In u serettore di fabricazione sobricrucciatu, stazzante animunale hè una probabilità di pruduzzione severa. U paghjolu inespettatu di patatine durante u prucessu di fabricazione pò purtà à i danni è i falli di u prucessu, è ponu esse ancu risultatu in a scorta di massa di prudutti, causendu equipaggio ecunomicu per l'imprese.
Cù u refinimentu cuntinuu di prucessi di fabbricu semiconductor, esigenze più alte sò posti nantu à u cuntrollu di qualità durante a produzzione. I sensori di scritti di laser, tecnica di misurazione di maniche, aspettaculazione, provoca una soluzione efficace per detectà anomosta efficace cù e so capabilità di signu rapid è accurate.
Principi di deteczione è logica di ghjudiziu anomale
In u prucessu di fabricazione semiconductor, patatine sò tipicamente pusati nantu à i trasportatori o i piste di trasportu in una sola strata, arrangiamentu flat. In questu tempu, l'altezza di a superficia di u chip hè un valore di basa per u prezzu prezzi, in generale a sumenta a zppone è a altezza trasportanu. Quandu i chips sò accidentalmente staccati, a so altezza superficiale aumentanu significativamente. Stu cambiamentu furnisce una basa cruciale per detectà anormalità staccate.
Traspone di trasportu Pista di pila
I piste di u trasportu sò canali critichi per u muvimentu di u chip durante u prucessu di fabricazione. Tuttavia, i chips pò accumulà nantu à e piste per l'adsorzione elettrostatica o fallimenti meccanichi durante u trasportu, guidendu per seguità i blocchi. Tali blocchi ùn ponu micca solu interrompe u flussu di produzzione ma ancu dannighjà i patatine.
Per monitorizà i piste di trasportu senza ostaculi, sensori di spustamentu di laser pò esse implementatu sopra i piste per scansà l'altezza di a traccia di a traccia. Sì l'altezza di una zona localizata hè anormale (per esempiu, più altu ch'è più più bassa di una strata di patatine di patatine), i sensori avarà determinà com'è un mecanismu di sfiziazione è trigger un mecanisimu di allarmità, assicurendu u flussu di produzzione di pruduzzione.
Prucessu di deteczione
Sensori di lanba Laser Misura currettamente l'altezza di e superfici di destinazione emettendu un fasciu laser, riceve u segnu riflessu, è utilizendu u metudu di triangulazione.
U sensore hè inegnatu verticalmente cù l'area di rilevazione di u chip di reta, anghjetti continuu un laser è riceve u segnu riflessu. Durante u trasportu di chip, u sensoru pò acquistà infurmazioni di altezza di a superficia in tempu reale.
U sensor impiega un algoritmu internu di calculà u valore di l'altezza di u chip di u valore di a superficie di l'acquistatu. Per scuntrà e dumande di trasferimentu di alta vitezza di e linee di produzzione di semiconductori, questu ci hè bisognu chì u sensore pussede sia una alta precisione è una frequenza alta di mostra.
Un intervallu di a variità di l'altezza permessa hè stabilita, tipicamenti ± 30 μm da l'altezza di basa. Se u valore misuratu supira questu intervallu di u limitu, hè decisu di esse una anormalità staccata. Questa logica di a determinazione di u limitu di u limitu pò esse effettivamente differenziate trà i patatine di capi nurmale è patatine fritte.
Dopu a rilevazione di una anormalità staccata, u sensoru alarmicu è visuale è visuale attiva un bracciu roboticu, o pause di a linea eMastiche per prevene più deteriorazione di a situazione. Stu mecanismu di risposta rapida minimizeghja e perdite causate da anomalia à a maiò parte di a maiò parte.
Rilevazione in u tempu reale, High-Precisioning Innormalità aduprendu Sensori di Spustamentu Laser pò migliurà significativamente l'affidabilità è rendimentu di e linee di pruduzzione semiconductori. Cù un sensori tecnulugie cuntinui, sensori di spultuniu lasassu ghjucà una volta mai in pietra semiconductor fabricazione, chì furnisce u sviluppu sustituibile di l'industria.
Tempu di Post: Mar-25-2025