தீர்வு: செமிகண்டக்டர் சிப் அசாதாரண ஸ்டேக்கிங் கண்டறிதலில் லான்பாவோ பிடிஏ லேசர் இடப்பெயர்ச்சி சென்சாரின் பயன்பாடு

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், அசாதாரண சிப் ஸ்டாக்கிங் ஒரு கடுமையான உற்பத்திப் பிரச்சினையாகும். உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது எதிர்பாராத விதமாக சில்லுகளை அடுக்கி வைப்பது உபகரணங்கள் சேதம் மற்றும் செயல்முறை தோல்விகளுக்கு வழிவகுக்கும், மேலும் தயாரிப்புகள் பெருமளவில் துண்டிக்கப்படுவதற்கும், நிறுவனங்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க பொருளாதார இழப்புகளுக்கும் வழிவகுக்கும்.

微信图片_20250325130827

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் தொடர்ச்சியான சுத்திகரிப்புடன், உற்பத்தியின் போது தரக் கட்டுப்பாட்டில் அதிக கோரிக்கைகள் வைக்கப்படுகின்றன. லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள், தொடர்பு இல்லாத, உயர்-துல்லிய அளவீட்டு தொழில்நுட்பமாக, அவற்றின் விரைவான மற்றும் துல்லியமான கண்டறிதல் திறன்களுடன் சிப் ஸ்டேக்கிங் அசாதாரணங்களைக் கண்டறிவதற்கான பயனுள்ள தீர்வை வழங்குகின்றன.

கண்டறிதல் கொள்கை மற்றும் ஒழுங்கின்மை தீர்ப்பு தர்க்கம்

微信图片_20250325130834

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், சில்லுகள் பொதுவாக கேரியர்கள் அல்லது போக்குவரத்து தடங்களில் ஒற்றை அடுக்கு, தட்டையான ஏற்பாட்டில் வைக்கப்படுகின்றன. இந்த நேரத்தில், சில்லு மேற்பரப்பின் உயரம் முன்னமைக்கப்பட்ட அடிப்படை மதிப்பாகும், பொதுவாக சில்லு தடிமன் மற்றும் கேரியர் உயரத்தின் கூட்டுத்தொகை. சில்லுகள் தற்செயலாக அடுக்கி வைக்கப்படும்போது, ​​அவற்றின் மேற்பரப்பு உயரம் கணிசமாக அதிகரிக்கும். இந்த மாற்றம் அடுக்கி வைக்கும் அசாதாரணங்களைக் கண்டறிவதற்கான ஒரு முக்கியமான அடிப்படையை வழங்குகிறது.

போக்குவரத்துப் பாதை அடுக்கி வைப்பதைக் கண்டறிதல்

微信图片_20250325130838

உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது சில்லு இயக்கத்திற்கு போக்குவரத்துத் தடங்கள் முக்கியமான சேனல்களாகும். இருப்பினும், போக்குவரத்தின் போது மின்னியல் உறிஞ்சுதல் அல்லது இயந்திரக் கோளாறுகள் காரணமாக தண்டவாளங்களில் சில்லுகள் குவிந்து, தண்டவாள அடைப்புகளுக்கு வழிவகுக்கும். இத்தகைய அடைப்புகள் உற்பத்தி ஓட்டத்தை குறுக்கிடுவது மட்டுமல்லாமல், சில்லுகளையும் சேதப்படுத்தும்.

போக்குவரத்து தடங்களின் தடையற்ற ஓட்டத்தைக் கண்காணிக்க, தடங்களின் குறுக்குவெட்டின் உயரத்தை ஸ்கேன் செய்ய லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகளைப் பயன்படுத்தலாம். உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட பகுதியின் உயரம் அசாதாரணமாக இருந்தால் (எ.கா., ஒற்றை அடுக்கு சில்லுகளின் தடிமனை விட அதிகமாகவோ அல்லது குறைவாகவோ), உணரிகள் அதை ஒரு அடுக்கி வைக்கும் அடைப்பாகக் கண்டறிந்து, சரியான நேரத்தில் கையாளுதலுக்காக ஆபரேட்டர்களுக்குத் தெரிவிக்க ஒரு எச்சரிக்கை பொறிமுறையைத் தூண்டும், இது சீரான உற்பத்தி ஓட்டத்தை உறுதி செய்கிறது.

கண்டறிதல் செயல்முறை

லான்பாவோ லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள், லேசர் கற்றையை வெளியிடுவதன் மூலமும், பிரதிபலித்த சமிக்ஞையைப் பெறுவதன் மூலமும், முக்கோண முறையைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும் இலக்கு மேற்பரப்புகளின் உயரத்தை துல்லியமாக அளவிடுகின்றன.

நேரடி ஸ்கேனிங்

இந்த சென்சார் சிப் கண்டறிதல் பகுதியுடன் செங்குத்தாக சீரமைக்கப்பட்டுள்ளது, தொடர்ந்து லேசரை வெளியிடுகிறது மற்றும் பிரதிபலித்த சிக்னலைப் பெறுகிறது. சிப் போக்குவரத்தின் போது, ​​சென்சார் நிகழ்நேர மேற்பரப்பு உயரத் தகவலைப் பெற முடியும்.

உயரக் கணக்கீடு

பெறப்பட்ட பிரதிபலித்த சமிக்ஞையிலிருந்து சிப் மேற்பரப்பு உயர மதிப்பைக் கணக்கிட சென்சார் ஒரு உள் வழிமுறையைப் பயன்படுத்துகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளின் அதிவேக பரிமாற்ற தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, சென்சார் அதிக துல்லியம் மற்றும் அதிக மாதிரி அதிர்வெண் இரண்டையும் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

வரம்பு நிர்ணயம்

அனுமதிக்கப்பட்ட உயர மாறுபாடு வரம்பு அமைக்கப்பட்டுள்ளது, பொதுவாக அடிப்படை உயரத்திலிருந்து ±30 µm. அளவிடப்பட்ட மதிப்பு இந்த வரம்பு வரம்பை மீறினால், அது ஒரு அடுக்குதல் அசாதாரணமாக தீர்மானிக்கப்படுகிறது. இந்த வரம்பு நிர்ணய தர்க்கம் சாதாரண ஒற்றை அடுக்கு சில்லுகள் மற்றும் அடுக்கப்பட்ட சில்லுகளுக்கு இடையில் திறம்பட வேறுபடுத்த முடியும்.

அலாரம் மற்றும் கையாளுதல்

அடுக்கி வைக்கும் அசாதாரணத்தைக் கண்டறிந்ததும், சென்சார் ஒரு கேட்கக்கூடிய மற்றும் காட்சி அலாரத்தைத் தூண்டுகிறது, மேலும் அசாதாரண இடத்தை அகற்ற ஒரு ரோபோ கையை ஒரே நேரத்தில் செயல்படுத்துகிறது அல்லது நிலைமை மேலும் மோசமடைவதைத் தடுக்க உற்பத்தி வரியை இடைநிறுத்துகிறது. இந்த விரைவான மறுமொழி பொறிமுறையானது அடுக்கி வைக்கும் அசாதாரணங்களால் ஏற்படும் இழப்புகளை மிகப் பெரிய அளவில் குறைக்கிறது.

微信图片_20250325130842

லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகளைப் பயன்படுத்தி சிப் ஸ்டேக்கிங் அசாதாரணங்களை நிகழ்நேர, உயர்-துல்லியமாகக் கண்டறிவது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் விளைச்சலை கணிசமாக மேம்படுத்தும். தொடர்ச்சியான தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களுடன், லேசர் இடப்பெயர்ச்சி உணரிகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இன்னும் பெரிய பங்கை வகிக்கும், இது தொழில்துறையின் நிலையான வளர்ச்சிக்கு வலுவான ஆதரவை வழங்கும்.


இடுகை நேரம்: மார்ச்-25-2025