I halvlederproduksjonssektoren er unormal brikkestabling et alvorlig produksjonsproblem. Uventet stabling av brikker under produksjonsprosessen kan føre til utstyrsskade og prosessfeil, og kan også resultere i masseskraping av produkter, noe som forårsaker betydelige økonomiske tap for bedrifter.
Med den kontinuerlige forbedringen av halvlederproduksjonsprosesser stilles det høyere krav til kvalitetskontroll under produksjonen. Laserforskyvningssensorer, som en berøringsfri, høypresisjons måleteknologi, gir en effektiv løsning for å oppdage unormalheter i brikkestablingen med sine raske og nøyaktige deteksjonsegenskaper.
Deteksjonsprinsipp og logikk for anomalivurdering
I halvlederproduksjonsprosessen plasseres brikker vanligvis på bærere eller transportbaner i et enkeltlags, flatt arrangement. På dette tidspunktet er høyden på brikkens overflate en forhåndsinnstilt grunnlinjeverdi, vanligvis summen av brikkens tykkelse og bærerens høyde. Når brikker stables ved et uhell, vil overflatehøyden øke betydelig. Denne endringen gir et avgjørende grunnlag for å oppdage stablingsavvik.
Deteksjon av stabling av transportspor
Transportspor er kritiske kanaler for sponbevegelse under produksjonsprosessen. Spon kan imidlertid samle seg på sporene på grunn av elektrostatisk adsorpsjon eller mekaniske feil under transport, noe som kan føre til sporblokkeringer. Slike blokkeringer kan ikke bare forstyrre produksjonsflyten, men også skade spon.
For å overvåke den uhindrede flyten av transportspor, kan laserforskyvningssensorer plasseres over sporene for å skanne høyden på sporets tverrsnitt. Hvis høyden på et lokalisert område er unormal (f.eks. høyere eller lavere enn tykkelsen på et enkelt lag med flis), vil sensorene identifisere det som en stablingsblokkering og utløse en alarmmekanisme for å varsle operatører for rettidig håndtering, noe som sikrer jevn produksjonsflyt.
Deteksjonsprosess
Lanbao laserforskyvningssensorer måler nøyaktig høyden på målflater ved å sende ut en laserstråle, motta det reflekterte signalet og bruke trianguleringsmetoden.
Sensoren er vertikalt justert med brikkens deteksjonsområde, og sender kontinuerlig ut en laser og mottar det reflekterte signalet. Under brikkens transport kan sensoren innhente sanntidsinformasjon om overflatehøyde.
Sensoren bruker en intern algoritme for å beregne høyden på brikkens overflate fra det innhentede reflekterte signalet. For å møte kravene til høyhastighetsoverføring i halvlederproduksjonslinjer, krever dette at sensoren har både høy presisjon og en høy samplingsfrekvens.
Et tillatt høydevariasjonsområde er satt, vanligvis ±30 µm fra grunnlinjehøyden. Hvis den målte verdien overstiger dette terskelområdet, bestemmes det å være en stablingsavvik. Denne terskelbestemmelseslogikken kan effektivt skille mellom normale enkeltlagsbrikker og stablede brikker.
Ved deteksjon av en stablingsavvik, utløser sensoren en hørbar og visuell alarm, og aktiverer samtidig en robotarm for å fjerne det unormale stedet, eller setter produksjonslinjen på pause for å forhindre ytterligere forverring av situasjonen. Denne raske responsmekanismen minimerer tap forårsaket av stablingsavvik i størst mulig grad.
Sanntids, høypresisjonsdeteksjon av unormale brikkestablingsforhold ved bruk av laserforskyvningssensorer kan forbedre påliteligheten og utbyttet til halvlederproduksjonslinjer betydelig. Med kontinuerlige teknologiske fremskritt vil laserforskyvningssensorer spille en enda større rolle i halvlederproduksjon, og gi sterk støtte til industriens bærekraftige utvikling.
Publisert: 25. mars 2025