Nel settore manifatturiero dei semiconduttori, lo stacking del chip anormale è un grave problema di produzione. L'impilamento inaspettato di chip durante il processo di produzione può portare a danni alle attrezzature e guasti al processo e può anche comportare la demolizione di massa dei prodotti, causando significative perdite economiche per le imprese.
Con il continuo perfezionamento dei processi di produzione di semiconduttori, durante la produzione vengono poste richieste più elevate sul controllo di qualità. I sensori di spostamento laser, come tecnologia di misurazione ad alta precisione senza contatto, forniscono una soluzione efficace per rilevare anomalie di impilamento di chip con le loro capacità di rilevamento rapide e accurate.
Principio di rilevamento e logica di giudizio anomalia
Nel processo di produzione dei semiconduttori, i chip sono in genere posizionati su vettori o tracce di trasporto in una disposizione piatta a strato singolo. In questo momento, l'altezza della superficie del chip è un valore di base preimpostato, generalmente la somma dello spessore del chip e l'altezza del portatore. Quando i chip vengono accidentalmente impilati, la loro altezza superficiale aumenterà in modo significativo. Questo cambiamento fornisce una base cruciale per rilevare anomalie di impilamento.
Rilevamento di impilazioni della pista di trasporto
Le tracce di trasporto sono canali critici per il movimento dei chip durante il processo di produzione. Tuttavia, i chip possono accumularsi sui binari a causa di adsorbimento elettrostatico o guasti meccanici durante il trasporto, portando a blocchi di binario. Tali blocchi possono non solo interrompere il flusso di produzione, ma anche danneggiare i chip.
Per monitorare il flusso libera delle tracce di trasporto, i sensori di spostamento laser possono essere distribuiti sopra i binari per scansionare l'altezza della sezione trasversale della traccia. Se l'altezza di un'area localizzata è anormale (ad esempio, superiore o inferiore allo spessore di un singolo strato di chip), i sensori lo determineranno come blocco di impilamento e innescano un meccanismo di allarme per notificare agli operatori la gestione tempestiva, garantendo un flusso di produzione regolare.
Processo di rilevamento
I sensori di spostamento laser di Lanbao misurano accuratamente l'altezza delle superfici target emettendo un raggio laser, ricevendo il segnale riflesso e utilizzando il metodo di triangolazione.
Il sensore è allineato verticalmente con l'area di rilevamento del chip, emettendo continuamente un laser e ricevendo il segnale riflesso. Durante il trasporto di chip, il sensore può acquisire informazioni sull'altezza della superficie in tempo reale.
Il sensore impiega un algoritmo interno per calcolare il valore dell'altezza della superficie del chip dal segnale riflesso acquisito. Per soddisfare le esigenze di trasferimento ad alta velocità delle linee di produzione dei semiconduttori, ciò richiede che il sensore possieda sia ad alta precisione che ad alta frequenza di campionamento.
Viene impostato un intervallo di variazione di altezza consentita, in genere ± 30 µm dall'altezza di base. Se il valore misurato supera questo intervallo di soglia, è determinato per essere un'anomalia di impilamento. Questa logica di determinazione della soglia può essere effettivamente differenziata tra chip a singolo strato normale e chip impilati.
Dopo il rilevamento di un'anomalia di impilamento, il sensore innesca un allarme udibile e visivo e attiva contemporaneamente un braccio robotico per rimuovere la posizione anormale o mette in pausa la linea di produzione per prevenire un ulteriore deterioramento della situazione. Questo meccanismo di risposta rapida riduce al minimo le perdite causate dalle anomalie di impilamento nella massima misura.
Il rilevamento in tempo reale e ad alta precisione di anomalie di impilamento di chip mediante sensori di spostamento laser può migliorare significativamente l'affidabilità e la resa delle linee di produzione dei semiconduttori. Con i progressi tecnologici continui, i sensori di spostamento laser svolgeranno un ruolo ancora maggiore nella produzione di semiconduttori, fornendo un forte supporto allo sviluppo sostenibile del settore.
Post Time: mar-25-2025