У сектары вытворчасці паўправаднікоў, анамальная кладка чыпаў з'яўляецца сур'ёзнай праблемай вытворчасці. Нечаканая кладка чыпаў падчас вытворчага працэсу можа прывесці да пашкоджання абсталявання і адмоваў у працэсе, а таксама можа прывесці да масавага адрэзання прадуктаў, што прывядзе да значных эканамічных страт для прадпрыемстваў.
Пры пастаянным удакладненні працэсаў вытворчасці паўправаднікоў, больш высокія патрабаванні ставяцца да кантролю якасці падчас вытворчасці. Датчыкі лазернага зрушэння, як бескантактавая тэхналогія вымярэння высокай дакладнасці, забяспечваюць эфектыўнае рашэнне для выяўлення адхіленняў укладвання чыпаў з іх хуткімі і дакладнымі магчымасцямі выяўлення.
Прынцып выяўлення і логіка ацэнкі анамаліі
У працэсе вытворчасці паўправаднікоў, чыпы звычайна размяшчаюцца на носьбітах або транспартных дарожках у аднаслаёвым, плоскім размяшчэнні. У гэты час вышыня паверхні чыпа ўяўляе сабой зададзенае базавае значэнне, як правіла, сума таўшчыні чыпа і вышыні носьбіта. Калі мікрасхемы выпадкова складзены, іх вышыня паверхні значна павялічыцца. Гэта змяненне дае вырашальную аснову для выяўлення адхіленняў кладкі.
Выяўленне ўкладкі транспарціроўкі
Транспартныя дарожкі - гэта крытычныя каналы для руху чыпаў падчас вытворчага працэсу. Аднак чыпы могуць назапашвацца на трасах з -за электрастатычнай адсорбцыі або механічных збояў падчас транспарціроўкі, што прывядзе да адсочвання. Такія закаркаванні могуць не толькі перапыніць вытворчы паток, але і пашкодзіць чыпсы.
Каб кантраляваць бесперашкодны паток транспарціроўкі, датчыкі лазернага зрушэння могуць быць разгорнуты над слядамі, каб сканаваць вышыню перасеку трасы. Калі вышыня лакалізаванай вобласці ненармальная (напрыклад, вышэйшая або ніжэй таўшчынёй аднаго пласта чыпаў), датчыкі будуць вызначаць гэта як блакаванне ўкладвання і запусціць механізм сігналізацыі для апавяшчэння аператараў за своечасовае зварот, забяспечваючы плаўнае паток вытворчасці.
Працэс выяўлення
Датчыкі лазернага зрушэння Lanbao дакладна вымяраюць вышыню мэтавых паверхняў, выпраменьваючы лазерны прамень, атрымаўшы адлюстраваны сігнал і выкарыстоўваючы метад трохкутнасці.
Датчык вертыкальна выраўнаваны з плошчай выяўлення чыпаў, пастаянна выпраменьваючы лазер і атрымліваючы адлюстраваны сігнал. Падчас транспарціроўкі чыпаў датчык можа набыць інфармацыю пра вышыню паверхні ў рэжыме рэальнага часу.
У датчыку выкарыстоўваецца ўнутраны алгарытм для вылічэння значэння вышыні паверхні чыпа з набытага адлюстраванага сігналу. Для задавальнення хуткасных патрабаванняў перадачы вытворчых ліній паўправаднікоў, гэта патрабуе таго, каб датчык валодаў высокай дакладнасцю, і высокай частатой адбору пробаў.
Дапушчальны дыяпазон варыяцый вышыні ўсталёўваецца, як правіла, ± 30 мкм ад вышыні базавай лініі. Калі вымеранае значэнне перавышае гэты дыяпазон парога, ён вызначаецца як паталогія ўкладвання. Гэтая логіка вызначэння парога можа эфектыўна адрозніваць звычайныя аднаслаёвыя чыпы і складзеныя чыпы.
Пасля выяўлення паталогіі ўкладвання датчык запускае чую і візуальную сігналізацыю і адначасова актывізуе робататэхнічную руку, каб выдаліць ненармальнае месца, альбо спыняе вытворчую лінію, каб прадухіліць далейшае пагаршэнне сітуацыі. Гэты механізм хуткага рэагавання мінімізуе страты, выкліканыя ўкладваннем адхіленняў у найбольшай ступені.
У рэжыме рэальнага часу высокадакладныя выяўленні паталогій кладкі чыпаў з выкарыстаннем датчыкаў зрушэння лазернага перамяшчэння могуць значна палепшыць надзейнасць і выхад вытворчых ліній паўправаднікоў. Пры бесперапынным тэхналагічным дасягненні датчыкі лазернага зрушэння будуць гуляць яшчэ большую ролю ў вытворчасці паўправаднікоў, забяспечваючы моцную падтрымку ўстойлівага развіцця галіны.
Час паведамлення: сакавік 25-2025