Pooljuhtide tootmissektoris on ebanormaalne kiipide virnastamine tõsine tootmisprobleem. Kiipide ootamatu virnastamine tootmisprotsessi ajal võib põhjustada seadmete kahjustusi ja protsesside rikkeid ning viia ka toodete massilise utiliseerimiseni, mis põhjustab ettevõtetele märkimisväärset majanduslikku kahju.
Pooljuhtide tootmisprotsesside pideva täiustamisega seatakse tootmise ajal kvaliteedikontrollile kõrgemad nõudmised. Laseri nihkeandurid kui kontaktivabad ja ülitäpsed mõõtetehnoloogiad pakuvad oma kiirete ja täpsete tuvastusvõimalustega tõhusat lahendust kiipide virnastamise kõrvalekallete tuvastamiseks.
Tuvastusprintsiip ja anomaalia hindamise loogika
Pooljuhtide tootmisprotsessis asetatakse kiibid tavaliselt kanduritele või transpordiradadele ühekihiliselt, tasapinnaliselt. Sel ajal on kiibi pinna kõrgus eelnevalt määratud baasväärtus, tavaliselt kiibi paksuse ja kanduri kõrguse summa. Kui kiibid kogemata virnastatakse, suureneb nende pinna kõrgus märkimisväärselt. See muutus annab olulise aluse virnastamise kõrvalekallete tuvastamiseks.
Transpordiraja virnastamise tuvastamine
Transpordirajad on tootmisprotsessi ajal kiibi liikumise seisukohalt kriitilise tähtsusega. Siiski võivad laastud transportimise ajal radadele elektrostaatilise adsorptsiooni või mehaaniliste rikete tõttu koguneda, mis võib põhjustada radade ummistusi. Sellised ummistused võivad mitte ainult tootmisvoogu katkestada, vaid ka kiipe kahjustada.
Transpordiradade takistusteta liikumise jälgimiseks saab radade kohale paigutada lasernihkeandureid, mis skaneerivad radade ristlõike kõrgust. Kui lokaliseeritud ala kõrgus on ebanormaalne (nt kõrgem või madalam kui ühe hakkekihi paksus), tuvastavad andurid selle virnastamise ummistusena ja käivitavad häiremehhanismi, et teavitada operaatoreid õigeaegsest käitlemisest, tagades sujuva tootmisvoo.
Tuvastusprotsess
Lanbao lasernihkeandurid mõõdavad sihtpindade kõrgust täpselt, kiirates laserkiirt, võttes vastu peegeldunud signaali ja kasutades triangulatsioonimeetodit.
Andur on vertikaalselt joondatud kiibi tuvastusalaga, kiirgades pidevalt laserit ja võttes vastu peegeldunud signaali. Kiibi transportimise ajal saab andur reaalajas teavet pinna kõrguse kohta.
Andur kasutab peegeldunud signaali põhjal kiibi pinna kõrguse arvutamiseks sisemist algoritmi. Pooljuhtide tootmisliinide kiirete edastusnõuete rahuldamiseks peab anduril olema nii suur täpsus kui ka kõrge diskreetimissagedus.
Lubatud kõrguse kõikumise vahemik on tavaliselt ±30 µm baasjoone kõrgusest. Kui mõõdetud väärtus ületab selle läviväärtuse vahemiku, loetakse see virnastamise anomaaliaks. See läviväärtuse määramise loogika suudab tõhusalt eristada tavalisi ühekihilisi kiipe ja virnastatud kiipe.
Virnastamise anomaalia tuvastamisel käivitab andur helisignaali ja visuaalse häire ning aktiveerib samaaegselt robotkäe ebanormaalse asukoha eemaldamiseks või peatab tootmisliini, et vältida olukorra edasist halvenemist. See kiire reageerimise mehhanism minimeerib virnastamise anomaaliatest tingitud kadusid maksimaalselt.
Kiipide virnastamise anomaaliate reaalajas ja ülitäpne tuvastamine lasernihkeandurite abil võib oluliselt parandada pooljuhtide tootmisliinide töökindlust ja tootlikkust. Pideva tehnoloogia arenguga mängivad lasernihkeandurid pooljuhtide tootmises veelgi suuremat rolli, pakkudes tugevat tuge tööstuse säästvale arengule.
Postituse aeg: 25. märts 2025