În sectorul de fabricație a semiconductorilor, stivuirea anormală a cipurilor este o problemă severă de producție. Stivuirea neașteptată a jetoanelor în timpul procesului de fabricație poate duce la deteriorarea echipamentelor și la defecțiunile procesului și poate duce, de asemenea, la casarea în masă a produselor, provocând pierderi economice semnificative pentru întreprinderi.
Odată cu rafinarea continuă a proceselor de fabricație a semiconductorilor, sunt plasate cereri mai mari pe controlul calității în timpul producției. Senzorii de deplasare laser, ca o tehnologie de măsurare fără contact, de înaltă precizie, oferă o soluție eficientă pentru detectarea anomaliilor de stivuire a cipurilor cu capacitățile lor de detectare rapide și precise.
Principiul detectării și logica de judecată a anomaliei
În procesul de fabricație a semiconductorilor, jetoanele sunt de obicei plasate pe transportatori sau pe piste de transport într-un aranjament plat cu un singur strat. În acest moment, înălțimea suprafeței cipului este o valoare de bază prestabilită, în general suma grosimii cipului și a înălțimii purtătorului. Când jetoanele sunt stivuite accidental, înălțimea suprafeței lor va crește semnificativ. Această modificare oferă o bază crucială pentru detectarea anomaliilor de stivuire.
Detectarea stivuirii pistei de transport
Pistele de transport sunt canale critice pentru mișcarea cipurilor în timpul procesului de fabricație. Cu toate acestea, jetoanele se pot acumula pe piste din cauza adsorbției electrostatice sau a defecțiunilor mecanice în timpul transportului, ceea ce duce la tracțiunea blocajelor. Astfel de blocaje nu numai că pot întrerupe fluxul de producție, dar și deteriorarea jetoanelor.
Pentru a monitoriza fluxul neobstrucționat al căilor de transport, senzorii de deplasare laser pot fi implementați deasupra pistelor pentru a scana înălțimea secțiunii transversale a șinei. Dacă înălțimea unei zone localizate este anormală (de exemplu, mai mare sau mai mică decât grosimea unui singur strat de jetoane), senzorii îl vor determina ca un blocaj de stivuire și va declanșa un mecanism de alarmă pentru a notifica operatorii pentru manipularea în timp util, asigurând fluxul de producție neted.
Proces de detectare
Senzorii de deplasare laser Lanbao măsoară cu exactitate înălțimea suprafețelor țintă prin emiterea unui fascicul laser, primind semnalul reflectat și utilizând metoda de triangulare.
Senzorul este aliniat vertical cu zona de detectare a cipurilor, emitând continuu un laser și primind semnalul reflectat. În timpul transportului de cipuri, senzorul poate achiziționa informații despre înălțimea suprafeței în timp real.
Senzorul folosește un algoritm intern pentru a calcula valoarea înălțimii suprafeței cipului din semnalul reflectat dobândit. Pentru a răspunde cerințelor de transfer de mare viteză ale liniilor de producție cu semiconductor, acest lucru necesită ca senzorul să posede atât o precizie ridicată, cât și o frecvență ridicată de eșantionare.
Se stabilește un interval de variație de înălțime admisibil, de obicei ± 30 µm de la înălțimea de bază. Dacă valoarea măsurată depășește acest interval de prag, este determinată a fi o anomalie de stivuire. Această logică de determinare a pragului poate diferenția eficient între cipurile normale cu un singur strat și chipsurile stivuite.
La detectarea unei anomalii de stivuire, senzorul declanșează o alarmă sonoră și vizuală și activează simultan un braț robotizat pentru a îndepărta locația anormală sau întrerupe linia de producție pentru a preveni deteriorarea ulterioară a situației. Acest mecanism de răspuns rapid reduce la minimum pierderile cauzate de stivuirea anomaliilor în cea mai mare măsură.
Detectarea în timp real, de înaltă precizie a anomaliilor de stivuire a cipurilor, folosind senzori de deplasare laser poate îmbunătăți semnificativ fiabilitatea și randamentul liniilor de producție cu semiconductor. Cu progrese tehnologice continue, senzorii de deplasare laser vor juca un rol și mai mare în fabricarea semiconductorilor, oferind un sprijin puternic pentru dezvoltarea durabilă a industriei.
Timpul post: 25-2025 martie