У сектары вытворчасці паўправаднікоў анамальнае кладанне мікрасхем з'яўляецца сур'ёзнай вытворчай праблемай. Нечаканае кладанне мікрасхем падчас вытворчага працэсу можа прывесці да пашкоджання абсталявання і збояў у працэсе, а таксама да масавага браку прадукцыі, што прычыняе значныя эканамічныя страты прадпрыемствам.
З пастаянным удасканаленнем працэсаў вытворчасці паўправаднікоў, да кантролю якасці падчас вытворчасці прад'яўляюцца больш высокія патрабаванні. Лазерныя датчыкі перамяшчэння, як бескантактавая, высокадакладная вымяральная тэхналогія, забяспечваюць эфектыўнае рашэнне для выяўлення анамалій штабелявання мікрасхем дзякуючы сваім хуткім і дакладным магчымасцям выяўлення.
Прынцып выяўлення і логіка ацэнкі анамалій
У працэсе вытворчасці паўправаднікоў мікрасхемы звычайна размяшчаюцца на носьбітах або транспартных дарожках у адзін пласт, плоскай канфігурацыяй. У гэтым выпадку вышыня паверхні мікрасхемы з'яўляецца зададзеным базавым значэннем, звычайна сумай таўшчыні мікрасхемы і вышыні носьбіта. Пры выпадковым складанні мікрасхем вышыня іх паверхні значна павялічваецца. Гэта змяненне забяспечвае важную аснову для выяўлення анамалій штабелявання.
Выяўленне штабелявання транспартных рэйкаў
Транспартныя шляхі з'яўляюцца найважнейшымі каналамі для руху стружкі падчас вытворчага працэсу. Аднак стружка можа назапашвацца на шляхах з-за электрастатычнай адсорбцыі або механічных пашкоджанняў падчас транспарціроўкі, што прыводзіць да іх закаркавання. Такія закаркаванні могуць не толькі перапыніць вытворчы працэс, але і пашкодзіць стружку.
Для кантролю бесперашкоднага патоку транспартных шляхоў над імі можна размясціць лазерныя датчыкі перамяшчэння для сканавання вышыні папярочнага сячэння шляхоў. Калі вышыня лакалізаванай зоны анамальная (напрыклад, вышэйшая або ніжэйшая за таўшчыню аднаго пласта стружкі), датчыкі вызначаць гэта як закаркаванне штабелевання і запускаць сігналізацыю, каб папярэдзіць аператараў аб своечасовай апрацоўцы, забяспечваючы бесперабойны вытворчы працэс.
Працэс выяўлення
Лазерныя датчыкі перамяшчэння Lanbao дакладна вымяраюць вышыню мэтавых паверхняў, выпраменьваючы лазерны прамень, прымаючы адлюстраваны сігнал і выкарыстоўваючы метад трыянгуляцыі.
Датчык вертыкальна размешчаны адносна зоны выяўлення стружкі, бесперапынна выпраменьваючы лазер і прымаючы адлюстраваны сігнал. Падчас транспарціроўкі стружкі датчык можа атрымліваць інфармацыю аб вышыні паверхні ў рэжыме рэальнага часу.
Датчык выкарыстоўвае ўнутраны алгарытм для вылічэння значэння вышыні паверхні чыпа з атрыманага адлюстраванага сігналу. Каб задаволіць патрабаванні да хуткаснай перадачы дадзеных на вытворчых лініях паўправаднікоў, датчык павінен валодаць як высокай дакладнасцю, так і высокай частатой дыскрэтызацыі.
Дапушчальны дыяпазон адхіленняў вышыні ўстанаўліваецца, звычайна ±30 мкм ад базавай вышыні. Калі вымеранае значэнне перавышае гэты парогавы дыяпазон, гэта вызначаецца як анамалія штабелявання. Гэтая логіка вызначэння парога можа эфектыўна адрозніваць звычайныя аднаслаёвыя чыпы ад штабеляваных чыпаў.
Пры выяўленні анамаліі штабелявання датчык запускае гукавы і візуальны сігнал трывогі і адначасова актывуе рабатызаваную руку для ліквідацыі анамальнага месца або прыпыняе вытворчую лінію, каб прадухіліць далейшае пагаршэнне сітуацыі. Гэты механізм хуткага рэагавання максімальна мінімізуе страты, выкліканыя анамаліямі штабелявання.
Высокадакладнае выяўленне анамалій кладкі мікрасхем у рэжыме рэальнага часу з дапамогай лазерных датчыкаў перамяшчэння можа значна палепшыць надзейнасць і прадукцыйнасць ліній па вытворчасці паўправаднікоў. З пастаянным тэхналагічным прагрэсам лазерныя датчыкі перамяшчэння будуць адыгрываць яшчэ большую ролю ў вытворчасці паўправаднікоў, забяспечваючы значную падтрымку ўстойлівага развіцця галіны.
Час публікацыі: 25 сакавіка 2025 г.