ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ በዛሬው ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ኢንዱስትሪ ውስጥ በጣም ትክክለኛ እና ውስብስብ ከሆኑ ዘርፎች አንዱ ነው። የቺፕ ሂደቶች ወደ 3 nm እና እንዲያውም ወደ ትናንሽ ኖዶች ሲሄዱ፣ የዋፈር ውፍረት፣ የወለል ጠፍጣፋነት እና የማይክሮስትራክቸር ልኬቶች የመለኪያ ትክክለኛነት የቺፕ ምርትን እና አፈጻጸምን በቀጥታ ይወስናል። በዚህ አውድ፣ የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾች፣ ከግንኙነት ውጪ በሆነ አሠራር፣ የላቀ ትክክለኛነት፣ ፈጣን የምላሽ ጊዜዎች እና የተሻሻለ መረጋጋት፣ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ አስፈላጊ "የመለኪያ አይኖች" ሆነዋል።
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ማምረቻ ዋና ክፍል እንደመሆኑ መጠን ዋፈሮች በምርት ወቅት ከፍተኛ ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ያስፈልጋቸዋል። ከብዙ ወሳኝ የዋፈር ማምረቻ ደረጃዎች መካከል ትክክለኛ የመፈናቀል መለኪያ እጅግ በጣም አስፈላጊ ነው - የመጨረሻውን ቺፕ አፈፃፀም እና ምርት በቀጥታ ይነካል። በቻይና የኢንዱስትሪ ዳሰሳ ዘርፍ ውስጥ እንደ ፈጠራ መሪ፣ የማይክሮን-ደረጃ ጥራት፣ ብልህ ስልተ ቀመሮች እና የኢንዱስትሪ ደረጃ አስተማማኝነት ያላቸው የላንሴንሰር PDE ተከታታይ የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾች ለዋፈር ማምረቻ ሂደቶች ተመራጭ መፍትሄ ሆነው ብቅ ብለዋል።
በዋፈር ማምረቻ ውስጥ ትክክለኛ ተግዳሮቶች እና የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾች ጥቅሞች
የዋፈር ማምረቻ እንደ ፎቶሊቶግራፊ፣ ቅርፊት፣ ቀጭን ፊልም ክምችት እና ትስስር ያሉ ውስብስብ ሂደቶችን ያካትታል - እያንዳንዱም በማይክሮሜትር ወይም በናኖሜትር ደረጃ ጥብቅ ትክክለኛነትን ይፈልጋል። ለምሳሌ፡
-
በፎቶሊቶግራፊ፣ በፎቶማስክ እና በዋፈር መካከል ያለው ትክክለኛ አሰላለፍ በዋፈር ወለል ላይ ትክክለኛ የንድፍ ሽግግርን ለማረጋገጥ ወሳኝ ነው።
-
ቀጭን ፊልም በሚቀመጥበት ጊዜ የመሳሪያዎችን የኤሌክትሪክ አፈጻጸም ለማረጋገጥ የፊልም ውፍረት በትክክል መቆጣጠር አስፈላጊ ነው።
ትንሽ ልዩነት እንኳን የምርት ጉድለቶችን ሊያስከትል ወይም ሙሉውን የዋፈር ስብስብ እንኳን ጥቅም ላይ እንዳይውል ሊያደርግ ይችላል።
ባህላዊ የሜካኒካል መለኪያ ዘዴዎች ብዙውን ጊዜ እንደዚህ ያሉ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን ፍላጎቶች ለማሟላት አቅመ ቢስ ናቸው። ከዚህም በላይ፣ በቀላሉ የሚሰበር የዋፈር ወለልን ሊጎዱ ወይም ሊበክሉ ይችላሉ፣ ነገር ግን የዘገየ የምላሽ ፍጥነታቸው ለዘመናዊ የሜትሮሎጂ መስፈርቶች ብቁ እንዳይሆኑ ያደርጋቸዋል።
ላንባኦዳሳሽየPDE ተከታታይ የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾች፦ ለዋፈር አፕሊኬሽኖች ምርጡ መፍትሄ
◆እውቂያ ያልሆነ የሌዘር መለኪያ
የሌዘር ጨረር ፕሮጀክሽንን በዒላማ ቦታዎች ላይ ይጠቀማል፣ የተንፀባረቁ/የተበተኑ ምልክቶችን በመተንተን የመፈናቀያ መረጃን ለማግኘት - ከዋፈር ጋር አካላዊ ንክኪን በማስወገድ ሜካኒካል ጉዳትን እና የብክለት አደጋዎችን ይከላከላል።
◆የማይክሮን ደረጃ ትክክለኛነት
የላቀ የሌዘር ቴክኖሎጂ እና የምልክት ማቀነባበሪያ ስልተ ቀመሮች የማይክሮሜትር መለኪያ ትክክለኛነትን እና ጥራትን ያቀርባሉ፣ ይህም የዋፈር ማምረቻ ሂደቶችን ከፍተኛ ትክክለኛነት ፍላጎቶችን ያሟላል።
◆እጅግ በጣም ፈጣን ምላሽ (<10ms)
ተለዋዋጭ የምርት ልዩነቶችን በእውነተኛ ጊዜ መከታተል ያስችላል፣ ይህም የማኑፋክቸሪንግ ቅልጥፍናን ለማሻሻል ፈጣን የልዩነት መለየት እና እርማት ያስችላል።
◆ልዩ የቁሳቁስ ተኳሃኝነት
ለተለያዩ የሴሚኮንዳክተር ሂደት ደረጃዎች ተስማሚ የሆኑ የተለያዩ ቁሳቁሶችን እና የገጽታ ዓይነቶችን በጠንካራ የአካባቢ መላመድ የመለካት ችሎታ።
◆ውሱን የኢንዱስትሪ ዲዛይን
የታመቀው የቅርጽ ሁኔታ ወደ አውቶማቲክ መሳሪያዎች እና የቁጥጥር ስርዓቶች እንከን የለሽ ውህደትን ያመቻቻል፣ ይህም ብልህ የሂደት ክትትል እና የተዘጉ-ዑደት ማስተካከያ ያስችላል።
የአጠቃቀም ሁኔታዎችየPDE ተከታታይ የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾችበዋፈር ፕሮሰሲንግ ውስጥ
የላንባኦ ዳሳሽየPDE ተከታታይ የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾች፦ በዋፈር ማምረቻ ውስጥ ወሳኝ አፕሊኬሽኖች
እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም ያለው የላንሴንሰር PDE የሌዘር ማፈናቀል ዳሳሾች በተለያዩ የዋፈር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፡
◆የዋፈር አሰላለፍ እና አቀማመጥ
የማይክሮን ደረጃ ትክክለኛነትን ለሚጠይቁ የፎቶሊቶግራፊ እና የማሰሪያ ሂደቶች፣ የእኛ ዳሳሾች የዋፈር አቀማመጥን እና የማዘንበል ማዕዘኖችን በትክክል ይለካሉ፣ ይህም ፍጹም የሆነ የማስክ-ወደ-ዋፈር አሰላለፍ እና የማሰሪያ ክንድ አቀማመጥን ያረጋግጣል፣ ይህም የንድፍ ማስተላለፍ ትክክለኛነትን ያሻሽላል።
◆የዋፈር ውፍረት መለኪያ
በማጠራቀሚያ ሂደቶች ወቅት በእውነተኛ ጊዜ ክትትል የሚደረግበት የንክኪ-ያልሆነ ውፍረት መለኪያን ማንቃት፣ እና በጣም ጥሩ ቀጭን-ፊልም የጥራት ቁጥጥርን ማረጋገጥ።
◆የዋፈር ጠፍጣፋነት ምርመራ
ጉድለት ያለባቸው ዋፈሮች ወደ ታች እንዳይሄዱ ለመከላከል የዋፈር ዋርፔጅ እና የገጽታ መበላሸት በንዑስ ማይክሮን ጥራት መለየት።
◆ቀጭን-ፊልም ውፍረት ክትትል
ጥብቅ የኤሌክትሪክ አፈጻጸም ዝርዝሮችን ለመጠበቅ በCVD/PVD ሂደቶች ወቅት በእውነተኛ ጊዜ የተቀማጭነት ውፍረት ክትትልን መስጠት።
◆የገጽታ ጉድለት መለየት
ከፍተኛ ጥራት ባለው የመፈናቀል ካርታ አማካኝነት የማይክሮን-ስኬል የወለል ያልተለመዱ ነገሮችን (ጭረቶች፣ ቅንጣቶች) መለየት፣ የጉድለት መፈለጊያ መጠኖችን በእጅጉ ያሻሽላል።
◆የመሳሪያዎች ሁኔታ ክትትል
ለትንበያ ጥገና እና መረጋጋት ማመቻቸት ወሳኝ የሆኑ የክፍሎች መፈናቀሎችን (የሮቦት ክንዶች፣ የመድረክ እንቅስቃሴዎች) እና የማሽን ንዝረቶችን መከታተል።
የላንባኦ ሴንሰር PDE ተከታታይ በቻይና ከፍተኛ ደረጃ ባለው የኢንዱስትሪ ሴንሰር ገበያ ውስጥ ወሳኝ የቴክኖሎጂ ክፍተቶችን ከማስገባት ባለፈ፣ ልዩ አፈጻጸሙን በመጠቀም አዳዲስ ዓለም አቀፍ መመዘኛዎችን ያስቀምጣል። የምርት መጠንን ማሳደግ፣ የምርት ወጪዎችን መቀነስ ወይም የቀጣይ ትውልድ ሂደት ልማትን ማፋጠን ይሁን፣ የPDE ተከታታይ ትክክለኛ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ተግዳሮቶችን ለማሸነፍ እንደ የመጨረሻ መሳሪያዎ ይቆማል!
የፖስታ ሰዓት፡ ግንቦት-08-2025