Di sektora çêkirina nîvconductoran de, kombûna çîpan a neasayî pirsgirêkek girîng a hilberînê ye. Kombûna çîpan a ji nişka ve di dema pêvajoya hilberînê de dikare bibe sedema zirara alavan û têkçûna pêvajoyê, û her weha dibe ku bibe sedema avêtina girseyî ya hilberan, ku bibe sedema windahiyên aborî yên girîng ji bo pargîdaniyan.
Bi pêşveçûna berdewam a pêvajoyên çêkirina nîvconductoran re, di dema hilberînê de daxwazên bilindtir li ser kontrola kalîteyê têne danîn. Sensorên cihguherîna lazerê, wekî teknolojiyek pîvandina bêtemas û rastbûna bilind, bi kapasîteyên xwe yên tespîtkirina bilez û rast çareseriyek bibandor peyda dikin ji bo tespîtkirina anormaliyên kombûna çîpan.
Prensîba Tesbîtkirinê û Mantîqa Dadweriya Anomalî
Di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de, çîp bi gelemperî li ser hilgir an rêyên veguhastinê bi awayekî yek-qat û dûz têne danîn. Di vê demê de, bilindahiya rûyê çîpê nirxek bingehîn a pêşwextkirî ye, bi gelemperî berhevoka stûriya çîpê û bilindahiya hilgir e. Dema ku çîp bi xeletî têne rêzkirin, bilindahiya rûyê wan dê bi girîngî zêde bibe. Ev guhertin bingehek girîng ji bo tespîtkirina anormaliyên rêzkirinê peyda dike.
Tesbîtkirina Komkirina Rêya Veguhastinê
Rêyên veguhastinê di dema pêvajoya çêkirinê de ji bo tevgera çîpan kanalên girîng in. Lêbelê, dibe ku çîp ji ber adsorpsiyona elektrostatîk an jî têkçûnên mekanîkî di dema veguhastinê de li ser rêyan kom bibin, ku bibin sedema astengkirina rêyan. Astengkirinên weha ne tenê dikarin herikîna hilberînê asteng bikin, lê di heman demê de zirarê bidin çîpan jî.
Ji bo şopandina herikîna bêasteng a rêyên veguhastinê, sensorên cihguherîna lazerê dikarin li ser rêyan werin bicihkirin da ku bilindahiya xaçerêya rêyan were şopandin. Ger bilindahiya deverek herêmî neasayî be (mînak, ji qalindahiya yek qatek çîpan bilindtir an nizmtir be), sensor dê wê wekî astengiyek komkirinê destnîşan bikin û mekanîzmayek alarmê çalak bikin da ku operatoran ji bo destwerdanê di wextê xwe de agahdar bikin, û herikîna hilberînê ya bêkêmasî misoger bikin.
Pêvajoya Tesbîtkirinê
Sensorên cîguhestina lazerê yên Lanbao bi derxistina tîrêjek lazerê, wergirtina sînyala vegerandî û karanîna rêbaza sêgoşeyî bilindahiya rûberên hedef bi rastî dipîvin.
Sensor bi awayekî vertîkal bi qada tespîtkirina çîpê ve girêdayî ye, bi berdewamî lazerê diweşîne û sînyala vegerandin werdigire. Di dema veguhastina çîpê de, sensor dikare agahdariya bilindahiya rûyê di wextê rast de bi dest bixe.
Sensor algorîtmayek navxweyî bikar tîne da ku nirxa bilindahiya rûyê çîpê ji sînyala vegerandin a bidestxistî hesab bike. Ji bo ku daxwazên veguhastina bilez ên xetên hilberîna nîvconductor bicîh bîne, ev yek hewce dike ku sensor hem xwedî rastbûnek bilind û hem jî frekansek nimûnegirtinê ya bilind be.
Rêzek guherîna bilindahiya destûrdayî tê danîn, bi gelemperî ±30 µm ji bilindahiya bingehîn. Ger nirxa pîvandî ji vê rêza eşikê derbas bibe, tê destnîşankirin ku ew anormaliyek kombûnê ye. Ev mantiqa diyarkirina eşikê dikare bi bandor di navbera çîpên yek-qatî yên normal û çîpên komkirî de cûdahiyê bike.
Dema ku anormaliyeke di komkirinê de tê tesbîtkirin, sensor alarmeke bihîstbar û dîtbarî dide destpêkirin, û di heman demê de destekî robotîk çalak dike da ku cihê anormal rake, an jî xeta hilberînê radiwestîne da ku pêşî li xirabûna rewşê bigire. Ev mekanîzmaya bersiva bilez windahiyên ku ji ber anormaliyên komkirinê çêdibin heta radeyeke herî zêde kêm dike.
Tesbîtkirina rast-dem û rastbûna bilind a kêmasiyên rêzkirina çîpan bi karanîna sensorên cihguherîna lazer dikare pêbawerî û berhemdariya xetên hilberîna nîvconductor bi girîngî baştir bike. Bi pêşketinên teknolojîk ên berdewam re, sensorên cihguherîna lazer dê roleke hîn mezintir di çêkirina nîvconductor de bilîzin, û piştgiriyek xurt ji bo pêşkeftina domdar a pîşesaziyê peyda bikin.
Dema weşandinê: 25ê Adarê, 2025