Στον τομέα της παραγωγής των ημιαγωγών, η μη φυσιολογική στοίβαξη τσιπ είναι ένα σοβαρό ζήτημα παραγωγής. Η απροσδόκητη στοίβαξη των τσιπς κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής μπορεί να οδηγήσει σε βλάβη στον εξοπλισμό και αποτυχίες της διαδικασίας και μπορεί επίσης να οδηγήσει στη μαζική διάλυση των προϊόντων, προκαλώντας σημαντικές οικονομικές απώλειες για τις επιχειρήσεις.
Με τη συνεχή βελτίωση των διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών, οι υψηλότερες απαιτήσεις τοποθετούνται στον ποιοτικό έλεγχο κατά τη διάρκεια της παραγωγής. Οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ, ως τεχνολογία μέτρησης υψηλής ακρίβειας, παρέχουν μια αποτελεσματική λύση για την ανίχνευση ανωμαλιών στοίβαξης τσιπ με τις ταχείες και ακριβείς δυνατότητες ανίχνευσης.
Αρχή ανίχνευσης και λογική κρίσης ανωμαλίας
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, τα τσιπ τοποθετούνται συνήθως σε μεταφορείς ή διαδρομές μεταφοράς σε μια μονοκατοικία, επίπεδη διάταξη. Αυτή τη στιγμή, το ύψος της επιφάνειας του τσιπ είναι μια προκαθορισμένη τιμή βάσης, γενικά το άθροισμα του πάχους του τσιπ και του ύψους του φορέα. Όταν τα τσιπ είναι τυχαία στοιβάζονται, το ύψος της επιφάνειας τους θα αυξηθεί σημαντικά. Αυτή η αλλαγή παρέχει μια κρίσιμη βάση για την ανίχνευση ανωμαλιών στοίβαξης.
Ανίχνευση στοίβαξης μετασχηματισμό μεταφοράς
Οι διαδρομές μεταφοράς είναι κρίσιμα κανάλια για την κίνηση των τσιπ κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής. Ωστόσο, τα τσιπ μπορεί να συσσωρεύονται στις διαδρομές λόγω ηλεκτροστατικής προσρόφησης ή μηχανικών αποτυχιών κατά τη διάρκεια των μεταφορών, οδηγώντας σε εντοπισμό μπλοκαρίσματος. Τέτοια μπλοκαρίσματα δεν μπορούν μόνο να διακόψουν τη ροή παραγωγής, αλλά και να βλάψουν τα τσιπ.
Για την παρακολούθηση της ανεμπόδιστης ροής των διαδρομών μεταφοράς, οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ μπορούν να αναπτυχθούν πάνω από τα κομμάτια για να σαρώσουν το ύψος της διατομής της διαδρομής. Εάν το ύψος μιας τοπικής περιοχής είναι ανώμαλο (π.χ. υψηλότερο ή χαμηλότερο από το πάχος ενός μόνο στρώματος τσιπς), οι αισθητήρες θα το καθορίσουν ως μπλοκάρισμα στοίβαξης και θα ενεργοποιήσουν έναν μηχανισμό συναγερμού για να ειδοποιήσουν τους χειριστές για έγκαιρο χειρισμό, εξασφαλίζοντας ομαλή ροή παραγωγής.
Διαδικασία ανίχνευσης
Οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ Lanbao μετρούν με ακρίβεια το ύψος των επιφανειών στόχου, εκπέμποντας μια δέσμη λέιζερ, λαμβάνοντας το ανακλώμενο σήμα και χρησιμοποιώντας τη μέθοδο τριγωνισμού.
Ο αισθητήρας ευθυγραμμίζεται κάθετα με την περιοχή ανίχνευσης τσιπ, εκπέμποντας συνεχώς ένα λέιζερ και λαμβάνει το ανακλώμενο σήμα. Κατά τη μεταφορά τσιπ, ο αισθητήρας μπορεί να αποκτήσει πληροφορίες επιφάνειας σε πραγματικό χρόνο.
Ο αισθητήρας χρησιμοποιεί έναν εσωτερικό αλγόριθμο για να υπολογίσει την τιμή ύψους επιφάνειας τσιπ από το αποκτηθείσα ανακλώμενο σήμα. Για να καλύψουν τις απαιτήσεις μεταφοράς υψηλής ταχύτητας των γραμμών παραγωγής ημιαγωγών, αυτό απαιτεί ότι ο αισθητήρας διαθέτει τόσο υψηλή ακρίβεια όσο και υψηλής συχνότητας δειγματοληψίας.
Ένα επιτρεπόμενο εύρος μεταβολής ύψους έχει οριστεί, τυπικά ± 30 μm από το ύψος της γραμμής βάσης. Εάν η μετρούμενη τιμή υπερβεί αυτό το εύρος κατωφλίου, είναι αποφασισμένη να είναι μια ανωμαλία στοίβαξης. Αυτή η λογική προσδιορισμού κατωφλίου μπορεί να διαφοροποιήσει αποτελεσματικά μεταξύ των κανονικών τσιπς μονής στρώσης και των στοιβαγμένων τσιπς.
Κατά την ανίχνευση μιας ανωμαλίας στοίβαξης, ο αισθητήρας ενεργοποιεί έναν ακουστικό και οπτικό συναγερμό και ενεργοποιεί ταυτόχρονα έναν ρομποτικό βραχίονα για να αφαιρέσει την ανώμαλη θέση ή να παύσει τη γραμμή παραγωγής για να αποτρέψει περαιτέρω επιδείνωση της κατάστασης. Αυτός ο μηχανισμός ταχείας απόκρισης ελαχιστοποιεί τις απώλειες που προκαλούνται από την στοίβαξη ανωμαλιών στο μεγαλύτερο βαθμό.
Ανίχνευση ανωμαλιών στοίβαξης σε πραγματικό χρόνο, χρησιμοποιώντας αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ μπορεί να βελτιώσει σημαντικά την αξιοπιστία και την απόδοση των γραμμών παραγωγής ημιαγωγών. Με συνεχείς τεχνολογικές εξελίξεις, οι αισθητήρες μετατόπισης λέιζερ θα διαδραματίσουν ακόμη μεγαλύτερο ρόλο στην κατασκευή ημιαγωγών, παρέχοντας ισχυρή υποστήριξη για την βιώσιμη ανάπτυξη της βιομηχανίας.
Χρόνος δημοσίευσης: Μαρ 25-2025