আজকের উচ্চ-প্রযুক্তি শিল্পে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন সবচেয়ে নির্ভুলতা-চাহিদাপূর্ণ এবং প্রযুক্তিগতভাবে জটিল ক্ষেত্রগুলির মধ্যে একটি। চিপ প্রক্রিয়াগুলি 3nm এবং এমনকি ছোট নোডের দিকে এগিয়ে যাওয়ার সাথে সাথে, ওয়েফার পুরুত্ব, পৃষ্ঠের সমতলতা এবং মাইক্রোস্ট্রাকচার মাত্রার পরিমাপের নির্ভুলতা সরাসরি চিপের ফলন এবং কর্মক্ষমতা নির্ধারণ করে। এই প্রেক্ষাপটে, লেজার স্থানচ্যুতি সেন্সরগুলি, তাদের যোগাযোগহীন অপারেশন, উচ্চতর নির্ভুলতা, দ্রুত প্রতিক্রিয়া সময় এবং বর্ধিত স্থিতিশীলতার সাথে, সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়া জুড়ে অপরিহার্য "পরিমাপ চোখ" হয়ে উঠেছে।
সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস তৈরির মূল স্তর হিসেবে, ওয়েফারগুলির উৎপাদনের সময় চরম নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রয়োজন। ওয়েফার তৈরির অনেক গুরুত্বপূর্ণ পর্যায়ের মধ্যে, সঠিক স্থানচ্যুতি পরিমাপ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ - এটি সরাসরি চূড়ান্ত চিপের কর্মক্ষমতা এবং ফলনের উপর প্রভাব ফেলে। চীনের শিল্প সেন্সিং সেক্টরে একটি উদ্ভাবনী নেতা হিসাবে, ল্যানসেন্সরের PDE সিরিজের লেজার স্থানচ্যুতি সেন্সর, যার মধ্যে মাইক্রোন-স্তরের রেজোলিউশন, বুদ্ধিমান অ্যালগরিদম এবং শিল্প-গ্রেড নির্ভরযোগ্যতা রয়েছে, ওয়েফার উৎপাদন প্রক্রিয়ার জন্য পছন্দের সমাধান হিসাবে আবির্ভূত হয়েছে।
ওয়েফার উৎপাদনে নির্ভুলতার চ্যালেঞ্জ এবং লেজার ডিসপ্লেসমেন্ট সেন্সরের সুবিধা
ওয়েফার উৎপাদনে ফটোলিথোগ্রাফি, এচিং, পাতলা-ফিল্ম ডিপোজিশন এবং বন্ধনের মতো জটিল প্রক্রিয়াগুলির একটি সিরিজ জড়িত - প্রতিটির জন্য মাইক্রোমিটার বা এমনকি ন্যানোমিটার স্তরে কঠোর নির্ভুলতা প্রয়োজন। উদাহরণস্বরূপ:
-
ফটোলিথোগ্রাফিতে, ওয়েফার পৃষ্ঠে সঠিক প্যাটার্ন স্থানান্তর নিশ্চিত করার জন্য ফটোমাস্ক এবং ওয়েফারের মধ্যে সুনির্দিষ্ট সারিবদ্ধকরণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
-
পাতলা-ফিল্ম জমার সময়, ডিভাইসের বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার জন্য ফিল্মের পুরুত্বের সঠিক নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য।
এমনকি সামান্যতম বিচ্যুতিও পণ্যের ত্রুটির কারণ হতে পারে অথবা এমনকি পুরো ব্যাচের ওয়েফার ব্যবহারের অযোগ্য করে তুলতে পারে।
ঐতিহ্যবাহী যান্ত্রিক পরিমাপ পদ্ধতিগুলি প্রায়শই এই ধরনের উচ্চ-নির্ভুলতার চাহিদা পূরণে ব্যর্থ হয়। তাছাড়া, তারা ভঙ্গুর ওয়েফার পৃষ্ঠকে ক্ষতিগ্রস্ত বা দূষিত করার ঝুঁকিতে থাকে, অন্যদিকে তাদের ধীর প্রতিক্রিয়া গতি এগুলিকে অত্যাধুনিক মেট্রোলজির প্রয়োজনীয়তার জন্য অপর্যাপ্ত করে তোলে।
ল্যানবাওসেন্সরPDE সিরিজ লেজার ডিসপ্লেসমেন্ট সেন্সর: ওয়েফার অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সর্বোত্তম সমাধান
◆যোগাযোগবিহীন লেজার পরিমাপ
লক্ষ্যবস্তুর উপর লেজার রশ্মি প্রক্ষেপণ ব্যবহার করে, স্থানচ্যুতি তথ্য পেতে প্রতিফলিত/বিক্ষিপ্ত সংকেত বিশ্লেষণ করে - যান্ত্রিক ক্ষতি এবং দূষণের ঝুঁকি রোধ করতে ওয়েফারের সাথে শারীরিক যোগাযোগ দূর করে।
◆মাইক্রন-স্তরের যথার্থতা
উন্নত লেজার প্রযুক্তি এবং সিগন্যাল প্রক্রিয়াকরণ অ্যালগরিদম মাইক্রোমিটার-স্কেল পরিমাপের নির্ভুলতা এবং রেজোলিউশন প্রদান করে, ওয়েফার তৈরির প্রক্রিয়াগুলির চরম নির্ভুলতার চাহিদা পূরণ করে।
◆অতি দ্রুত প্রতিক্রিয়া (<১০ মিলিসেকেন্ড)
গতিশীল উৎপাদন বৈচিত্র্যের রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ সক্ষম করে, তাৎক্ষণিক বিচ্যুতি সনাক্তকরণ এবং সংশোধনের মাধ্যমে উৎপাদন দক্ষতা বৃদ্ধি করে।
◆ব্যতিক্রমী উপাদানের সামঞ্জস্য
শক্তিশালী পরিবেশগত অভিযোজনযোগ্যতা সহ বিভিন্ন উপকরণ এবং পৃষ্ঠের ধরণ পরিমাপ করতে সক্ষম, একাধিক অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়া পর্যায়ের জন্য উপযুক্ত।
◆কমপ্যাক্ট ইন্ডাস্ট্রিয়াল ডিজাইন
কমপ্যাক্ট ফর্ম ফ্যাক্টর স্বয়ংক্রিয় সরঞ্জাম এবং নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থায় নিরবচ্ছিন্ন একীকরণকে সহজতর করে, বুদ্ধিমান প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং ক্লোজড-লুপ সমন্বয় সক্ষম করে।
এর প্রয়োগের পরিস্থিতিPDE সিরিজ লেজার ডিসপ্লেসমেন্ট সেন্সরওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে
ল্যানবাও সেন্সরPDE সিরিজ লেজার ডিসপ্লেসমেন্ট সেন্সর: ওয়েফার উৎপাদনে গুরুত্বপূর্ণ প্রয়োগ
ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতা সহ, ল্যানসেন্সর পিডিই লেজার ডিসপ্লেসমেন্ট সেন্সরগুলি একাধিক ওয়েফার তৈরির প্রক্রিয়া জুড়ে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে:
◆ওয়েফার অ্যালাইনমেন্ট এবং পজিশনিং
মাইক্রোন-স্তরের নির্ভুলতার প্রয়োজন এমন ফটোলিথোগ্রাফি এবং বন্ধন প্রক্রিয়াগুলির জন্য, আমাদের সেন্সরগুলি নিখুঁতভাবে ওয়েফার অবস্থান এবং টিল্ট কোণ পরিমাপ করে যাতে নিখুঁত মাস্ক-টু-ওয়েফার সারিবদ্ধকরণ এবং বন্ধন হাতের অবস্থান নিশ্চিত করা যায় - প্যাটার্ন স্থানান্তর নির্ভুলতা বৃদ্ধি করে।
◆ওয়েফার পুরুত্ব পরিমাপ
জমাকরণ প্রক্রিয়ার সময় রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণের মাধ্যমে যোগাযোগবিহীন পুরুত্ব পরিমাপ সক্ষম করা, সর্বোত্তম পাতলা-ফিল্ম মান নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করা।
◆ওয়েফার ফ্ল্যাটনেস পরিদর্শন
ত্রুটিপূর্ণ ওয়েফারগুলিকে নিম্ন প্রবাহে অগ্রসর হতে বাধা দেওয়ার জন্য সাব-মাইক্রন রেজোলিউশনের মাধ্যমে ওয়েফার ওয়ারপেজ এবং পৃষ্ঠের বিকৃতি সনাক্ত করা।
◆পাতলা-ফিল্ম পুরুত্ব পর্যবেক্ষণ
কঠোর বৈদ্যুতিক কর্মক্ষমতা নির্দিষ্টকরণ বজায় রাখার জন্য CVD/PVD প্রক্রিয়ার সময় রিয়েল-টাইম ডিপোজিশন বেধ ট্র্যাকিং প্রদান করা।
◆পৃষ্ঠের ত্রুটি সনাক্তকরণ
উচ্চ-রেজোলিউশন স্থানচ্যুতি ম্যাপিংয়ের মাধ্যমে মাইক্রোন-স্কেল পৃষ্ঠের অসঙ্গতি (স্ক্র্যাচ, কণা) সনাক্তকরণ, ত্রুটি সনাক্তকরণের হার উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করে।
◆সরঞ্জামের অবস্থা পর্যবেক্ষণ
ভবিষ্যদ্বাণীমূলক রক্ষণাবেক্ষণ এবং স্থিতিশীলতা অপ্টিমাইজেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ উপাদান স্থানচ্যুতি (রোবট বাহু, মঞ্চের নড়াচড়া) এবং মেশিনের কম্পন ট্র্যাক করা।
ল্যানবাও সেন্সরের পিডিই সিরিজ কেবল চীনের উচ্চমানের শিল্প সেন্সর বাজারে গুরুত্বপূর্ণ প্রযুক্তিগত ব্যবধান পূরণ করে না বরং এর ব্যতিক্রমী কর্মক্ষমতা দিয়ে নতুন বৈশ্বিক মানদণ্ড স্থাপন করে। উৎপাদন হার বৃদ্ধি করা, উৎপাদন খরচ হ্রাস করা, অথবা পরবর্তী প্রজন্মের প্রক্রিয়া উন্নয়ন ত্বরান্বিত করা যাই হোক না কেন, পিডিই সিরিজটি নির্ভুল সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন চ্যালেঞ্জ জয় করার জন্য আপনার চূড়ান্ত অস্ত্র হিসেবে দাঁড়িয়ে আছে!
পোস্টের সময়: মে-০৮-২০২৫