Puolijohteiden valmistusalalla epänormaali sirupinoaminen on vakava tuotantoongelma. Pelimerkkien odottamaton pinoaminen valmistusprosessin aikana voi johtaa laitevaurioihin ja prosessivirheisiin, ja voi myös johtaa tuotteiden massan romuttamiseen aiheuttaen yrityksille merkittäviä taloudellisia menetyksiä.
Puolijohteiden valmistusprosessien jatkuvan hienostumisen myötä laadunvalvonnan tuotannon aikana asetetaan korkeammat vaatimukset. Lasersiirto-anturit, jotka eivät ole kosketuksellisia, korkean tarkkuuden mittaustekniikkana, tarjoavat tehokkaan ratkaisun sirujen pinoamisen poikkeavuuksien havaitsemiseksi niiden nopeiden ja tarkkojen havaitsemisominaisuuksien avulla.
Havaitsemisperiaate ja poikkeavuustuomiologiikka
Puolijohteiden valmistusprosessissa sirut sijoitetaan tyypillisesti operaattoreille tai kuljetusraiteille yksikerroksisessa, tasaisessa järjestelyssä. Tällä hetkellä sirun pinnan korkeus on esiasetettu lähtötason arvo, yleensä sirun paksuuden ja kantoaaltokorkeuden summa. Kun sirut on vahingossa pinottu, niiden pintakorkeus kasvaa merkittävästi. Tämä muutos tarjoaa ratkaisevan perustan pinoamisen poikkeavuuksien havaitsemiseksi.
Kuljetusradan pinoamisilmaisu
Kuljetusraidat ovat kriittisiä kanavia sirun liikkeelle valmistusprosessin aikana. Sirut voivat kuitenkin kertyä raiteille sähköstaattisesta adsorptiosta tai mekaanisista vikoista kuljetuksen aikana, mikä johtaa radan tukkeutumiseen. Tällaiset tukkeet eivät voi vain keskeyttää tuotantovirtauksen, vaan myös vaurioiden sirut.
Esteetöntä kuljetusraiteiden virtauksen tarkkailemiseksi lasersiirto-anturit voidaan ottaa käyttöön radan yläpuolelle radan poikkileikkauksen korkeuden skannaamiseksi. Jos paikallisen alueen korkeus on epänormaali (esim. Suurempi tai pienempi kuin yhden sirukerroksen paksuus), anturit määrittävät sen pinoamis tukkeutumisena ja laukaisevat hälytysmekanismin, joka ilmoittaa operaattoreille oikea -aikaista käsittelyä varten, varmistaen sileän tuotantovirtauksen.
Havaitsemisprosessi
Lanbao Laser -siirto -anturit mittaavat tarkasti kohdepintojen korkeuden säteilemällä lasersäde, vastaanottamalla heijastuneen signaalin ja hyödyntämällä triangulaatiomenetelmää.
Anturi on linjassa pystysuoraan sirun havaitsemisalueen kanssa, säteilee jatkuvasti laseria ja vastaanottaa heijastuneen signaalin. Sirun kuljetuksen aikana anturi voi hankkia reaaliaikaisen pinnan korkeustiedot.
Anturi käyttää sisäistä algoritmia laskemaan sirun pinnan korkeusarvo hankitusta heijastuneesta signaalista. Puolijohteiden tuotantolinjojen nopean siirtovaatimusten täyttämiseksi tämä edellyttää, että anturilla on sekä korkea tarkkuus että korkea näytteenottotaajuus.
Sallittu korkeuden vaihtelualue on asetettu, tyypillisesti ± 30 um lähtötason korkeudesta. Jos mitattu arvo ylittää tämän kynnysalueen, sen määritetään olevan pinottava poikkeavuus. Tämä kynnyksen määrityslogiikka voi tehokkaasti erottaa normaalit yksikerroksiset sirut ja pinottuja siruja.
Pinoutuvan epänormaalisuuden havaitsemisen jälkeen anturi laukaisee kuultavan ja visuaalisen hälytyksen ja aktivoi samanaikaisesti robottivarren epänormaalin sijainnin poistamiseksi tai keskeyttää tuotantolinjan tilanteen heikentymisen estämiseksi. Tämä nopea reaktiomekanismi minimoi häviöt, jotka johtuvat suurimmassa määrin poikkeavuuksista.
Lasersiirto-antureilla käyttämällä sirujen pinoamisen poikkeavuuksien reaaliaikaisia, tarkkuutta havaitseminen voi parantaa merkittävästi puolijohteiden tuotantolinjojen luotettavuutta ja satoa. Jatkuvan teknologisen kehityksen myötä lasersiirtymisanturit ovat vielä suurempi rooli puolijohteiden valmistuksessa, mikä tarjoaa vahvaa tukea alan kestävälle kehitykselle.
Viestin aika: Maaliskuu 25-2025