Nyob rau hauv lub semiconductor manufacturing sector, txawv txav chip stacking yog ib qho teeb meem loj heev. Kev npaj txhij txog ntawm cov chips thaum lub sijhawm tsim khoom tuaj yeem ua rau cov khoom puas tsuaj thiab cov txheej txheem tsis ua haujlwm, thiab tseem tuaj yeem ua rau cov khoom loj ntawm cov khoom tawg, ua rau muaj kev lag luam loj rau kev lag luam.
Nrog rau kev ua kom zoo dua qub ntawm cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, kev xav tau ntau dua tau muab tso rau ntawm kev tswj xyuas zoo thaum tsim khoom. Laser tshem tawm sensors, raws li ib tug tsis sib cuag, high-precision ntsuas tshuab, muab ib tug zoo kev daws teeb meem rau kev soj ntsuam nti stacking txawv txav nrog lawv sai thiab meej nrhiav kom tau muaj peev xwm.
Detection Principple and Anomaly Judgment Logic
Nyob rau hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, chips feem ntau muab tso rau ntawm cov nqa khoom lossis thauj cov lem hauv ib txheej, tiaj tus. Nyob rau lub sijhawm no, qhov siab ntawm cov nti saum npoo yog tus nqi hauv qab preset, feem ntau cov lej ntawm cov nti tuab thiab cov cab kuj qhov siab. Thaum cov chips raug teeb tsa, lawv qhov siab saum npoo yuav nce ntxiv. Qhov kev hloov pauv no muab lub hauv paus tseem ceeb rau kev txheeb xyuas qhov txawv txav.
Tsheb thauj mus los Stacking Detection
Kev thauj mus los yog qhov tseem ceeb tshaj plaws rau cov nti txav thaum lub sijhawm tsim khoom. Txawm li cas los xij, cov chips tuaj yeem sib sau ua ke ntawm cov lem vim electrostatic adsorption lossis mechanical tsis ua haujlwm thaum thauj, ua rau taug qab cov blockages. Xws li blockages tuaj yeem tsis tsuas cuam tshuam cov khoom ntws tab sis kuj ua rau cov chips puas.
Txhawm rau saib xyuas qhov tsis muaj kev cuam tshuam ntawm kev thauj mus los, laser tshem tawm sensors tuaj yeem xa mus rau saum cov lem txhawm rau txheeb xyuas qhov siab ntawm txoj kev hla ntu. Yog hais tias qhov siab ntawm ib cheeb tsam hauv cheeb tsam yog txawv txav (xws li, siab dua los yog qis dua lub thickness ntawm ib txheej ntawm cov chips), cov sensors yuav txiav txim siab tias nws yog ib qho kev thaiv kev thaiv thiab ua rau lub tswb ceeb toom rau cov neeg ua haujlwm rau kev tuav raws sij hawm, kom ntseeg tau tias cov khoom ntws zoo.
Kev kuaj xyuas
Lanbao laser displacement sensors raug ntsuas qhov siab ntawm lub hom phiaj ntawm qhov chaw los ntawm emitting lub laser beam, tau txais cov teeb liab cuam tshuam, thiab siv txoj kev triangulation.
Lub sensor yog vertically ua ke nrog lub nti nrhiav kom tau cheeb tsam, tsis tu ncua emitting lub laser thiab tau txais cov teeb liab reflected. Thaum lub sij hawm thauj chip, lub sensor tuaj yeem tau txais cov ntaub ntawv qhov siab ntawm lub sijhawm.
Lub sensor siv lub algorithm sab hauv los xam cov nti saum npoo qhov siab tus nqi los ntawm qhov tau txais kev cuam tshuam cov teeb liab. Txhawm rau ua kom tau raws li qhov xav tau ntawm kev hloov pauv siab ceev ntawm cov kab hluav taws xob semiconductor, qhov no yuav tsum tau ua kom lub sensor muaj ob qho tib si siab precision thiab ib qho piv txwv siab.
Qhov kev tso cai qhov siab qhov sib txawv yog teem, feem ntau ± 30 µm los ntawm qhov siab qhov siab. Yog tias qhov ntsuas tus nqi siab tshaj qhov ntsuas qhov ntsuas no, nws tau txiav txim siab ua qhov txawv txav. Qhov kev txiav txim siab qhov kev txiav txim siab no tuaj yeem sib txawv ntawm cov txheej txheem ib leeg thiab cov chips stacked.
Thaum kuaj pom qhov txawv txav ntawm qhov sib txawv, lub sensor ua rau lub suab nrov thiab pom lub tswb, thiab ib txhij ua kom lub caj npab robotic tshem tawm qhov chaw txawv txav, lossis nres cov kab ntau lawm kom tiv thaiv qhov xwm txheej tsis zoo ntxiv. Qhov kev teb sai sai no txo qis kev poob los ntawm kev sib tsoo qhov txawv txav mus rau qhov loj tshaj plaws.
Real-time, high-precision nrhiav tau ntawm nti stacking txawv txav siv laser hloov pauv sensors tuaj yeem txhim kho qhov kev ntseeg tau thiab tawm los ntawm cov kab ntau lawm semiconductor. Nrog kev nce qib thev naus laus zis tas mus li, laser hloov pauv sensors yuav ua lub luag haujlwm ntau dua hauv kev tsim khoom semiconductor, muab kev txhawb zog rau kev lag luam txoj kev loj hlob.
Lub sij hawm xa tuaj: Mar-25-2025