Puslaidininkių gamybos sektoriuje nenormalus mikroschemų sudėjimas yra sunki gamybos problema. Netikėtas lustų sudėjimas gamybos proceso metu gali sukelti įrangos pažeidimą ir proceso nesėkmes, taip pat gali sukelti masinį produktų panaikinimą, sukeldamas didelius ekonominius nuostolius įmonėms.
Nuolat tobulinant puslaidininkių gamybos procesus, gamybos metu didesni reikalavimai kokybės kontrolei. Lazerio poslinkio jutikliai, kaip nekontaktinė, didelio tikslumo matavimo technologija, suteikia veiksmingą sprendimą aptikti lustų sudėjimo anomalijas, turint greitas ir tikslias aptikimo galimybes.
Aptikimo principas ir anomalijos sprendimo logika
Puslaidininkių gamybos procese lustai paprastai dedami ant nešėjų ar transportavimo takelių viename sluoksnyje, plokščioje išdėstyme. Šiuo metu lusto paviršiaus aukštis yra iš anksto nustatyta pradinė vertė, paprastai lusto storio ir nešiklio aukštis. Kai traškučiai bus netyčia sukrauti, jų paviršiaus aukštis žymiai padidės. Šis pakeitimas suteikia lemiamą pagrindą nustatyti sukravimo anomalijas.
Transporto trasos sukravimo aptikimas
Transporto trasos yra kritiniai lustų judėjimo kanalai gamybos proceso metu. Tačiau traškučiai gali kauptis ant trasų dėl elektrostatinės adsorbcijos ar mechaninių gedimų transportavimo metu, dėl ko trasos užsikimšimai. Tokie užsikimšimai gali ne tik nutraukti gamybos srautą, bet ir sugadinti lustus.
Norint stebėti netrukdomą transportavimo takelių srautą, virš takelių galima naudoti lazerio poslinkio jutiklius, kad būtų galima nuskaityti takelio skerspjūvio aukštį. Jei lokalizuotos srities aukštis yra nenormalus (pvz., Didesnis arba mažesnis už vieno lustų sluoksnio storis), jutikliai jį nustatys kaip sukrautą užsikimšimą ir suaktyvins aliarmo mechanizmą, kad operatoriai praneštų laiku laiku tvarkyti, užtikrindami sklandų gamybos srautą.
Aptikimo procesas
„Lanbao“ lazerio poslinkio jutikliai tiksliai išmatuoja tikslinių paviršių aukštį skleidžiant lazerio spindulį, gaudami atspindėtą signalą ir naudojant trikampio metodą.
Jutiklis vertikaliai suderintas su lusto aptikimo sritimi, nuolat skleidžiantis lazerį ir gaunantis atspindėtą signalą. Vykdant lustą, jutiklis gali įgyti informacijos apie paviršiaus aukščią realiojo laiko.
Jutiklis naudoja vidinį algoritmą, kad būtų galima apskaičiuoti lusto paviršiaus aukščio vertę iš įgyto atspindėto signalo. Norint patenkinti greitųjų puslaidininkių gamybos linijų perdavimo poreikius, tai reikalauja, kad jutiklis turėtų ir aukštą tikslumą, ir aukštą mėginių ėmimo dažnį.
Nustatomas leistinas aukščio variacijų diapazonas, paprastai ± 30 μm nuo pradinio aukščio. Jei išmatuota vertė viršija šį slenksčio diapazoną, ji nustatoma, kad tai yra sukravimo anomalija. Ši slenksčio nustatymo logika gali efektyviai atskirti įprastus vieno sluoksnio lustus ir sukrautus lustus.
Aptikęs krovimo anomaliją, jutiklis suaktyvina garsinį ir regos aliarmą, ir kartu suaktyvina robotinę ranką, kad pašalintų nenormalią vietą, arba pristabdo gamybos liniją, kad išvengtų tolesnio situacijos pablogėjimo. Šis greito reagavimo mechanizmas sumažina nuostolius, kuriuos sukelia sukravimo anomalijos didžiausias mastas.
Realiojo laiko, didelio tikslumo lustų sudėjimo anomalijų aptikimas naudojant lazerio poslinkio jutiklius, gali žymiai pagerinti puslaidininkių gamybos linijų patikimumą ir išeigą. Nuo nuolatinio technologinio pažangos lazerio poslinkio jutikliai vaidins dar didesnį vaidmenį gaminant puslaidininkių gamybą, užtikrinant tvirtą palaikymą tvaraus pramonės plėtrai.
Pašto laikas: 2012 m. Kovo 25 d