In u settore di a fabricazione di semiconduttori, l'accumulazione anormale di chip hè un prublema di pruduzzione seriu. L'accumulazione inaspettata di chip durante u prucessu di fabricazione pò purtà à danni à l'apparecchiature è fallimenti di u prucessu, è pò ancu purtà à a rottamazione in massa di prudutti, causendu perdite ecunomiche significative per l'imprese.
Cù u raffinamentu cuntinuu di i prucessi di fabricazione di semiconduttori, ci sò esigenze più elevate in quantu à u cuntrollu di qualità durante a pruduzzione. I sensori di spustamentu laser, cum'è una tecnulugia di misurazione senza cuntattu è d'alta precisione, furniscenu una suluzione efficace per rilevà anomalie di impilamentu di chip cù e so capacità di rilevazione rapide è precise.
Principiu di Rilevazione è Logica di Ghjudiziu di l'Anomalie
In u prucessu di fabricazione di semiconduttori, i chip sò tipicamente piazzati nantu à supporti o piste di trasportu in una disposizione piatta à un solu stratu. In questu mumentu, l'altezza di a superficia di u chip hè un valore di basa preimpostatu, generalmente a somma di u spessore di u chip è di l'altezza di u supportu. Quandu i chip sò impilati accidentalmente, a so altezza di a superficia aumenterà significativamente. Stu cambiamentu furnisce una basa cruciale per rilevà anomalie di impilamentu.
Rilevazione di l'impilamentu di e piste di trasportu
I binari di trasportu sò canali critichi per u muvimentu di i trucioli durante u prucessu di fabricazione. Tuttavia, i trucioli ponu accumulassi nantu à i binari per via di l'adsorbimentu elettrostaticu o di guasti meccanichi durante u trasportu, purtendu à blocchi di i binari. Tali blocchi ponu micca solu interrompe u flussu di pruduzzione, ma ancu dannà i trucioli.
Per monitorà u flussu senza ostaculi di e piste di trasportu, i sensori di spustamentu laser ponu esse implementati sopra e piste per scansà l'altezza di a sezione trasversale di a pista. Se l'altezza di una zona lucalizzata hè anormale (per esempiu, più alta o più bassa di u spessore di un unicu stratu di chip), i sensori a determineranu cum'è un bloccu di impilamentu è attivanu un mecanismu d'allarme per avvisà l'operatori per una manipulazione puntuale, assicurendu un flussu di pruduzzione fluidu.
Prucessu di rilevazione
I sensori di spustamentu laser Lanbao misuranu accuratamente l'altezza di e superfici di destinazione emettendu un raghju laser, ricevendu u signale riflessu è utilizendu u metudu di triangulazione.
U sensore hè allinatu verticalmente cù l'area di rilevazione di u chip, emettendu continuamente un laser è ricevendu u signale riflessu. Durante u trasportu di u chip, u sensore pò acquistà informazioni in tempu reale nantu à l'altezza di a superficia.
U sensore impiega un algoritmu internu per calculà u valore di l'altezza di a superficia di u chip da u signale riflessu acquistatu. Per risponde à e esigenze di trasferimentu à alta velocità di e linee di pruduzzione di semiconduttori, questu richiede chì u sensore pusseda sia una alta precisione sia una alta frequenza di campionamentu.
Un intervallu di variazione di altezza permessu hè stabilitu, tipicamente ±30 µm da l'altezza di basa. Se u valore misuratu supera questu intervallu di soglia, hè determinatu cum'è una anomalia di impilamentu. Questa logica di determinazione di soglia pò fà a differenza trà chip nurmali à un solu stratu è chip impilati.
À a rilevazione di una anomalia di impilamentu, u sensore attiva un alarme sonoru è visuale, è attiva simultaneamente un bracciu roboticu per rimuovere a posizione anormale, o mette in pausa a linea di pruduzzione per impedisce un ulteriore deterioramentu di a situazione. Stu mecanismu di risposta rapida minimizza al massimu e perdite causate da anomalie di impilamentu.
A rilevazione in tempu reale è d'alta precisione di anomalie di impilamentu di chip cù sensori di spustamentu laser pò migliurà significativamente l'affidabilità è u rendimentu di e linee di pruduzzione di semiconduttori. Cù i cuntinui progressi tecnologichi, i sensori di spustamentu laser ghjucheranu un rolu ancu più impurtante in a fabricazione di semiconduttori, furnendu un forte sustegnu à u sviluppu sustenibile di l'industria.
Data di publicazione: 25 di marzu di u 2025