Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sektorida chiplarni g'ayritabiiy tarzda joylashtirish jiddiy ishlab chiqarish muammosi hisoblanadi. Ishlab chiqarish jarayonida chiplarni kutilmaganda joylashtirish uskunalarning shikastlanishiga va jarayonning ishdan chiqishiga olib kelishi mumkin, shuningdek, mahsulotlarning ommaviy ravishda chiqindiga chiqarilishiga olib kelishi mumkin, bu esa korxonalar uchun katta iqtisodiy yo'qotishlarga olib keladi.
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayonlarini doimiy ravishda takomillashtirish bilan ishlab chiqarish jarayonida sifat nazoratiga yuqori talablar qo'yiladi. Lazerli siljish sensorlari, kontaktsiz, yuqori aniqlikdagi o'lchash texnologiyasi sifatida, tez va aniq aniqlash qobiliyatlari bilan chiplarni yig'ish anomaliyalarini aniqlash uchun samarali yechimni taqdim etadi.
Aniqlash printsipi va anomaliyani baholash mantig'i
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida chiplar odatda tashuvchilarga yoki transport yo'llariga bir qavatli, tekis joylashtirilgan holda joylashtiriladi. Bu vaqtda chip yuzasining balandligi oldindan belgilangan asosiy qiymat bo'lib, odatda chip qalinligi va tashuvchi balandligining yig'indisidir. Chiplar tasodifan ustma-ust qo'yilganda, ularning sirt balandligi sezilarli darajada oshadi. Bu o'zgarish ustma-ust qo'yilish anomaliyalarini aniqlash uchun muhim asos yaratadi.
Transport yo'llarini joylashtirishni aniqlash
Transport yo'llari ishlab chiqarish jarayonida chiplarning harakatlanishi uchun muhim kanallardir. Biroq, elektrostatik adsorbsiya yoki tashish paytida mexanik nosozliklar tufayli chiplar yo'llarda to'planishi mumkin, bu esa yo'llarning tiqilib qolishiga olib keladi. Bunday tiqilib qolishlar nafaqat ishlab chiqarish oqimini to'xtatishi, balki chiplarga ham zarar yetkazishi mumkin.
Transport yo'llarining to'siqsiz oqimini kuzatish uchun, yo'l kesimining balandligini skanerlash uchun lazer siljish sensorlarini yo'llar ustiga joylashtirish mumkin. Agar mahalliylashtirilgan maydonning balandligi g'ayritabiiy bo'lsa (masalan, chiplarning bir qatlamining qalinligidan yuqori yoki pastroq), sensorlar buni ustma-ust tushish bloklanishi sifatida aniqlaydi va operatorlarga o'z vaqtida ishlov berish haqida xabar berish uchun signal mexanizmini ishga tushiradi, bu esa ishlab chiqarishning uzluksiz oqimini ta'minlaydi.
Aniqlash jarayoni
Lanbao lazer siljish sensorlari lazer nurini chiqarish, aks ettirilgan signalni qabul qilish va triangulyatsiya usulidan foydalanib, nishon sirtlarining balandligini aniq o'lchaydi.
Sensor chipni aniqlash maydoni bilan vertikal ravishda hizalanadi, doimiy ravishda lazer chiqaradi va aks ettirilgan signalni qabul qiladi. Chipni tashish paytida sensor real vaqt rejimida sirt balandligi haqida ma'lumot olishi mumkin.
Sensor olingan aks ettirilgan signaldan chip sirt balandligi qiymatini hisoblash uchun ichki algoritmdan foydalanadi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish liniyalarining yuqori tezlikdagi uzatish talablarini qondirish uchun sensor ham yuqori aniqlikka, ham yuqori namuna olish chastotasiga ega bo'lishi kerak.
Ruxsat etilgan balandlik o'zgarishi diapazoni o'rnatiladi, odatda bazaviy balandlikdan ±30 µm. Agar o'lchangan qiymat ushbu chegara oralig'idan oshsa, bu ustma-ust tushish anomaliyasi deb aniqlanadi. Ushbu chegara aniqlash mantig'i oddiy bir qavatli chiplar va ustma-ust tushgan chiplarni samarali ravishda farqlashi mumkin.
Ustunlash anomaliyasini aniqlagandan so'ng, sensor ovozli va vizual signalni ishga tushiradi va bir vaqtning o'zida g'ayritabiiy joyni olib tashlash uchun robot qo'lini ishga tushiradi yoki vaziyatning yanada yomonlashishiga yo'l qo'ymaslik uchun ishlab chiqarish liniyasini to'xtatadi. Ushbu tezkor javob mexanizmi stunlash anomaliyalari tufayli yuzaga keladigan yo'qotishlarni maksimal darajada kamaytiradi.
Lazerli siljish sensorlari yordamida chiplarni yig'ish anomaliyalarini real vaqt rejimida, yuqori aniqlikda aniqlash yarimo'tkazgich ishlab chiqarish liniyalarining ishonchliligi va samaradorligini sezilarli darajada oshirishi mumkin. Uzluksiz texnologik yutuqlar bilan lazerli siljish sensorlari yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda yanada katta rol o'ynaydi va sanoatning barqaror rivojlanishini kuchli qo'llab-quvvatlaydi.
Nashr vaqti: 2025-yil 25-mart