I halvlederproduksjonssektoren er unormal brikkestabling et alvorlig produksjonsproblem. Uventet stabling av brikker under produksjonsprosessen kan føre til skader på utstyr og prosessfeil, og kan også føre til masseskraping av produkter, noe som forårsaker betydelige økonomiske tap for bedrifter.
Med kontinuerlig foredling av halvlederproduksjonsprosesser, stilles høyere krav til kvalitetskontroll under produksjonen. Laserforskyvningssensorer, som en ikke-kontakt, høypresisjonsmålingsteknologi, gir en effektiv løsning for å oppdage chip-stabling av abnormiteter med deres raske og nøyaktige deteksjonsmuligheter.
Deteksjonsprinsipp og anomali -skjønnslogikk
I halvlederproduksjonsprosessen er brikker vanligvis plassert på transportører eller transportspor i et enkelt lag, flatt arrangement. På dette tidspunktet er høyden på brikkeoverflaten en forhåndsinnstilt basisverdi, vanligvis summen av spistykkelsen og bærerhøyden. Når chips ved et uhell stables, vil overflatehøyden øke betydelig. Denne endringen gir et avgjørende grunnlag for å oppdage stabling av avvik.
Transportsporstablingdeteksjon
Transportspor er kritiske kanaler for brikkebevegelse under produksjonsprosessen. Imidlertid kan brikker samle seg på sporene på grunn av elektrostatisk adsorpsjon eller mekaniske feil under transport, noe som fører til sporblokkeringer. Slike blokkeringer kan ikke bare avbryte produksjonsstrømmen, men også skade flis.
For å overvåke den uhindrede strømmen av transportspor, kan laserforskyvningssensorer distribueres over sporene for å skanne høyden på sporet tverrsnitt. Hvis høyden på et lokalisert område er unormalt (f.eks. Høyere eller lavere enn tykkelsen på et enkelt lag med flis), vil sensorene bestemme det som en stabling av blokkering og utløse en alarmmekanisme for å varsle operatørene om rettidig håndtering, noe som sikrer jevn produksjonsstrøm.
Deteksjonsprosess
Lanbao laserforskyvningssensorer måler nøyaktig høyden på måloverflater ved å avgi en laserstråle, motta det reflekterte signalet og bruke trianguleringsmetoden.
Sensoren er vertikalt på linje med chipdeteksjonsområdet, og sender kontinuerlig en laser og mottar det reflekterte signalet. Under chiptransport kan sensoren skaffe seg informasjon om overflatehøyde i sanntid.
Sensoren benytter en intern algoritme for å beregne chip -overflateverdien fra det anskaffede reflekterte signalet. For å oppfylle høyhastighetsoverføringsbehovene fra halvlederproduksjonslinjer, krever dette at sensoren har både høy presisjon og en høy prøvetakingsfrekvens.
Et tillatt høydevariasjonsområde er satt, typisk ± 30 um fra baselinehøyden. Hvis den målte verdien overstiger dette terskelområdet, bestemmes det å være en stablingsavvik. Denne terskelbestemmelseslogikken kan effektivt skille mellom normale enkeltlagsbrikker og stablede brikker.
Ved påvisning av en stabling av unormalitet utløser sensoren en hørbar og visuell alarm, og aktiverer samtidig en robotarm for å fjerne den unormale plasseringen, eller pauser produksjonslinjen for å forhindre ytterligere forverring av situasjonen. Denne raske responsmekanismen minimerer tap forårsaket av å stable avvik i størst grad.
Sanntidsdeteksjon med høy presisjon av brikk stabling av abnormiteter ved bruk av laserforskyvningssensorer kan forbedre påliteligheten og utbyttet av halvlederproduksjonslinjer betydelig. Med kontinuerlige teknologiske fremskritt vil laserforskyvningssensorer spille en enda større rolle i halvlederproduksjon, og gi sterk støtte for bransjens bærekraftige utvikling.
Post Time: Mar-25-2025