سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري شعبي ۾، غير معمولي چپ اسٽيڪنگ هڪ سخت پيداوار جو مسئلو آهي. پيداوار جي عمل دوران چپس جي غير متوقع اسٽيڪنگ سامان کي نقصان ۽ عمل جي ناڪامي جو سبب بڻجي سگهي ٿي، ۽ ان جي نتيجي ۾ شين جي وڏي پيماني تي اسڪريپنگ پڻ ٿي سگهي ٿي، جنهن جي ڪري ادارن لاءِ اهم معاشي نقصان ٿي سگهي ٿو.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عملن جي مسلسل سڌاري سان، پيداوار دوران معيار جي ڪنٽرول تي وڌيڪ مطالبا رکيا ويندا آهن. ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر، هڪ غير رابطي، اعلي-صحت واري ماپ ٽيڪنالاجي جي طور تي، انهن جي تيز ۽ صحيح سڃاڻپ جي صلاحيتن سان چپ اسٽيڪنگ غير معموليات کي ڳولڻ لاءِ هڪ مؤثر حل فراهم ڪن ٿا.
ڳولا جو اصول ۽ انوملي ججمينٽ منطق
سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهڻ جي عمل ۾، چپس عام طور تي ڪيريئرز يا ٽرانسپورٽ ٽريڪ تي هڪ واحد پرت، فليٽ ترتيب ۾ رکيا ويندا آهن. هن وقت، چپ جي مٿاڇري جي اوچائي هڪ مقرر ڪيل بنيادي قدر آهي، عام طور تي چپ جي ٿولهه ۽ ڪيريئر جي اوچائي جو مجموعو. جڏهن چپس حادثاتي طور تي اسٽيڪ ڪيا ويندا آهن، ته انهن جي مٿاڇري جي اوچائي تمام گهڻي وڌي ويندي. هي تبديلي اسٽيڪنگ غير معموليات کي ڳولڻ لاءِ هڪ اهم بنياد فراهم ڪري ٿي.
ٽرانسپورٽ ٽريڪ اسٽيڪنگ جي ڳولا
ٽرانسپورٽ ٽريڪ پيداوار جي عمل دوران چپ جي حرڪت لاءِ اهم چينل آهن. جڏهن ته، ٽرانسپورٽ دوران اليڪٽرو اسٽيٽڪ جذب يا ميڪيڪل ناڪامي جي ڪري چپس ٽريڪ تي جمع ٿي سگهن ٿا، جنهن جي ڪري ٽريڪ بلاڪ ٿي سگهن ٿا. اهڙيون بلاڪيون نه رڳو پيداوار جي وهڪري ۾ خلل وجهي سگهن ٿيون پر چپس کي به نقصان پهچائي سگهن ٿيون.
ٽرانسپورٽ ٽريڪ جي بي رڪاوٽ وهڪري جي نگراني ڪرڻ لاءِ، ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر ٽريڪ جي مٿان رکي سگهجن ٿا ته جيئن ٽريڪ ڪراس سيڪشن جي اوچائي اسڪين ڪري سگهجي. جيڪڏهن ڪنهن مقامي علائقي جي اوچائي غير معمولي آهي (مثال طور، چپس جي هڪ پرت جي ٿلهي کان وڌيڪ يا گهٽ)، سينسر ان کي اسٽيڪنگ بلاڪج جي طور تي طئي ڪندا ۽ بروقت هينڊلنگ لاءِ آپريٽرز کي مطلع ڪرڻ لاءِ الارم ميڪانيزم کي متحرڪ ڪندا، پيداوار جي وهڪري کي يقيني بڻائيندا.
ڳولڻ جو عمل
لانباؤ ليزر ڊسپليسمينٽ سينسرز ليزر بيم خارج ڪندي، عڪاسي ٿيل سگنل وصول ڪندي، ۽ ٽڪنڊي طريقو استعمال ڪندي نشانو سطحن جي اوچائي کي صحيح طور تي ماپيندا آهن.
سينسر عمودي طور تي چپ جي ڳولا واري علائقي سان ترتيب ڏنل آهي، مسلسل ليزر خارج ڪري ٿو ۽ عڪاسي سگنل وصول ڪري ٿو. چپ ٽرانسپورٽ دوران، سينسر حقيقي وقت جي مٿاڇري جي اوچائي جي معلومات حاصل ڪري سگهي ٿو.
سينسر حاصل ڪيل عڪاسي سگنل مان چپ جي مٿاڇري جي اوچائي جي قيمت کي ڳڻڻ لاءِ هڪ اندروني الگورتھم استعمال ڪري ٿو. سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار لائينن جي تيز رفتار منتقلي جي مطالبن کي پورو ڪرڻ لاءِ، اهو ضروري آهي ته سينسر ۾ اعليٰ درستگي ۽ اعليٰ نموني جي تعدد ٻئي هجن.
هڪ قابل اجازت اوچائي تبديلي جي حد مقرر ڪئي وئي آهي، عام طور تي بنيادي اوچائي کان ±30 µm. جيڪڏهن ماپيل قدر هن حد جي حد کان وڌي وڃي ٿي، ته اهو هڪ اسٽيڪنگ غيرمعمولي هجڻ جو طئي ڪيو ويندو آهي. هي حد جي تعين جو منطق عام سنگل-ليئر چپس ۽ اسٽيڪ ٿيل چپس جي وچ ۾ مؤثر طريقي سان فرق ڪري سگهي ٿو.
اسٽيڪنگ جي غيرمعمولي جي سڃاڻپ تي، سينسر هڪ ٻڌڻ ۽ ڏسڻ واري الارم کي متحرڪ ڪري ٿو، ۽ ساڳئي وقت غيرمعمولي جڳهه کي هٽائڻ لاءِ هڪ روبوٽڪ بازو کي چالو ڪري ٿو، يا صورتحال جي وڌيڪ خراب ٿيڻ کي روڪڻ لاءِ پيداوار واري لائن کي روڪي ٿو. هي تيز جوابي ميڪانيزم اسٽيڪنگ جي غيرمعمولي جي ڪري ٿيندڙ نقصان کي تمام گهڻي حد تائين گھٽائي ٿو.
ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر استعمال ڪندي چپ اسٽيڪنگ جي غيرمعموليات جي حقيقي وقت، اعليٰ درستگي جي سڃاڻپ سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار لائنن جي اعتبار ۽ پيداوار کي خاص طور تي بهتر بڻائي سگھي ٿي. مسلسل ٽيڪنالاجي ترقي سان، ليزر ڊسپليسمينٽ سينسر سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اڃا به وڏو ڪردار ادا ڪندا، صنعت جي پائيدار ترقي لاءِ مضبوط مدد فراهم ڪندا.
پوسٽ جو وقت: مارچ-25-2025