In die halfgeleiervervaardigingsektor is abnormale skyfiestapeling 'n ernstige produksieprobleem. Onverwagte stapeling van skyfies tydens die vervaardigingsproses kan lei tot toerustingskade en prosesfoute, en kan ook lei tot die massa-skrapping van produkte, wat aansienlike ekonomiese verliese vir ondernemings veroorsaak.
Met die voortdurende verfyning van halfgeleiervervaardigingsprosesse word hoër eise aan kwaliteitsbeheer tydens produksie gestel. Laserverplasingsensors, as 'n kontaklose, hoë-presisie meettegnologie, bied 'n effektiewe oplossing vir die opsporing van skyfiestapelingsafwykings met hul vinnige en akkurate opsporingsvermoëns.
Deteksiebeginsel en Anomalie-oordeellogika
In die halfgeleiervervaardigingsproses word skyfies tipies op draers of vervoerspore in 'n enkellaag, plat rangskikking geplaas. Op hierdie tydstip is die hoogte van die skyfie-oppervlak 'n voorafbepaalde basiswaarde, gewoonlik die som van die skyfiedikte en die draerhoogte. Wanneer skyfies per ongeluk gestapel word, sal hul oppervlakhoogte aansienlik toeneem. Hierdie verandering bied 'n belangrike basis vir die opsporing van stapelafwykings.
Vervoerspoorstapelingopsporing
Vervoerspore is kritieke kanale vir die beweging van skyfies tydens die vervaardigingsproses. Skyfies kan egter op die spore ophoop as gevolg van elektrostatiese adsorpsie of meganiese mislukkings tydens vervoer, wat lei tot spoorblokkasies. Sulke blokkasies kan nie net die produksievloei onderbreek nie, maar ook skyfies beskadig.
Om die onbelemmerde vloei van vervoerspore te monitor, kan laserverplasingsensors bo die spore ontplooi word om die hoogte van die spoordeursnit te skandeer. Indien die hoogte van 'n gelokaliseerde area abnormaal is (bv. hoër of laer as die dikte van 'n enkele laag skyfies), sal die sensors dit as 'n stapelblokkade bepaal en 'n alarmmeganisme aktiveer om operateurs in kennis te stel vir tydige hantering, wat 'n gladde produksievloei verseker.
Opsporingsproses
Lanbao-laserverplasingsensors meet die hoogte van teikenoppervlaktes akkuraat deur 'n laserstraal uit te stuur, die gereflekteerde sein te ontvang en die triangulasiemetode te gebruik.
Die sensor is vertikaal in lyn met die skyfie-opsporingsarea, en straal voortdurend 'n laser uit en ontvang die gereflekteerde sein. Tydens skyfievervoer kan die sensor intydse oppervlakhoogte-inligting verkry.
Die sensor gebruik 'n interne algoritme om die skyfie-oppervlakhoogtewaarde te bereken vanaf die verkrygde gereflekteerde sein. Om aan die hoëspoed-oordragvereistes van halfgeleierproduksielyne te voldoen, vereis dit dat die sensor beide hoë presisie en 'n hoë monsterfrekwensie besit.
'n Toelaatbare hoogtevariasiebereik word gestel, tipies ±30 µm vanaf die basislynhoogte. Indien die gemete waarde hierdie drempelreeks oorskry, word dit as 'n stapelingsafwyking bepaal. Hierdie drempelbepalingslogika kan effektief onderskei tussen normale enkellaag-skyfies en gestapelde skyfies.
By die opsporing van 'n stapelafwyking, aktiveer die sensor 'n hoorbare en visuele alarm, en aktiveer gelyktydig 'n robotarm om die abnormale plek te verwyder, of pouseer die produksielyn om verdere agteruitgang van die situasie te voorkom. Hierdie vinnige reaksiemeganisme verminder verliese wat deur stapelafwykings veroorsaak word tot die grootste mate.
Intydse, hoë-presisie opsporing van skyfie stapel abnormaliteite met behulp van laser verplasing sensors kan die betroubaarheid en opbrengs van halfgeleier produksielyne aansienlik verbeter. Met voortdurende tegnologiese vooruitgang sal laser verplasing sensors 'n selfs groter rol in halfgeleiervervaardiging speel, wat sterk ondersteuning bied vir die bedryf se volhoubare ontwikkeling.
Plasingstyd: 25 Maart 2025