Yarı iletken üretim sektöründe, anormal çip istiflenmesi ciddi bir üretim sorunudur. Üretim sürecinde çiplerin beklenmedik şekilde istiflenmesi, ekipman hasarına ve süreç arızalarına yol açabileceği gibi, ürünlerin toplu olarak hurdaya çıkarılmasına da neden olarak işletmeler için önemli ekonomik kayıplara yol açabilir.
Yarı iletken üretim süreçlerinin sürekli olarak geliştirilmesiyle, üretim sırasında kalite kontrolüne yönelik talepler de artmaktadır. Temassız, yüksek hassasiyetli bir ölçüm teknolojisi olan lazer yer değiştirme sensörleri, hızlı ve doğru algılama yetenekleriyle çip istifleme anormalliklerini tespit etmek için etkili bir çözüm sunmaktadır.
Tespit Prensibi ve Anormallik Değerlendirme Mantığı
Yarı iletken üretim sürecinde, çipler genellikle tek katmanlı, düz bir düzenlemeyle taşıyıcılar veya iletim yolları üzerine yerleştirilir. Bu aşamada, çip yüzeyinin yüksekliği önceden belirlenmiş bir temel değerdir ve genellikle çip kalınlığı ile taşıyıcı yüksekliğinin toplamıdır. Çipler yanlışlıkla üst üste istiflendiğinde, yüzey yükseklikleri önemli ölçüde artar. Bu değişiklik, istifleme anormalliklerini tespit etmek için çok önemli bir temel oluşturur.
Taşıma Hattı İstifleme Tespiti
Taşıma hatları, üretim sürecinde çiplerin hareketinde kritik öneme sahip kanallardır. Ancak, taşıma sırasında elektrostatik adsorpsiyon veya mekanik arızalar nedeniyle çipler hatlar üzerinde birikebilir ve hat tıkanmalarına yol açabilir. Bu tür tıkanmalar yalnızca üretim akışını kesintiye uğratmakla kalmaz, aynı zamanda çiplere de zarar verebilir.
Taşıma hatlarının engelsiz akışını izlemek için, hatların üzerine lazer yer değiştirme sensörleri yerleştirilerek hat kesitinin yüksekliği taranabilir. Belirli bir bölgenin yüksekliği anormal ise (örneğin, tek bir yonga katmanının kalınlığından daha yüksek veya daha düşükse), sensörler bunu bir istifleme tıkanıklığı olarak belirleyecek ve operatörleri zamanında müdahale etmeleri için uyaran bir alarm mekanizmasını tetikleyerek sorunsuz üretim akışını sağlayacaktır.
Algılama Süreci
Lanbao lazerli yer değiştirme sensörleri, lazer ışını yayarak, yansıyan sinyali alarak ve üçgenleme yöntemini kullanarak hedef yüzeylerin yüksekliğini doğru bir şekilde ölçer.
Sensör, çip algılama alanıyla dikey olarak hizalanmıştır, sürekli olarak lazer ışını yayar ve yansıyan sinyali alır. Çip taşınması sırasında sensör, gerçek zamanlı yüzey yüksekliği bilgisini elde edebilir.
Sensör, elde edilen yansıtılan sinyalden çip yüzey yüksekliği değerini hesaplamak için dahili bir algoritma kullanır. Yarı iletken üretim hatlarının yüksek hızlı aktarım taleplerini karşılamak için, sensörün hem yüksek hassasiyete hem de yüksek örnekleme frekansına sahip olması gerekir.
Genellikle taban yüksekliğinden ±30 µm'lik bir izin verilen yükseklik varyasyon aralığı belirlenir. Ölçülen değer bu eşik aralığını aşarsa, istifleme anormalliği olarak belirlenir. Bu eşik belirleme mantığı, normal tek katmanlı çipler ile istiflenmiş çipler arasında etkili bir şekilde ayrım yapabilir.
İstifleme anormalliği tespit edildiğinde, sensör sesli ve görsel bir alarm verir ve aynı anda anormal bölgeyi kaldırmak için bir robot kolunu harekete geçirir veya durumun daha da kötüleşmesini önlemek için üretim hattını durdurur. Bu hızlı tepki mekanizması, istifleme anormalliklerinden kaynaklanan kayıpları en büyük ölçüde en aza indirir.
Lazer yer değiştirme sensörleri kullanılarak çip istifleme anormalliklerinin gerçek zamanlı ve yüksek hassasiyetli tespiti, yarı iletken üretim hatlarının güvenilirliğini ve verimliliğini önemli ölçüde artırabilir. Sürekli teknolojik gelişmelerle birlikte, lazer yer değiştirme sensörleri yarı iletken üretiminde daha da büyük bir rol oynayacak ve sektörün sürdürülebilir gelişimine güçlü bir destek sağlayacaktır.
Yayın tarihi: 25 Mart 2025