Yarı iletken üretim sektöründe, anormal çip istifleme ciddi bir üretim sorunudur. Üretim süreci sırasında çiplerin beklenmedik şekilde istiflenmesi ekipman hasarına ve süreç arızalarına yol açabilir ve ayrıca ürünlerin toplu olarak hurdaya çıkarılmasıyla sonuçlanarak işletmeler için önemli ekonomik kayıplara neden olabilir.
Yarı iletken üretim süreçlerinin sürekli iyileştirilmesiyle, üretim sırasında kalite kontrolüne yönelik daha yüksek talepler ortaya çıkmaktadır. Temassız, yüksek hassasiyetli bir ölçüm teknolojisi olan lazer yer değiştirme sensörleri, hızlı ve doğru tespit yetenekleriyle çip istifleme anormalliklerini tespit etmek için etkili bir çözüm sunmaktadır.
Algılama İlkesi ve Anomali Yargılama Mantığı
Yarı iletken üretim sürecinde, yongalar genellikle tek katmanlı, düz bir düzenlemede taşıyıcılara veya taşıma raylarına yerleştirilir. Bu sırada, yonga yüzeyinin yüksekliği önceden belirlenmiş bir temel değerdir, genellikle yonga kalınlığının ve taşıyıcı yüksekliğinin toplamıdır. Yongalar yanlışlıkla istiflendiğinde, yüzey yükseklikleri önemli ölçüde artacaktır. Bu değişiklik, istifleme anormalliklerini tespit etmek için önemli bir temel sağlar.
Taşıma Parçası Yığınlama Algılama
Taşıma rayları, üretim süreci sırasında talaş hareketi için kritik kanallardır. Ancak, talaşlar taşıma sırasında elektrostatik adsorpsiyon veya mekanik arızalar nedeniyle raylarda birikebilir ve bu da ray tıkanıklıklarına yol açabilir. Bu tür tıkanıklıklar yalnızca üretim akışını kesintiye uğratmakla kalmaz, aynı zamanda talaşlara da zarar verebilir.
Taşıma raylarının engelsiz akışını izlemek için rayların üzerine lazer yer değiştirme sensörleri yerleştirilebilir ve ray kesitinin yüksekliğini tarayabilirler. Yerelleştirilmiş bir alanın yüksekliği anormalse (örneğin, tek bir yonga katmanının kalınlığından daha yüksek veya daha düşükse), sensörler bunu bir istifleme tıkanıklığı olarak belirleyecek ve operatörlere zamanında elleçleme için bildirimde bulunmak üzere bir alarm mekanizmasını tetikleyecek ve sorunsuz üretim akışı sağlayacaktır.
Tespit Süreci
Lanbao lazer yer değiştirme sensörleri, lazer ışını yayarak, yansıyan sinyali alarak ve üçgenleme yöntemini kullanarak hedef yüzeylerin yüksekliğini doğru bir şekilde ölçer.
Sensör, çip algılama alanıyla dikey olarak hizalanır, sürekli olarak bir lazer yayar ve yansıyan sinyali alır. Çip taşıma sırasında, sensör gerçek zamanlı yüzey yüksekliği bilgisini edinebilir.
Sensör, elde edilen yansıyan sinyalden çip yüzey yüksekliği değerini hesaplamak için dahili bir algoritma kullanır. Yarı iletken üretim hatlarının yüksek hızlı transfer taleplerini karşılamak için, sensörün hem yüksek hassasiyete hem de yüksek örnekleme frekansına sahip olması gerekir.
Tipik olarak temel yükseklikten ±30 µm olan izin verilen bir yükseklik varyasyon aralığı ayarlanır. Ölçülen değer bu eşik aralığını aşarsa, bunun bir istifleme anormalliği olduğu belirlenir. Bu eşik belirleme mantığı, normal tek katmanlı yongalar ile istiflenmiş yongalar arasında etkili bir şekilde ayrım yapabilir.
Yığınlama anormalliği tespit edildiğinde, sensör sesli ve görsel bir alarm tetikler ve aynı anda anormal konumu kaldırmak için bir robotik kolu etkinleştirir veya durumun daha fazla kötüleşmesini önlemek için üretim hattını duraklatır. Bu hızlı yanıt mekanizması, yığınlama anormalliklerinin neden olduğu kayıpları en üst düzeyde en aza indirir.
Lazer yer değiştirme sensörleri kullanılarak çip istifleme anormalliklerinin gerçek zamanlı, yüksek hassasiyetli tespiti, yarı iletken üretim hatlarının güvenilirliğini ve verimini önemli ölçüde iyileştirebilir. Sürekli teknolojik gelişmelerle birlikte, lazer yer değiştirme sensörleri yarı iletken üretiminde daha da büyük bir rol oynayacak ve sektörün sürdürülebilir gelişimi için güçlü destek sağlayacaktır.
Gönderi zamanı: Mar-25-2025