Dans le secteur de la fabrication de semi-conducteurs, l'empilement anormal des puces est un grave problème de production. L'empilement inattendu des copeaux pendant le processus de fabrication peut entraîner des dommages et des échecs de processus, et peut également entraîner la mise en rejet en masse des produits, entraînant des pertes économiques importantes pour les entreprises.
Avec le raffinement continu des processus de fabrication de semi-conducteurs, des demandes plus élevées sont placées sur le contrôle de la qualité pendant la production. Les capteurs de déplacement laser, en tant que technologie de mesure de haute précision sans contact, fournissent une solution efficace pour détecter les anomalies d'empilement des puces avec leurs capacités de détection rapides et précises.
Principe de détection et logique du jugement d'anomalie
Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, les puces sont généralement placées sur des transporteurs ou des pistes de transport dans une arrangement plat unique. À l'heure actuelle, la hauteur de la surface de la puce est une valeur de référence prédéfinie, généralement la somme de l'épaisseur de la puce et la hauteur du porte-avions. Lorsque les puces sont accidentellement empilées, leur hauteur de surface augmentera considérablement. Ce changement fournit une base cruciale pour détecter les anomalies d'empilement.
Détection d'empilement de piste de transport
Les pistes de transport sont des canaux critiques pour le mouvement des puces pendant le processus de fabrication. Cependant, les puces peuvent s'accumuler sur les pistes en raison de l'adsorption électrostatique ou des défaillances mécaniques pendant le transport, ce qui entraîne des blocages de voie. Ces blocages peuvent non seulement interrompre le flux de production, mais également endommager les puces.
Pour surveiller l'écoulement sans obstacle de voies de transport, les capteurs de déplacement laser peuvent être déployés au-dessus des pistes pour scanner la hauteur de la section transversale de la piste. Si la hauteur d'une zone localisée est anormale (par exemple, supérieure ou inférieure à l'épaisseur d'une seule couche de puces), les capteurs le détermineront comme un blocage d'empilement et déclenchent un mécanisme d'alarme pour informer les opérateurs pour une manipulation en temps opportun, assurer un flux de production fluide.
Processus de détection
Les capteurs de déplacement laser Lanbao mesurent avec précision la hauteur des surfaces cibles en émettant un faisceau laser, en recevant le signal réfléchi et en utilisant la méthode de triangulation.
Le capteur est aligné verticalement avec la zone de détection des puces, émettant en continu un laser et recevant le signal réfléchi. Pendant le transport des puces, le capteur peut acquérir des informations sur la hauteur de surface en temps réel.
Le capteur utilise un algorithme interne pour calculer la valeur de hauteur de surface de la puce à partir du signal réfléchi acquis. Pour répondre aux demandes de transfert à grande vitesse des lignes de production de semi-conducteurs, cela nécessite que le capteur possède à la fois une haute précision et une fréquence d'échantillonnage élevée.
Une plage de variation de hauteur admissible est définie, généralement ± 30 µm de la hauteur de base. Si la valeur mesurée dépasse cette plage de seuil, elle est déterminée comme une anomalie d'empilement. Cette logique de détermination de seuil peut faire la différence efficacement entre les puces uniques normales et les puces empilées.
Lors de la détection d'une anomalie d'empilement, le capteur déclenche une alarme audible et visuelle, et active simultanément un bras robotique pour éliminer l'emplacement anormal, ou pause la ligne de production pour éviter une détérioration supplémentaire de la situation. Ce mécanisme de réponse rapide minimise les pertes causées par l'empilement des anomalies dans la plus grande mesure.
La détection en temps réel et à haute précision des anomalies d'empilement de puces utilisant des capteurs de déplacement laser peut améliorer considérablement la fiabilité et le rendement des lignes de production de semi-conducteurs. Avec les progrès technologiques continus, les capteurs de déplacement laser joueront un rôle encore plus important dans la fabrication de semi-conducteurs, fournissant un fort soutien au développement durable de l'industrie.
Heure du poste: mars-25-2025