Dina séktor manufaktur semikonduktor, susunan chip anu teu normal mangrupikeun masalah produksi anu parah. Susunan chip anu teu disangka-sangka salami prosés manufaktur tiasa nyababkeun karusakan alat sareng kagagalan prosés, sareng ogé tiasa nyababkeun produk dibuang sacara massal, anu nyababkeun karugian ékonomi anu signifikan pikeun perusahaan.
Kalayan panyempurnaan anu terus-terusan dina prosés manufaktur semikonduktor, paménta anu langkung luhur disimpen dina kontrol kualitas salami produksi. Sensor pamindahan laser, salaku téknologi pangukuran non-kontak, presisi tinggi, nyayogikeun solusi anu efektif pikeun ngadeteksi abnormalitas susun chip kalayan kamampuan deteksi anu gancang sareng akurat.
Prinsip Deteksi sareng Logika Pertimbangan Anomali
Dina prosés manufaktur semikonduktor, chip biasana disimpen dina jalur pamawa atanapi transportasi dina susunan datar hiji lapisan. Dina waktos ieu, jangkungna permukaan chip mangrupikeun nilai dasar anu tos ditangtukeun, umumna jumlah ketebalan chip sareng jangkungna pamawa. Nalika chip teu kahaja ditumpuk, jangkungna permukaanana bakal ningkat sacara signifikan. Parobihan ieu nyayogikeun dasar anu penting pikeun ngadeteksi abnormalitas susun.
Deteksi Susun Jalur Transportasi
Jalur transportasi mangrupikeun saluran anu penting pikeun gerakan chip salami prosés manufaktur. Nanging, chip tiasa ngumpul dina jalur kusabab adsorpsi éléktrostatik atanapi kagagalan mékanis salami transportasi, anu nyababkeun panyumbatan jalur. Panyumbatan sapertos kitu henteu ngan ukur tiasa ngaganggu aliran produksi tapi ogé ngaruksak chip.
Pikeun ngawaskeun aliran jalur transportasi anu teu kahalangan, sensor pamindahan laser tiasa dipasang di luhur jalur pikeun nyeken jangkungna penampang jalur. Upami jangkungna daérah lokal teu normal (contona, langkung luhur atanapi langkung handap tibatan ketebalan hiji lapisan chip), sensor bakal nangtukeun éta salaku panyumbatan susun sareng micu mékanisme alarm pikeun ngabéjaan operator pikeun penanganan anu pas waktuna, mastikeun aliran produksi anu lancar.
Prosés Deteksi
Sensor pamindahan laser Lanbao ngukur jangkungna permukaan target sacara akurat ku cara ngaluarkeun sinar laser, nampi sinyal anu dipantulkeun, sareng ngamangpaatkeun metode triangulasi.
Sensorna dijajarkeun sacara vertikal jeung area deteksi chip, terus-terusan ngaluarkeun laser sarta narima sinyal anu dipantulkeun. Salila transportasi chip, sensor bisa meunangkeun informasi jangkungna permukaan sacara real-time.
Sensor ieu ngagunakeun algoritma internal pikeun ngitung nilai jangkungna permukaan chip tina sinyal anu dipantulkeun. Pikeun minuhan paménta transfer kecepatan tinggi tina jalur produksi semikonduktor, ieu meryogikeun sensor anu gaduh presisi anu luhur sareng frékuénsi sampling anu luhur.
Rentang variasi jangkungna anu diidinan disetel, biasana ±30 µm tina jangkungna dasar. Upami nilai anu diukur ngaleuwihan rentang ambang ieu, éta ditangtukeun janten abnormalitas susun. Logika nangtukeun ambang ieu tiasa sacara efektif ngabédakeun antara chip lapisan tunggal normal sareng chip anu ditumpuk.
Saatos mendakan abnormalitas susunan, sénsor bakal micu alarm anu tiasa didangu sareng visual, teras sakaligus ngaktipkeun panangan robot pikeun miceun lokasi anu teu normal, atanapi ngeureunkeun jalur produksi pikeun nyegah kaayaan anu langkung parah. Mékanisme réspon anu gancang ieu ngaminimalkeun karugian anu disababkeun ku abnormalitas susunan dugi ka tingkat anu paling ageung.
Deteksi abnormalitas susunan chip sacara real-time sareng presisi tinggi nganggo sensor pamindahan laser tiasa ningkatkeun reliabilitas sareng hasil jalur produksi semikonduktor sacara signifikan. Kalayan kamajuan téknologi anu terus-terusan, sensor pamindahan laser bakal maénkeun peran anu langkung ageung dina manufaktur semikonduktor, nyayogikeun dukungan anu kuat pikeun pamekaran industri anu lestari.
Waktos posting: 25-Mar-2025