Pooljuhtide töötleva tööstuse sektoris on ebanormaalne kiipi virnastamine tõsine tootmisprobleem. Ootamatu laastude virnastamine tootmisprotsessi ajal võib põhjustada seadmete kahjustusi ja protsessi ebaõnnestumisi ning põhjustada ka toodete massilise lammutamise, põhjustades ettevõtetele olulist majanduslikku kaotust.
Pooljuhtide tootmisprotsesside pideva täpsustamisega pannakse tootmise ajal kvaliteedikontrollile suuremad nõudmised. Laseri nihkeandurid pakuvad kontakti mittekontakti, ülitäpse mõõtmistehnoloogiana tõhusat lahendust kiibide virnastamise kõrvalekallete tuvastamiseks nende kiire ja täpse avastamisvõimalusega.
Avastamispõhimõte ja anomaalia otsustusloogika
Pooljuhtide tootmisprotsessis paigutatakse kiibid tavaliselt kanduritele või transpordiradadele ühekihilises tasases paigutuses. Sel ajal on kiibipinna kõrgus eelseadistatud lähteväärtus, tavaliselt kiibi paksuse summa ja kanduri kõrgus. Kui laastud on kogemata virnastatud, suureneb nende pinna kõrgus märkimisväärselt. See muudatus annab olulise aluse kõrvalekalde virnastamise tuvastamiseks.
Transpordirada virnastamise tuvastamine
Transpordirajad on valmistamise ajal kriitilised kanalid kiibil liikumiseks. Kuid kiibid võivad radadele koguneda elektrostaatilise adsorptsiooni või mehaaniliste tõrgete tõttu transpordi ajal, mis viib radade ummistusteni. Sellised ummistused ei saa mitte ainult katkestada tootmisvoolu, vaid kahjustada ka laastu.
Transpordiradade takistamata voolu jälgimiseks saab radade kohal lasersirgete andureid kasutada, et skannida raja ristlõike kõrgus. Kui lokaliseeritud ala kõrgus on ebanormaalne (nt kõrgem või madalam kui ühe kihi paksus), määravad andurid selle virnastamis ummistusena ja käivitab häiremehhanismi, et teavitada operaatoritest õigeaegseks käsitsemiseks, tagades sujuva tootmisvoo.
Avastamisprotsess
Lanbao laseri nihkeandurid mõõdavad täpselt sihtpindade kõrgust, eraldades laserkiire, saades peegeldunud signaali ja kasutades triangulatsioonimeetodit.
Andur on vertikaalselt joondatud kiibi tuvastamise alaga, kiirgades pidevalt laserit ja saab peegeldunud signaali. Kiibitranspordi ajal saab andur hankida reaalajas pinna kõrguse teavet.
Andur kasutab sisemist algoritmi, et arvutada kiibipinna kõrguse väärtus omandatud peegeldunud signaalilt. Pooljuhtide tootmisliinide kiirete ülekandenõuete rahuldamiseks tingib see, et anduril oleks nii suur täpsus kui ka kõrge proovivõtusagedus.
Lubatud kõrguse variatsioonivahemik on seatud, tavaliselt ± 30 um algtaseme kõrgusest. Kui mõõdetud väärtus ületab seda lävivahemikku, on see määratud virnastava kõrvalekalle. See läve määramise loogika võib tõhusalt eristada tavalisi ühekihilisi ja virnastatud laastusid.
Virnastamise kõrvalekalde tuvastamisel käivitab andur kuulda ja visuaalse häire ning aktiveerib samaaegselt robotvarre ebanormaalse asukoha eemaldamiseks või peatab tootmisliini, et vältida olukorra edasist halvenemist. See kiire reageerimismehhanism minimeerib kaotusi, mis on põhjustatud kõrvalekallete virnastamisest kõige suuremal määral.
Laseri nihkeandurite abil reaalajas, ülitäpselt tuvastamine, kasutades laseri nihkeandureid, võib märkimisväärselt parandada pooljuhtide tootmisliinide usaldusväärsust ja saaki. Pidevate tehnoloogiliste edusammude abil mängivad laser nihkeandurid veelgi suuremat rolli pooljuhtide tootmisel, pakkudes tugevat tuge tööstuse säästva arengu jaoks.
Postiaeg: 19. märts-20125