sans contact
Utilise la projection d'un faisceau laser sur les surfaces cibles, analysant les signaux réfléchis/diffusés pour obtenir des données de déplacement - éliminant ainsi le contact physique avec les plaquettes pour éviter les dommages mécaniques et les risques de contamination.
◆Précision au micron près
La technologie laser avancée et les algorithmes de traitement du signal offrent une précision et une résolution de mesure à l'échelle micrométrique, répondant aux exigences de précision extrêmes des processus de fabrication de plaquettes.
◆Réponse ultra-rapide (<10 ms)
Permet une surveillance en temps réel des variations dynamiques de la production, permettant une détection et une correction immédiates des écarts pour améliorer l'efficacité de la fabrication.
◆Compatibilité matérielle exceptionnelle
Capable de mesurer divers matériaux et types de surfaces avec une forte adaptabilité environnementale, adapté à plusieurs étapes du processus de semi-conducteurs.
◆Conception industrielle compacte
Le format compact facilite l'intégration transparente dans les équipements automatisés et les systèmes de contrôle, permettant une surveillance intelligente des processus et un réglage en boucle fermée.
Scénarios d'application deCapteurs de déplacement laser série PDEdans le traitement des plaquettes
Capteur LanbaoCapteurs de déplacement laser série PDE: Applications critiques dans la fabrication de plaquettes
Avec des performances exceptionnelles, les capteurs de déplacement laser PDE de Lansensor jouent un rôle essentiel dans de nombreux processus de fabrication de plaquettes :
◆Alignement et positionnement des plaquettes
Pour les processus de photolithographie et de collage nécessitant une précision au micron, nos capteurs mesurent avec précision la position et les angles d'inclinaison de la plaquette pour garantir un alignement parfait du masque sur la plaquette et un positionnement du bras de collage, améliorant ainsi la précision du transfert de motif.
◆Métrologie de l'épaisseur des plaquettes
Permet une mesure d'épaisseur sans contact avec une surveillance en temps réel pendant les processus de dépôt, garantissant un contrôle optimal de la qualité des couches minces.
◆Inspection de la planéité des plaquettes
Détection du gauchissement des plaquettes et de la déformation de surface avec une résolution submicronique pour empêcher les plaquettes défectueuses de progresser en aval.
◆Surveillance de l'épaisseur des couches minces
Fournit un suivi de l'épaisseur du dépôt en temps réel pendant les processus CVD/PVD pour maintenir des spécifications de performances électriques strictes.
◆Détection des défauts de surface
Identification des anomalies de surface à l'échelle du micron (rayures, particules) grâce à une cartographie de déplacement haute résolution, améliorant considérablement les taux de détection des défauts.
◆Surveillance de l'état des équipements
Suivi des déplacements des composants critiques (bras du robot, mouvements de la scène) et des vibrations des machines pour la maintenance prédictive et l'optimisation de la stabilité.
La série PDE de Lanbao Sensor comble non seulement les lacunes technologiques critiques du marché chinois des capteurs industriels haut de gamme, mais établit également de nouvelles références mondiales grâce à ses performances exceptionnelles. Qu'il s'agisse d'améliorer les rendements, de réduire les coûts de production ou d'accélérer le développement de procédés de nouvelle génération, la série PDE est l'arme ultime pour relever les défis de la fabrication de semi-conducteurs de précision !
Date de publication : 8 mai 2025