Η κατασκευή ημιαγωγών αποτελεί έναν από τους πιο απαιτητικούς σε ακρίβεια και τεχνολογικά πολύπλοκους τομείς στη σημερινή βιομηχανία υψηλής τεχνολογίας. Καθώς οι διαδικασίες κατασκευής τσιπ προχωρούν προς κόμβους 3nm και ακόμη μικρότερους, η ακρίβεια των μετρήσεων για το πάχος των πλακιδίων, την επιπεδότητα της επιφάνειας και τις διαστάσεις της μικροδομής καθορίζει άμεσα την απόδοση και την απόδοση του τσιπ. Σε αυτό το πλαίσιο, οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ, με την ανέπαφη λειτουργία τους, την ανώτερη ακρίβεια, τους ταχύτερους χρόνους απόκρισης και την βελτιωμένη σταθερότητα, έχουν γίνει απαραίτητα «μάτια μέτρησης» σε όλη τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.
Ως το βασικό υπόστρωμα στην κατασκευή ημιαγωγικών συσκευών, οι πλακέτες απαιτούν εξαιρετική ακρίβεια και αξιοπιστία κατά την παραγωγή. Μεταξύ των πολλών κρίσιμων σταδίων κατασκευής πλακιδίων, η ακριβής μέτρηση της μετατόπισης είναι πρωταρχικής σημασίας — επηρεάζει άμεσα την απόδοση και την απόδοση του τελικού τσιπ. Ως ηγέτης στην καινοτομία στον τομέα της βιομηχανικής ανίχνευσης της Κίνας, οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ σειράς PDE της Lansensor, με ανάλυση σε επίπεδο μικρών, έξυπνους αλγόριθμους και αξιοπιστία βιομηχανικού επιπέδου, έχουν αναδειχθεί ως η προτιμώμενη λύση για τις διαδικασίες κατασκευής πλακιδίων.
Προκλήσεις Ακριβείας στην Κατασκευή Πλακιδίων και τα Πλεονεκτήματα των Αισθητήρων Μετατόπισης Λέιζερ
Η κατασκευή πλακιδίων περιλαμβάνει μια σειρά από πολύπλοκες διαδικασίες όπως η φωτολιθογραφία, η χάραξη, η εναπόθεση λεπτής μεμβράνης και η συγκόλληση — καθεμία από τις οποίες απαιτεί αυστηρή ακρίβεια σε επίπεδο μικρομέτρου ή ακόμη και νανομέτρου. Για παράδειγμα:
-
Στη φωτολιθογραφία, η ακριβής ευθυγράμμιση μεταξύ της φωτομάσκας και της πλακέτας είναι κρίσιμη για να διασφαλιστεί η ακριβής μεταφορά μοτίβου στην επιφάνεια της πλακέτας.
-
Κατά την εναπόθεση λεπτής μεμβράνης, ο ακριβής έλεγχος του πάχους της μεμβράνης είναι απαραίτητος για την εγγύηση της ηλεκτρικής απόδοσης των συσκευών.
Ακόμα και η παραμικρή απόκλιση μπορεί να οδηγήσει σε ελαττώματα του προϊόντος ή ακόμα και να καταστήσει μια ολόκληρη παρτίδα πλακιδίων άχρηστη.
Οι παραδοσιακές μηχανικές μέθοδοι μέτρησης συχνά δεν ανταποκρίνονται σε τέτοιες απαιτήσεις υψηλής ακρίβειας. Επιπλέον, υπάρχει κίνδυνος να προκαλέσουν ζημιά ή μόλυνση της εύθραυστης επιφάνειας του πλακιδίου, ενώ οι χαμηλές ταχύτητες απόκρισης τις καθιστούν ανεπαρκείς για τις απαιτήσεις αιχμής της μετρολογίας.
LanbaoαισθητήραςΑισθητήρες μετατόπισης λέιζερ σειράς PDEΗ βέλτιστη λύση για εφαρμογές πλακιδίων
◆Μέτρηση με λέιζερ χωρίς επαφή
Χρησιμοποιεί προβολή δέσμης λέιζερ σε επιφάνειες-στόχους, αναλύοντας ανακλώμενα/σκεδασμένα σήματα για τη λήψη δεδομένων μετατόπισης - εξαλείφοντας τη φυσική επαφή με τις πλακέτες για την πρόληψη μηχανικών βλαβών και κινδύνων μόλυνσης.
◆Ακρίβεια σε επίπεδο Micron
Η προηγμένη τεχνολογία λέιζερ και οι αλγόριθμοι επεξεργασίας σήματος παρέχουν ακρίβεια και ανάλυση μέτρησης σε μικρομετρική κλίμακα, καλύπτοντας τις ακραίες απαιτήσεις ακρίβειας των διαδικασιών κατασκευής πλακιδίων.
◆Εξαιρετικά γρήγορη απόκριση (<10ms)
Επιτρέπει την παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο των δυναμικών διακυμάνσεων της παραγωγής, επιτρέποντας την άμεση ανίχνευση και διόρθωση των αποκλίσεων για την ενίσχυση της αποδοτικότητας της κατασκευής.
◆Εξαιρετική συμβατότητα υλικών
Ικανό να μετράει ποικίλα υλικά και τύπους επιφανειών με ισχυρή περιβαλλοντική προσαρμοστικότητα, κατάλληλο για πολλαπλά στάδια διεργασιών ημιαγωγών.
◆Συμπαγής Βιομηχανικός Σχεδιασμός
Ο συμπαγής σχεδιασμός διευκολύνει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε αυτοματοποιημένο εξοπλισμό και συστήματα ελέγχου, επιτρέποντας την έξυπνη παρακολούθηση των διαδικασιών και την προσαρμογή κλειστού βρόχου.
Σενάρια εφαρμογής τουΑισθητήρες μετατόπισης λέιζερ σειράς PDEστην επεξεργασία πλακιδίων
Αισθητήρας LanbaoΑισθητήρες μετατόπισης λέιζερ σειράς PDE: Κρίσιμες Εφαρμογές στην Κατασκευή Πλακιδίων
Με εξαιρετική απόδοση, οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ Lansensor PDE παίζουν ζωτικό ρόλο σε πολλαπλές διαδικασίες κατασκευής πλακιδίων:
◆Ευθυγράμμιση και τοποθέτηση πλακιδίων
Για φωτολιθογραφικές και συγκολλητικές διεργασίες που απαιτούν ακρίβεια σε επίπεδο μικρών, οι αισθητήρες μας μετρούν με ακρίβεια τη θέση της πλακέτας και τις γωνίες κλίσης για να εξασφαλίσουν τέλεια ευθυγράμμιση μάσκας-πλακέτας και τοποθέτηση του βραχίονα συγκόλλησης, ενισχύοντας την ακρίβεια μεταφοράς μοτίβων.
◆Μετρολογία Πάχους Wafer
Δυνατότητα μέτρησης πάχους χωρίς επαφή με παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο κατά τη διάρκεια των διαδικασιών εναπόθεσης, εξασφαλίζοντας βέλτιστο έλεγχο ποιότητας λεπτής μεμβράνης.
◆Επιθεώρηση επιπεδότητας γκοφρέτας
Ανίχνευση στρέβλωσης πλακιδίων και επιφανειακής παραμόρφωσης με ανάλυση υπομικρομετρικά για την αποτροπή της εξέλιξης ελαττωματικών πλακιδίων κατάντη.
◆Παρακολούθηση πάχους λεπτής μεμβράνης
Παροχή παρακολούθησης πάχους εναπόθεσης σε πραγματικό χρόνο κατά τη διάρκεια των διεργασιών CVD/PVD για τη διατήρηση αυστηρών προδιαγραφών ηλεκτρικής απόδοσης.
◆Ανίχνευση επιφανειακών ελαττωμάτων
Εντοπισμός επιφανειακών ανωμαλιών σε κλίμακα μικρών (γρατζουνιές, σωματίδια) μέσω χαρτογράφησης μετατόπισης υψηλής ανάλυσης, βελτιώνοντας σημαντικά τα ποσοστά ανίχνευσης ελαττωμάτων.
◆Παρακολούθηση κατάστασης εξοπλισμού
Παρακολούθηση μετατοπίσεων κρίσιμων εξαρτημάτων (ρομποτικοί βραχίονες, κινήσεις σκηνής) και κραδασμών μηχανήματος για προγνωστική συντήρηση και βελτιστοποίηση της σταθερότητας.
Η σειρά PDE της Lanbao Sensor όχι μόνο γεφυρώνει κρίσιμα τεχνολογικά κενά στην αγορά αισθητήρων υψηλής τεχνολογίας της Κίνας, αλλά και θέτει νέα παγκόσμια πρότυπα με την εξαιρετική της απόδοση. Είτε ενισχύει τα ποσοστά απόδοσης, είτε μειώνει το κόστος παραγωγής, είτε επιταχύνει την ανάπτυξη διεργασιών επόμενης γενιάς, η σειρά PDE αποτελεί το απόλυτο όπλο σας για την αντιμετώπιση των προκλήσεων στην κατασκευή ημιαγωγών ακριβείας!
Ώρα δημοσίευσης: 08 Μαΐου 2025