Nínú ẹ̀ka iṣẹ́ amúṣẹ́dá semiconductor, àìṣedéédé ìdìpọ̀ ërún jẹ́ ìṣòro iṣẹ́ amúṣẹ́dá tó le gan-an. Ìdìpọ̀ ërún tí a kò retí nígbà iṣẹ́ amúṣẹ́dá lè fa ìbàjẹ́ ẹ̀rọ àti ìkùnà iṣẹ́, ó sì tún lè fa pípa àwọn ọjà run, èyí tí ó lè fa àdánù ọrọ̀ ajé ńlá fún àwọn ilé-iṣẹ́.
Pẹ̀lú àtúnṣe tí a ń ṣe sí àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor nígbà gbogbo, àwọn ìbéèrè gíga ni a gbé kalẹ̀ lórí ìṣàkóso dídára nígbà ìṣelọ́pọ́. Àwọn sensọ̀ ìyípadà léésà, gẹ́gẹ́ bí ìmọ̀-ẹ̀rọ ìwọ̀n tí kò ní ìfọwọ́kàn, tí ó ga jùlọ, ń pèsè ojútùú tí ó munadoko fún wíwá àwọn àìlera ìdìpọ̀ ërún pẹ̀lú agbára ìwádìí wọn kíákíá àti pípéye.
Ilana Iwari ati Aṣiṣe Idajọ
Nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor, a sábà máa ń gbé àwọn ërún sí orí àwọn ọkọ̀ tàbí àwọn ipa ọ̀nà ìrìnnà ní ìpele kan ṣoṣo, tí ó tẹ́jú. Ní àkókò yìí, gíga ojú ërún jẹ́ iye ìpìlẹ̀ tí a ti ṣètò tẹ́lẹ̀, ní gbogbogbòò àròpọ̀ ìfúnpọ̀ ërún àti gíga ẹ́rù. Nígbà tí a bá kó àwọn ërún jọ láìròtẹ́lẹ̀, gíga ojú wọn yóò pọ̀ sí i gidigidi. Ìyípadà yìí pèsè ìpìlẹ̀ pàtàkì fún wíwá àwọn àìlera ìdìpọ̀.
Ṣíṣàwárí Ìkójọpọ̀ Ọ̀nà Ìrìnnà
Àwọn ipa ọ̀nà ìrìnàjò jẹ́ àwọn ọ̀nà pàtàkì fún ìṣíkiri ërún nígbà iṣẹ́ ìṣẹ̀dá. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn ërún lè kórajọ lórí ipa ọ̀nà nítorí ìfàmọ́ra electrostatic tàbí ìkùnà ẹ̀rọ nígbà ìrìnàjò, èyí tí ó ń yọrí sí ìdènà ipa ọ̀nà. Irú àwọn ìdènà bẹ́ẹ̀ kìí ṣe pé ó lè dá ìṣàn iṣẹ́ sílẹ̀ nìkan ni, ṣùgbọ́n ó tún lè ba àwọn ërún jẹ́.
Láti ṣe àkíyèsí ìṣàn ọkọ̀ tí kò ní ìdènà, a lè gbé àwọn sensọ̀ ìyípadà léésà sókè àwọn ipa ọ̀nà láti wo gíga apá ìkọjá ipa ọ̀nà náà. Tí gíga agbègbè kan bá jẹ́ àìdára (fún àpẹẹrẹ, gíga tàbí ìsàlẹ̀ ju sísanra ti ìpele kan ṣoṣo ti àwọn eerun), àwọn sensọ̀ náà yóò pinnu rẹ̀ gẹ́gẹ́ bí ìdènà ìdìpọ̀ wọ́n yóò sì fa ẹ̀rọ ìkìlọ̀ láti fi tó àwọn olùṣiṣẹ́ létí fún ìtọ́jú ní àkókò, ní rírí i dájú pé ìṣàn iṣẹ́ náà rọrùn.
Ilana Iwari
Àwọn sensọ̀ ìyípadà lésà Lanbao ń wọn gíga àwọn ojú ibi tí a fojú sí dáadáa nípa fífi ìtànṣán lésà jáde, gbígbà àmì tí ó fara hàn, àti lílo ọ̀nà ìyípo mẹ́ta.
Sensọ naa wa ni ipo inaro pẹlu agbegbe wiwa chip naa, o n jade lesa nigbagbogbo o si n gba ifihan agbara ti o han. Lakoko gbigbe chip naa, sensọ naa le gba alaye giga oju ilẹ ni akoko gidi.
Sensọ naa lo alugoridimu inu lati ṣe iṣiro iye giga oju ilẹ ërún lati ifihan ifihan ti a gba. Lati pade awọn ibeere gbigbe iyara giga ti awọn laini iṣelọpọ semiconductor, eyi nilo pe sensọ naa ni deede giga ati igbohunsafẹfẹ ayẹwo giga.
A ṣeto iwọn iyipada giga ti a gba laaye, ni deede ±30 µm lati giga ipilẹ. Ti iye ti a wọn ba kọja iwọn opin yii, a pinnu pe o jẹ aiṣedeede titopọ. Imọye ipinnu opin yii le ṣe iyatọ laarin awọn eerun fẹlẹfẹlẹ kan deede ati awọn eerun titopọ.
Nígbà tí wọ́n bá rí àìlera ìdìpọ̀, sensọ̀ náà máa ń mú kí ìró ohùn àti ìríran bẹ̀rẹ̀ sí í dún, ó sì máa ń mú kí apá roboti kan ṣiṣẹ́ láti yọ ibi tí kò dára kúrò, tàbí kí ó dá ìlà ìṣẹ̀dá dúró láti dènà ìbàjẹ́ sí i. Ọ̀nà ìdáhùn kíákíá yìí máa ń dín àdánù tí ìdìpọ̀ àìlera ń fà kù dé ìwọ̀n tó pọ̀ jùlọ.
Àwárí tó péye ní àkókò gidi nípa lílo àwọn sensọ̀ ìyípadà lésà lè mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé àti ìwúwo àwọn ìlà iṣẹ́ semiconductor pọ̀ sí i gidigidi. Pẹ̀lú ìlọsíwájú ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ń tẹ̀síwájú, àwọn sensọ̀ ìyípadà lésà yóò kó ipa tó ga jù nínú iṣẹ́ semiconductor, èyí tó ń pèsè ìtìlẹ́yìn tó lágbára fún ìdàgbàsókè tó pẹ́ títí ní ilé iṣẹ́ náà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-25-2025



