Yarı iletken üretim sektöründe, anormal yonga istiflenmesi ciddi bir üretim sorunudur. Üretim süreci sırasında yongaların beklenmedik şekilde istiflenmesi, ekipman hasarına ve proses arızalarına yol açabileceği gibi, ürünlerin toplu olarak hurdaya ayrılmasına da neden olarak işletmeler için önemli ekonomik kayıplara yol açabilir.
Yarı iletken üretim süreçlerinin sürekli iyileştirilmesiyle birlikte, üretim sırasında kalite kontrolüne yönelik talepler de artmaktadır. Temassız, yüksek hassasiyetli bir ölçüm teknolojisi olan lazer deplasman sensörleri, hızlı ve doğru tespit yetenekleriyle çip istifleme anormalliklerinin tespiti için etkili bir çözüm sunmaktadır.
Algılama İlkesi ve Anomali Yargılama Mantığı
Yarı iletken üretim sürecinde, yongalar genellikle tek katmanlı, düz bir düzende taşıyıcılara veya taşıma raylarına yerleştirilir. Bu aşamada, yonga yüzey yüksekliği, genellikle yonga kalınlığı ve taşıyıcı yüksekliğinin toplamı olan önceden belirlenmiş bir temel değerdir. Yongalar yanlışlıkla üst üste bindirildiğinde, yüzey yükseklikleri önemli ölçüde artar. Bu değişiklik, istifleme anormalliklerinin tespiti için kritik bir temel oluşturur.
Taşıma Rayı İstifleme Algılama
Taşıma rayları, üretim sürecinde talaş hareketi için kritik kanallardır. Ancak, taşıma sırasında elektrostatik adsorpsiyon veya mekanik arızalar nedeniyle talaşlar raylarda birikerek ray tıkanıklıklarına yol açabilir. Bu tıkanıklıklar, üretim akışını kesintiye uğratmakla kalmayıp talaşlara da zarar verebilir.
Taşıma raylarının engelsiz akışını izlemek için, ray kesitinin yüksekliğini taramak üzere rayların üzerine lazer deplasman sensörleri yerleştirilebilir. Belirli bir alanın yüksekliği anormal ise (örneğin, tek bir yonga katmanının kalınlığından daha yüksek veya daha düşükse), sensörler bunu istifleme tıkanıklığı olarak algılayacak ve operatörleri zamanında işlem yapmaları için uyaran bir alarm mekanizmasını tetikleyerek sorunsuz bir üretim akışı sağlayacaktır.
Tespit Süreci
Lanbao lazer yer değiştirme sensörleri, lazer ışını yayarak, yansıyan sinyali alarak ve üçgenleme yöntemini kullanarak hedef yüzeylerin yüksekliğini hassas bir şekilde ölçer.
Sensör, çip algılama alanıyla dikey olarak hizalanmış olup, sürekli olarak bir lazer yayar ve yansıyan sinyali alır. Çip taşıma sırasında sensör, gerçek zamanlı yüzey yüksekliği bilgisi alabilir.
Sensör, elde edilen yansıyan sinyalden çip yüzey yüksekliği değerini hesaplamak için dahili bir algoritma kullanır. Yarı iletken üretim hatlarının yüksek hızlı aktarım taleplerini karşılamak için, sensörün hem yüksek hassasiyete hem de yüksek örnekleme frekansına sahip olması gerekir.
Genellikle başlangıç yüksekliğinden ±30 µm uzaklıkta izin verilen bir yükseklik değişim aralığı belirlenir. Ölçülen değer bu eşik aralığını aşarsa, istifleme anormalliği olduğu belirlenir. Bu eşik belirleme mantığı, normal tek katmanlı yongalar ile istiflenmiş yongalar arasında etkili bir şekilde ayrım yapabilir.
İstiflemede bir anormallik tespit edildiğinde, sensör sesli ve görsel bir alarm tetikler ve aynı anda anormal konumu ortadan kaldırmak için bir robotik kolu harekete geçirir veya durumun daha da kötüleşmesini önlemek için üretim hattını durdurur. Bu hızlı tepki mekanizması, istifleme anormalliklerinden kaynaklanan kayıpları en aza indirir.
Lazer yer değiştirme sensörleri kullanılarak çip istifleme anormalliklerinin gerçek zamanlı ve yüksek hassasiyetle tespiti, yarı iletken üretim hatlarının güvenilirliğini ve verimini önemli ölçüde artırabilir. Sürekli teknolojik gelişmelerle birlikte, lazer yer değiştirme sensörleri yarı iletken üretiminde daha da büyük bir rol oynayacak ve sektörün sürdürülebilir gelişimine güçlü bir destek sağlayacaktır.
Gönderi zamanı: 25 Mart 2025