Soluzzjoni: Applikazzjoni tas-Sensor tal-Ispostament bil-Laser PDA ta' Lanbao fid-Detezzjoni ta' Stivar Anormali taċ-Ċippa tas-Semikondutturi

Fis-settur tal-manifattura tas-semikondutturi, l-istivar mhux normali taċ-ċipep huwa kwistjoni serja ta' produzzjoni. L-istivar mhux mistenni taċ-ċipep matul il-proċess tal-manifattura jista' jwassal għal ħsara fit-tagħmir u ħsarat fil-proċess, u jista' jirriżulta wkoll fl-iskrappjar tal-massa tal-prodotti, u jikkawża telf ekonomiku sinifikanti għall-intrapriżi.

微信图片_20250325130827

Bir-raffinament kontinwu tal-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi, qed jitqiegħdu domandi ogħla fuq il-kontroll tal-kwalità matul il-produzzjoni. Is-sensuri tal-ispostament bil-lejżer, bħala teknoloġija ta' kejl mingħajr kuntatt u ta' preċiżjoni għolja, jipprovdu soluzzjoni effettiva biex jinstabu anormalitajiet fl-istivar taċ-ċipep bil-kapaċitajiet ta' skoperta rapida u preċiża tagħhom.

Prinċipju ta' Sejbien u Loġika ta' Ġudizzju ta' Anomalija

微信图片_20250325130834

Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, iċ-ċipep tipikament jitqiegħdu fuq trasportaturi jew binarji tat-trasport f'arranġament ċatt ta' saff wieħed. F'dan il-ħin, l-għoli tal-wiċċ taċ-ċippa huwa valur bażi stabbilit minn qabel, ġeneralment is-somma tal-ħxuna taċ-ċippa u l-għoli tat-trasportatur. Meta ċ-ċipep jiġu f'munzelli aċċidentalment, l-għoli tal-wiċċ tagħhom jiżdied b'mod sinifikanti. Din il-bidla tipprovdi bażi kruċjali biex jiġu skoperti anormalitajiet fl-istivar.

Sejbien tal-Istivar tal-Binarji tat-Trasport

微信图片_20250325130838

Il-binarji tat-trasport huma kanali kritiċi għall-moviment taċ-ċippa matul il-proċess tal-manifattura. Madankollu, iċ-ċippa tista' takkumula fuq il-binarji minħabba adsorbiment elettrostatiku jew ħsarat mekkaniċi matul it-trasport, u dan iwassal għal imblukkar tal-binarji. Imblukkar bħal dan mhux biss jista' jinterrompi l-fluss tal-produzzjoni iżda wkoll jagħmel ħsara liċ-ċippa.

Biex jiġi mmonitorjat il-fluss mingħajr ostakli tal-binarji tat-trasport, jistgħu jitqiegħdu sensuri tal-ispostament bil-lejżer 'il fuq mill-binarji biex jiskennjaw l-għoli tas-sezzjoni trasversali tal-binarju. Jekk l-għoli ta' żona lokalizzata jkun anormali (eż., ogħla jew inqas mill-ħxuna ta' saff wieħed ta' ċipep), is-sensuri jiddeterminawh bħala imblukkar tal-istivar u jattivaw mekkaniżmu ta' allarm biex jinnotifikaw lill-operaturi għal immaniġġjar f'waqtu, u b'hekk jiżguraw fluss ta' produzzjoni bla xkiel.

Proċess ta' Sejbien

Is-sensuri tal-ispostament bil-lejżer ta' Lanbao jkejlu b'mod preċiż l-għoli tal-uċuħ fil-mira billi jarmu raġġ tal-lejżer, jirċievu s-sinjal rifless, u jużaw il-metodu tat-triangolazzjoni.

Skennjar dirett

Is-sensorju huwa allinjat vertikalment maż-żona ta' skoperta taċ-ċippa, u kontinwament joħroġ lejżer u jirċievi s-sinjal rifless. Matul it-trasport taċ-ċippa, is-sensorju jista' jikseb informazzjoni dwar l-għoli tal-wiċċ f'ħin reali.

Kalkolu tal-għoli

Is-senser juża algoritmu intern biex jikkalkula l-valur tal-għoli tal-wiċċ taċ-ċippa mis-sinjal rifless akkwistat. Biex jintlaħqu d-domandi ta' trasferiment b'veloċità għolja tal-linji ta' produzzjoni tas-semikondutturi, dan jeħtieġ li s-senser ikollu kemm preċiżjoni għolja kif ukoll frekwenza għolja ta' kampjunar.

Determinazzjoni tal-limitu

Tiġi ssettjata firxa ta' varjazzjoni tal-għoli permessa, tipikament ±30 µm mill-għoli bażi. Jekk il-valur imkejjel jaqbeż din il-firxa limitu, jiġi determinat li hija anormalità ta' stivar. Din il-loġika ta' determinazzjoni tal-limitu tista' tiddistingwi b'mod effettiv bejn ċipep normali b'saff wieħed u ċipep f'munzelli.

Allarm u Immaniġġjar

Malli tiġi skoperta anormalità fl-istivar, is-senser jattiva allarm awdjo u viżiv, u fl-istess ħin jattiva driegħ robotiku biex ineħħi l-post anormali, jew iwaqqaf il-linja tal-produzzjoni biex jipprevjeni aktar deterjorament tas-sitwazzjoni. Dan il-mekkaniżmu ta' rispons rapidu jimminimizza t-telf ikkawżat minn anormalitajiet fl-istivar kemm jista' jkun.

微信图片_20250325130842

Sejbien f'ħin reali u ta' preċiżjoni għolja ta' anormalitajiet fl-istivar taċ-ċipep bl-użu ta' sensuri tal-ispostament bil-lejżer jista' jtejjeb b'mod sinifikanti l-affidabbiltà u r-rendiment tal-linji tal-produzzjoni tas-semikondutturi. Bl-avvanzi teknoloġiċi kontinwi, is-sensuri tal-ispostament bil-lejżer se jkollhom rwol saħansitra akbar fil-manifattura tas-semikondutturi, u jipprovdu appoġġ qawwi għall-iżvilupp sostenibbli tal-industrija.


Ħin tal-posta: 25 ta' Marzu 2025