ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ዛሬ ባለ ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ኢንዱስትሪ ውስጥ በጣም ትክክለኛ ከሚጠይቁ እና በቴክኖሎጂ ውስብስብ ከሆኑ መስኮች አንዱ ሆኖ ይቆማል። የቺፕ ሂደቶች ወደ 3nm እና ወደ ትናንሽ አንጓዎች እየገፉ ሲሄዱ፣ የዋፈር ውፍረት፣ የገጽታ ጠፍጣፋ እና የጥቃቅን መዋቅር ልኬቶች ትክክለኛነት የቺፕ ምርትን እና አፈፃፀምን በቀጥታ ይወስናል። በዚህ አውድ ውስጥ፣ የሌዘር ማፈናቀል ዳሳሾች፣ ግንኙነት በሌለበት አሠራራቸው፣ የላቀ ትክክለኛነት፣ ፈጣን ምላሽ ሰአቶች እና የተሻሻለ መረጋጋት በሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደት ውስጥ በጣም አስፈላጊ “የመለኪያ አይኖች” ሆነዋል።
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ማምረቻ ዋና አካል እንደመሆኑ መጠን ቫፈርስ በምርት ጊዜ እጅግ በጣም ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ያስፈልጋቸዋል። ከብዙዎቹ ወሳኝ የዋፈር ማምረቻ ደረጃዎች መካከል ትክክለኛው የመፈናቀል መለኪያ በጣም አስፈላጊ ነው—ይህ በቀጥታ የመጨረሻውን ቺፕ አፈጻጸም እና ምርት ላይ ተጽእኖ ያደርጋል። በቻይና የኢንደስትሪ ሴንሲንግ ዘርፍ የፈጠራ መሪ እንደመሆኖ፣ የላንስሶር PDE ተከታታይ የሌዘር ማፈናቀል ዳሳሾች፣ የማይክሮን ደረጃ መፍታት፣ የማሰብ ችሎታ ያላቸው ስልተ ቀመሮችን እና የኢንዱስትሪ ደረጃ አስተማማኝነትን የሚያሳይ ለዋፈር ማምረቻ ሂደቶች ተመራጭ መፍትሄ ሆኖ ተገኘ።
በዋፈር ማምረቻ ውስጥ ያሉ ትክክለኛ ተግዳሮቶች እና የሌዘር መፈናቀል ዳሳሾች ጥቅሞች
የዋፈር ማምረቻ እንደ ፎቶሊቶግራፊ፣ ኢቲችንግ፣ ስስ ፊልም አቀማመጥ እና ትስስር ያሉ ተከታታይ ውስብስብ ሂደቶችን ያካትታል - እያንዳንዱ በማይክሮሜትር አልፎ ተርፎም ናኖሜትር ደረጃ ላይ ጥብቅ ትክክለኛነትን ይፈልጋል። ለምሳሌ፡-
-
በፎቶሊቶግራፊ ውስጥ፣ በፎቶማስክ እና በዋፈር መካከል ትክክለኛ የስርዓተ-ጥለት ሽግግር በዋፈር ወለል ላይ በትክክል መተላለፉን ለማረጋገጥ ወሳኝ ነው።
-
ስስ-ፊልም በሚቀመጥበት ጊዜ የፊልም ውፍረት ትክክለኛ ቁጥጥር የመሳሪያዎችን የኤሌክትሪክ አሠራር ለማረጋገጥ አስፈላጊ ነው.
ትንሽ ልዩነት እንኳን ወደ የምርት ጉድለቶች ሊያመራ ወይም ሙሉውን የዋፍ መጋገሪያዎች ከጥቅም ውጭ ሊያደርግ ይችላል።
ባህላዊ የሜካኒካል የመለኪያ ዘዴዎች ብዙውን ጊዜ እንደዚህ ያሉ ከፍተኛ ትክክለኝነት ፍላጎቶችን በማሟላት ረገድ አጭር ይሆናሉ። ከዚህም በላይ ደካማ የሆነውን የዋፈር ወለልን የመጉዳት ወይም የመበከል አደጋ ያጋጥማቸዋል፣ ነገር ግን ቀርፋፋ የምላሽ ፍጥነታቸው ለከፍተኛ የሜትሮሎጂ መስፈርቶች በቂ እንዳይሆኑ ያደርጋቸዋል።
ላንባኦዳሳሽPDE ተከታታይ ሌዘር መፈናቀል ዳሳሾችለ Wafer መተግበሪያዎች በጣም ጥሩው መፍትሄ
◆የማይገናኝ ሌዘር መለኪያ
የመፈናቀያ መረጃን ለማግኘት የተንጸባረቀ/የተበታተኑ ምልክቶችን በመተንተን የሜካኒካል ጉዳት እና የብክለት አደጋዎችን ለመከላከል ከዋፋዎች ጋር አካላዊ ንክኪን ያስወግዳል።
◆የማይክሮን ደረጃ ትክክለኛነት
የላቀ የሌዘር ቴክኖሎጂ እና የምልክት ማቀናበሪያ ስልተ ቀመሮች የማይክሮሜትር መለኪያ ትክክለኛነትን እና መፍታትን፣ የዋፈር ማምረቻ ሂደቶችን እጅግ ትክክለኛ ፍላጎቶችን ያሟላሉ።
◆እጅግ በጣም ፈጣን ምላሽ (<10ms)
ተለዋዋጭ የምርት ልዩነቶችን በቅጽበት መከታተልን ያስችላል፣ ይህም የአመራረት ቅልጥፍናን ለማሻሻል ፈጣን መዛባትን መለየት እና እርማትን ይፈቅዳል።
◆ልዩ የቁሳቁስ ተኳኋኝነት
ለብዙ ሴሚኮንዳክተር ሂደት ደረጃዎች ተስማሚ የሆኑ የተለያዩ ቁሳቁሶችን እና የወለል ዓይነቶችን በጠንካራ የአካባቢ ተስማሚነት የመለካት ችሎታ።
◆የታመቀ የኢንዱስትሪ ንድፍ
የታመቀ ፎርም ፋክተር ወደ አውቶሜትድ መሳሪያዎች እና የቁጥጥር ስርዓቶች እንከን የለሽ ውህደትን ያመቻቻል ፣ ይህም የማሰብ ችሎታ ያለው የሂደት ክትትል እና የዝግ ዑደት ማስተካከልን ያስችላል።
የመተግበሪያ ሁኔታዎችPDE ተከታታይ ሌዘር መፈናቀል ዳሳሾችበ Wafer Processing
Lanbao ዳሳሽPDE ተከታታይ ሌዘር መፈናቀል ዳሳሾችበ Wafer ማምረቻ ውስጥ ወሳኝ መተግበሪያዎች
በልዩ አፈጻጸም፣ Lansensor PDE laser displacement sensors በበርካታ የዋፈር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ ወሳኝ ሚናዎችን ይጫወታሉ፡
◆የዋፈር አሰላለፍ እና አቀማመጥ
ለፎቶሊተግራፊ እና የማገናኘት ሂደቶች የማይክሮን ደረጃ ትክክለኝነትን ለሚሹ፣ የእኛ ዳሳሾች ፍፁም ጭንብል-ወደ-ዋፈር አሰላለፍ እና የመተሳሰሪያ ክንድ አቀማመጥ ለማረጋገጥ - የስርዓተ-ጥለት ማስተላለፍ ትክክለኛነትን ለማረጋገጥ የዋፈር ቦታን እና የታጠፈውን ማዕዘኖች በትክክል ይለካሉ።
◆Wafer ውፍረት ሜትሮሎጂ
በተቀማጭ ሂደቶች ወቅት የግንኙነት ያልሆነ ውፍረት መለካትን በእውነተኛ ጊዜ ክትትል ማንቃት፣ ጥሩ ቀጭን ፊልም የጥራት ቁጥጥርን ማረጋገጥ።
◆Wafer Flatness ፍተሻ
ጉድለት ያለበት ዋፈር ወደ ታችኛው ተፋሰስ እንዳይሄድ ለመከላከል በንዑስ ማይክሮን መፍታት የዋፈር ጦርነትን እና የገጽታ መበላሸትን መለየት።
◆ቀጭን-ፊልም ውፍረት ክትትል
ጥብቅ የኤሌክትሪክ አፈጻጸም ዝርዝሮችን ለመጠበቅ በCVD/PVD ሂደቶች የእውነተኛ ጊዜ የማስቀመጫ ውፍረት ክትትልን መስጠት።
◆የገጽታ ጉድለት ማወቂያ
ከፍተኛ ጥራት ባለው የመፈናቀል ካርታ ስራ የማይክሮን-ልኬት የገጽታ መዛባት (ቧጨራዎች፣ ቅንጣቶች) መለየት፣ ጉድለትን የመለየት ደረጃዎችን በእጅጉ ያሻሽላል።
◆የመሳሪያዎች ሁኔታ ክትትል
ለመተንበይ ጥገና እና መረጋጋት ማመቻቸት ወሳኝ አካላት መፈናቀሎችን (የሮቦት ክንዶች፣ የመድረክ እንቅስቃሴዎች) እና የማሽን ንዝረትን መከታተል።
የላንባኦ ሴንሰር PDE ተከታታይ በቻይና ከፍተኛ-ደረጃ ያለው የኢንዱስትሪ ሴንሰር ገበያ ላይ ወሳኝ የቴክኖሎጂ ክፍተቶችን ድልድይ ብቻ ሳይሆን ልዩ በሆነ አፈፃፀሙ አዲስ አለምአቀፍ መመዘኛዎችን አቋቁሟል። የምርት ዋጋን ማሳደግ፣ የምርት ወጪን በመቀነስ ወይም የቀጣይ-ጅን ሂደት እድገትን ማፋጠን፣ የPDE ተከታታይ ትክክለኛ ሴሚኮንዳክተር የማምረቻ ፈተናዎችን ለማሸነፍ እንደ የመጨረሻ መሳሪያዎ ይቆማል!
የልጥፍ ሰዓት፡- ግንቦት-08-2025