In die halfgeleiervervaardigingsektor is abnormale skyfies op die produksie 'n ernstige produksieprobleem. Onverwagte stapel van skyfies tydens die vervaardigingsproses kan lei tot skade aan toerusting en prosessoues, en dit kan ook lei tot die massa -skrap van produkte, wat aansienlike ekonomiese verliese vir ondernemings veroorsaak.
Met die voortdurende verfyning van halfgeleiervervaardigingsprosesse, word hoër eise tydens die produksie aan kwaliteitskontrole gestel. Laserverplasingssensors, as 'n nie-kontak, metingstegnologie met 'n hoë presisie, bied 'n effektiewe oplossing vir die opsporing van abnormaliteite met die stapel van skyfies met hul vinnige en akkurate opsporingsvermoë.
Opsporingsbeginsel en anomalie -oordeellogika
In die halfgeleiervervaardigingsproses word skyfies gewoonlik op draers of vervoerspore geplaas in 'n enkellaag, plat rangskikking. Op hierdie tydstip is die hoogte van die chipoppervlak 'n vooraf ingestelde basislynwaarde, meestal die som van die chipdikte en die draerhoogte. As skyfies per ongeluk opgestapel word, sal hul oppervlakhoogte aansienlik toeneem. Hierdie verandering bied 'n belangrike basis vir die opsporing van stapelafwykings.
Vervoerspoorstapelopsporing
Vervoerspore is kritieke kanale vir skyfbeweging tydens die vervaardigingsproses. Skyfies kan egter op die spore ophoop as gevolg van elektrostatiese adsorpsie of meganiese mislukkings tydens vervoer, wat lei tot spoorblokkerings. Sulke verstoppings kan nie net die produksievloei onderbreek nie, maar ook skyfies beskadig.
Om die onbelemmerde vloei van vervoerspore te monitor, kan laserverplasings sensors bo die spore ontplooi word om die hoogte van die baan dwarssnit te skandeer. As die hoogte van 'n gelokaliseerde gebied abnormaal is (bv. Hoër of laer as die dikte van 'n enkele laag skyfies), sal die sensors dit as 'n stapelblokkering bepaal en 'n alarmmeganisme aktiveer om operateurs in kennis te stel vir tydige hantering, wat die produksie van die produksie verseker.
Opsporingsproses
Lanbao -laserverplasingsensors meet die hoogte van die teikenoppervlaktes akkuraat deur 'n laserstraal uit te stuur, die weerkaatsde sein te ontvang en die triangulasiemetode te gebruik.
Die sensor is vertikaal in lyn met die spaanderopsporingsarea, wat voortdurend 'n laser uitstraal en die weerkaatsde sein ontvang. Tydens chipvervoer kan die sensor intydse inligting oor oppervlakhoogte bekom.
Die sensor gebruik 'n interne algoritme om die skyfhoogte -waarde van die verworwe gereflekteerde sein te bereken. Om aan die hoëspoed-oordragvereistes van halfgeleierproduksielyne te voldoen, noodsaak dit dat die sensor beide hoë presisie en 'n hoë monsterfrekwensie het.
'N Toelaatbare hoogte -variasiebereik word gestel, tipies ± 30 μm van die basislynhoogte. As die gemete waarde hierdie drempelbereik oorskry, word dit bepaal dat dit 'n stapelafwyking is. Hierdie drempelbepaling-logika kan effektief onderskei tussen normale enkellaag-skyfies en opgestapelde skyfies.
By die opsporing van 'n stapelafwyking veroorsaak die sensor 'n hoorbare en visuele alarm, en aktiveer dit terselfdertyd 'n robotarm om die abnormale ligging te verwyder, of hou die produksielyn stil om die situasie verder te laat agteruitgaan. Hierdie vinnige reaksiemeganisme verminder die verliese wat veroorsaak word deur abnormaliteite in die grootste mate te stapel.
Intydse, hoë-presisie-opsporing van skyfies wat abnormaliteite stapel met behulp van laserverplasingssensors kan die betroubaarheid en opbrengs van halfgeleierproduksielyne aansienlik verbeter. Met deurlopende tegnologiese vooruitgang, sal laserverplasings sensors 'n nog groter rol speel in die vervaardiging van halfgeleiers, wat sterk steun bied vir die volhoubare ontwikkeling van die bedryf.
Postyd: MAR-25-2025