Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында чиптердин анормалдуу түрдө тизилиши өндүрүштүн олуттуу көйгөйү болуп саналат. Өндүрүш процессинде чиптердин күтүлбөгөн жерден тизилиши жабдуулардын бузулушуна жана процесстин бузулушуна алып келиши мүмкүн, ошондой эле продукциянын массалык түрдө жок кылынышына алып келип, ишканалар үчүн олуттуу экономикалык жоготууларга алып келиши мүмкүн.
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстерин тынымсыз өркүндөтүү менен, өндүрүш учурунда сапатты көзөмөлдөөгө жогорку талаптар коюлат. Лазердик жылышуу сенсорлору, контактсыз, жогорку тактыктагы өлчөө технологиясы катары, тез жана так аныктоо мүмкүнчүлүктөрү менен чиптердин топтолуу аномалияларын аныктоо үчүн натыйжалуу чечимди камсыз кылат.
Аныктоо принциби жана аномалияны баалоо логикасы
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде чиптер, адатта, бир катмарлуу, жалпак жайгашууда алып жүрүүчүлөргө же ташуу жолдоруна жайгаштырылат. Бул учурда чиптин бетинин бийиктиги алдын ала белгиленген базалык маани болуп саналат, адатта чиптин калыңдыгы менен алып жүрүүчүнүн бийиктигинин суммасы. Чиптер кокустан үйүлгөндө, алардын бетинин бийиктиги бир топ жогорулайт. Бул өзгөрүү үйүлгөн аномалияларды аныктоо үчүн маанилүү негиз болуп саналат.
Транспорттук жолдордун үймөктөрүн аныктоо
Ташуу жолдору өндүрүш процессинде чиптердин жылышы үчүн маанилүү каналдар болуп саналат. Бирок, электростатикалык адсорбциядан же ташуу учурунда механикалык бузулуулардан улам чиптер рельстерде топтолуп, рельстин бүтөлүп калышына алып келиши мүмкүн. Мындай бүтөлүүлөр өндүрүш агымын үзгүлтүккө учуратып гана тим болбостон, чиптерге да зыян келтириши мүмкүн.
Ташуу жолдорунун тоскоолдуксуз агымын көзөмөлдөө үчүн, жолдун кесилишинин бийиктигин сканерлөө үчүн жолдордун үстүнө лазердик жылышуу сенсорлорун жайгаштырууга болот. Эгерде локалдашкан аймактын бийиктиги анормалдуу болсо (мисалы, бир катмар чиптердин калыңдыгынан жогору же төмөн), сенсорлор аны үймөктүн тосмосу катары аныктап, операторлорго өз убагында иштетүү жөнүндө кабарлоо үчүн сигнал механизмин иштетет, бул өндүрүштүн жылмакай агымын камсыз кылат.
Аныктоо процесси
Lanbao лазердик жылышуу сенсорлору лазер нурун чыгаруу, чагылган сигналды кабыл алуу жана триангуляция ыкмасын колдонуу менен бута беттеринин бийиктигин так өлчөйт.
Сенсор чипти аныктоо аймагы менен вертикалдуу түрдө тегизделген, лазерди үзгүлтүксүз чыгарып, чагылган сигналды кабыл алат. Чипти ташуу учурунда сенсор реалдуу убакыттагы беттин бийиктиги жөнүндө маалымат ала алат.
Сенсор алынган чагылдырылган сигналдан чиптин бетинин бийиктигинин маанисин эсептөө үчүн ички алгоритмди колдонот. Жарым өткөргүч өндүрүш линияларынын жогорку ылдамдыктагы өткөрүү талаптарын канааттандыруу үчүн, сенсор жогорку тактыкка жана жогорку үлгү алуу жыштыгына ээ болушу керек.
Бийиктиктин өзгөрүшүнүн жол берилген диапазону орнотулат, адатта баштапкы бийиктиктен ±30 мкм. Эгерде өлчөнгөн маани бул босого диапазонунан ашып кетсе, анда ал үймөктөө аномалиясы катары аныкталат. Бул босогону аныктоо логикасы кадимки бир катмарлуу чиптерди жана үймөктөлгөн чиптерди натыйжалуу айырмалай алат.
Үймөктөөнүн аномалиясы аныкталганда, сенсор үн жана визуалдык сигнализацияны иштетет жана ошол эле учурда аномалиялык жерди алып салуу үчүн робот колду иштетет же кырдаалдын андан ары начарлашына жол бербөө үчүн өндүрүш линиясын токтотот. Бул тез жооп берүү механизми үймөктөөнүн аномалияларынан келип чыккан жоготууларды максималдуу түрдө азайтат.
Лазердик жылышуу сенсорлорун колдонуу менен чиптердин топтолуу аномалияларын реалдуу убакытта, жогорку тактыкта аныктоо жарым өткөргүч өндүрүш линияларынын ишенимдүүлүгүн жана өндүрүмдүүлүгүн бир топ жакшырта алат. Үзгүлтүксүз технологиялык жетишкендиктер менен лазердик жылышуу сенсорлору жарым өткөргүч өндүрүшүндө ого бетер чоң роль ойноп, тармактын туруктуу өнүгүшүнө күчтүү колдоо көрсөтөт.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 25-марты